超净工作台再验证报告.docx
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超净工作台再验证报告.docx
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超净工作台再验证报告
超净工作台再验证报告
文件名称
超净工作台验证报告
文件编号:
VR-03-004
编制
审核
批准
编制日期
审核日期
批准日期
第2页共16页
版本号
生效日期
1.验证目的
通过验证活动,证明我司超净工作台能够正常稳定的运行,满足试验需求。
2.验证时间
本验证从2019年06月26日开始,至2019年07月12日结束。
3.验证参与人员
4.验证内容
4.1运行确认:
对超净工作台进行运行确认,确认内容包括高效检漏,噪音,风速及不均匀度。
检查结果见附表3《超净工作运行确认记录》。
通过确认,超净工作台运行符合要求。
4.2性能确认:
对超净工作台进行性能确认,确认内容为尘埃粒子测试和沉降菌测试。
检查解说见附表5《超净工作台尘埃粒子测试记录》、《超净工作台沉降菌测试记录》,通过确认,超净工作台性能确认满足要求。
5.结论
通过验证活动,最终确定,我司2台超净工作台合格,除噪音外,超净工作台各项性能均满足要求,能够持续稳定的运行。
因噪音不影响设备使用(使用者可以带耳塞工作),故超净工作台可以继续投入使用。
6.再验证
6.1正常情况下,超净工作台的再验证周期为1年;
6.2设备大修或改变后,必须进行再验证。
评价人/日期:
审核人/日期:
批准人/日期:
验证时间
2019年06月26日~2019年07月12日
参与人员
备注:
附表1
培训记录表
讲师
参加对象
培训日期
培训类别
考核评价方式
培训内容:
《超净工作台再验证方案》
部门
培训人员
签到
备注
备注:
培训主办人:
符洪琴
附表2
校验记录表
序号
名称
校验结果
校验单位
有效期
证书编号
检查人/日期:
复核人/日期:
附表3
超净工作台运行确认记录
设备编号
检2015-30
检测项目
可接受标准
测试结果
检验人
高效检漏
①尘埃粒子数≥0.5μm:
≤3500个/m3;
≥5.0μm:
0个/m3。
②粒子无激增
噪音
噪音≤65dB(A计权)
测量值
背景噪音
设备噪音
风速
平均风速≥0.4m/s
平均值
风速不均匀度
风速不均匀度≤20%
汇总人/日期:
复核人/日期:
超净工作台运行确认记录
设备编号
检2015-31
检测项目
可接受标准
测试结果
检验人
高效检漏
①尘埃粒子数≥0.5μm:
≤3500个/m3;
≥5.0μm:
0个/m3。
②粒子无激增
噪音
噪音≤65dB(A计权)
测量值
背景噪音
设备噪音
风速
平均风速≥0.4m/s
平均值
风速不均匀度
风速不均匀度≤20%
汇总人/日期:
复核人/日期:
附表4
运行确认评价表
验证时间
运行确认结果评价:
评价人/日期:
备注:
附表5
超净工作台尘埃粒子测试记录表(第一轮)
设备编号
取样
点数
尘埃粒子数
UCL
≥0.5μm
≥5.0μm
≥0.5μm
≥5.0μm
可接受标准:
≥0.5μm:
≤3500个/m3;≥5.0μm:
0个/m3。
结论及偏差说明:
检查人/日期:
复核人/日期:
超净工作台尘埃粒子测试记录表(第二轮)
设备编号
取样
点数
尘埃粒子数
UCL
≥0.5μm
≥5.0μm
≥0.5μm
≥5.0μm
可接受标准:
≥0.5μm:
≤3500个/m3;≥5.0μm:
0个/m3。
结论及偏差说明:
检查人/日期:
复核人/日期:
超净工作台尘埃粒子测试记录表(第三轮)
设备编号
取样
点数
尘埃粒子数
UCL
≥0.5μm
≥5.0μm
≥0.5μm
≥5.0μm
可接受标准:
≥0.5μm:
≤3500个/m3;≥5.0μm:
0个/m3。
结论及偏差说明:
检查人/日期:
复核人/日期:
附表6
超净工作台尘沉降菌测试记录表(第一轮)
设备编号
取样点数
检测结果(个/皿)
可接受标准:
沉降菌≤1个/皿。
结论及偏差说明:
检查人/日期:
复核人/日期:
超净工作台尘沉降菌测试记录表(第二轮)
设备编号
取样点数
检测结果(个/皿)
可接受标准:
沉降菌≤1个/皿。
结论及偏差说明:
检查人/日期:
复核人/日期:
超净工作台尘沉降菌测试记录表(第三轮)
设备编号
取样点数
检测结果(个/皿)
可接受标准:
沉降菌≤1个/皿。
结论及偏差说明:
检查人/日期:
复核人/日期:
附表7
性能确认评价表
验证时间
性能确认结果评价:
评价人/日期:
备注:
附表8
验证效果评价表
验证时间
验证结果评价:
评价人/日期:
备注:
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