外层DF工序操作指引WIME51新.docx
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外层DF工序操作指引WIME51新.docx
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外层DF工序操作指引WIME51新
文件更改申请单
文件名称
外层D/F工序操作指引
文件编号
WI-ME-5-1
版本
05
修订号
5
申请部门
ME
申请日期
08FEB2007
更改类型
ٱCOPٱWIٱ增加ٱ删除ٱ其它:
_______________
更改详细情况
更改前内容:
有火山灰喷砂机的相关内容
更改后内容:
取消火山灰喷砂机的相关内容
更改理由
完善WI
需审批/确认部门
申请人:
_郑剑______日期:
_08Feb2007_
ٱADMٱEMٱMATLٱME
ٱQAٱPEٱPRODٱPPC
ٱTQMٱMKTٱPIE■APQP
ٱIPQCٱR&D■TRAININGٱ总经理审批
是否直接影响品质
否□是□如是在说明:
备注:
1.更改前填写此表便于审批部门评审相关更改原因及更改内容,以提高审批速度;
2.申请人、申请日期用打印方式;
3.表中有“ٱ”的部门由申请人在文件更改内容里涉及的部门处打“√”,审批部门同意更改则在审批文件后在文件中签名;
4.表中有“■”的部门不需在文件中审批,只是在更改前知悉有关更改(APQP负责审核相关更改是否需修订相关CP/PFMEA,培训组监控有关更改后WI培训);
5.对程序更改由APQP负责评审有关更改对对品质的影响。
管制编号:
DCC-015-G
.
东莞亿立线路板有限公司
DONGGUANYILICIRCUITPLATECO.,LTD.
AWHOLLYOWNEDSUBSIDIARYOFEXCELINT’LHOLDINGSLTD.
文件状态
正本印章
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收件识
别印章
文件名称:
外层D/F工序操作指引
文件编号:
WI-ME-5-1
版本:
05
文件更改覆历性质及项号
修订
更改性质及项号
制订人
生效日期
5
取消火山灰喷砂机的相关内容
郑剑
14Feb2007
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审批:
“V”指定部门批核,“Y”总经理或其它参与部门批核。
审批部门
第05版修订5
分发部门
ADM
GM
Y
MATL
ME
V
ME
EM
V
EM
MKT
PE
V
PE
PROD
V
PROD
PPC
QA
V
QA
IPQC
V
IPQC
TQM
V
TQM
*同一版本可修订5次,超过5次则应更换版本
文件编号:
版本
修订号
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一:
工序概序-------------------------------------------------------------------------------2
二:
设备操作指引---------------------------------------------------------------------3-19
三:
黄菲林复、使用及检查操作指引---------------------------------------------20-21
四:
设备保养---------------------------------------------------------------------------22-23
五:
一般问题处理-------------------------------------------------------------------------24
六:
净化房规定及环境要求-------------------------------------------------------------25
七:
特别工艺--------------------------------------------------------------------------26-28
文件编号:
版本
修订号
共24页第2页
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工作片准备
一.工艺流程及原理
1.1工艺流程
1.2流程原理
磨板:
均匀粗化板表面及清除板表面杂物,提高干膜与铜面之结合力.
贴膜:
在一定温度压力下将干膜贴附在经过清洁粗化后的板面上.
对位:
通过工作底片与板面相对应孔拍合,为完成线路图形之转移作准备.
曝光:
利用一定UV紫外光能量对干膜进行感光聚合,将工作底片上的图形转移到贴好干膜的
板面上.
显影:
利用一定浓度的Na2CO3(K2CO3)溶液将未感光部分干膜除去,得到所需要的线路图形.
1.3干膜使用规定:
干膜型号
供应商
适用范围
使用规定
YQ-40PT
旭化成
1、金厚≤10U″的电Ni/Au板;
2、电Cu/Sn板;
3、电Ni;
4、铜厚≤1OZ直蚀板。
1、硬金板第二次干膜使用PM115;
2、碱性直蚀,蚀CU≤1OZ可用于任何一种干膜;蚀1OZ≤CU≤3OZ用FX540干膜所有蚀CU>3OZ的板不能用干膜直接抗蚀。
PM-115
DUPONT
FX-5040
DUPONT
碱性直蚀板
AF-5040
旭化成
1、电厚>10U″的电Ni/Au板;
2、硬金板的第一次干膜使用。
W250
DUPONT
二次干膜后沉Ni/Au板
二.设备操作指引
(一)前处理操作指引
1.1工艺流程:
针辘磨板机工艺流程
入板→酸洗→循环水洗三→磨板→二级循环水洗及清水洗→吸干→强风吹干→烘干→出板
1.2操作方法
1.2.1针辘磨板操作方法
1.2.1.1操作前检查工作
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1>输送是否平衡,行辘有无窜动现象;
2>2>各压力表显示的压力是否在正常范围内;
3>检查喷嘴及过滤网有无堵塞现象;
4>各液缸中液位高度是否适宜;
5>磨辘空转时,电流是否正常;
6>磨辘摇摆是否正常。
1.2.1.2开机步骤
外接电源→入水总掣→电源总掣→控制电源→启动→加热开关→依次开控制
面板上开关
1.2.1.3关机步骤
关机与开机顺序相反
1.3操作注意事项
1.3.1针辘磨板仅能磨板厚≥0.2mm之板,戴尼龙手套或手指套拿板边放板,防止板面氧化与手指印。
1.3.2磨板时双手执板边左右交叉放板,以避免擦花板面和磨刷磨损不均匀。
1.3.3吸水棉辘清洁、针辘磨刷段过滤网纱清洗与喷淋水更换频率:
2次/班(中途与下班前各1次)。
1.3.4接板人员双手执板放入边插板车(板厚≥0.4mm之板),而且须戴口罩。
1.3.5针辘磨刷更换频率:
当刷毛的有效长度≤8mm或产量达到150000ft2时,需更换磨刷。
1.3.6处理好的板一架满后,在净化房外停留时间不能超过5min。
1.3.7新换针辘磨刷要求用整刷板打磨,打磨时须关闭输送按钮,打磨时间为10min,以保证其刷毛平整。
1.3.8正常生产情况下针辘磨板机酸洗换缸频率:
1次/班,酸洗缸每班中途一次性添加500-800ml浓硫酸。
1.4工艺参数
工序
项目
工艺参数范围
控制点
检测频率
针辘磨板
酸洗浓度
3-5%(V/V)H2SO4
4%(V/V)
1次/班
循环水洗压力
≥15psi
每P/N
速度
1.5~2.8m/min
2.2m/min
磨痕宽度
12-18mm
15mm
2次/班
(开工后与中途各1次,换做不同板厚之P/N则调整磨板电流)
烘干温度
90±10℃
90℃
每P/N
水膜测试
≥12sec
1次/4H
磨板电流
2-4A
仅供参考
1.5工艺参数维护
1.5.1磨痕测量方法
不开磨刷和摇摆的状况下,将一块双面覆铜板置于所需测试的磨刷下,开动磨刷5-10SEC,
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关掉刷,并以相同方法测出所需测试的磨刷,用尺测量其磨痕宽度(两端0.5’’不予以计算)。
1.5.2水膜测量方法:
将一块已磨好的板放在水笼头下进行全面喷淋,然后将板以45°-90°角度拿起,观察水膜滞留板面的情况。
1.5.3各药水缸的配制
药缸名称
缸体积
药品名称
添加量
备注
针辘磨板机酸洗缸
120L
H2SO4
4-6L
不需化验
1.6保养记录
磨板机保养记录表(管制编号:
M-117)
磨板
OK
(三)手动贴膜操作指引
3.1工艺流程
操作前的检查和清洁→开机→调试压膜机→上干膜→试压膜→检查压膜效果→批量生产
→卸干膜放回存放区→关机车压膜不良
3.2操作方法
3.2.1操作前的检查及清洁
3.2.1.1用酒精和胶刮或无尘纸(布)清洁上下压辘,做到压辘上无菲林碎,无灰尘及杂物。
3.2.1.2检查上、下压辘有无变形,有无缺口和裂痕,如有则及时知会主管。
3.2.2调试压膜机
3.2.2.1开机
①“LC-2400”、“MODEL300”贴膜机开机
墙上电源开关→机电源开关→抽气开关→控制电源开关→热辘加温开关→
降下压辘操纵手柄→速度按纽
②“CSL-M25”机开机
墙上电源开关→机电源开关→加压开关→启动→板合粘尘辘手柄→输送→速度调整
3.2.2.2贴膜机调试
①“LC-2400”、“MODEL300”贴膜机调试
I转动上压辘高度操纵手柄,降下上压辘;
II抽上机身气阀门(AIRSMITCH),旋动气压调节旋钮,达到所需气压;
III按下AIRSMITCH按钮,转动上压辘操作纵手柄,提升上压辘;
IV按下速度按钮(DRIVE),旋动速度调节旋钮,选择好速度;
V用温度测量仪检测动转中热辘实际温度,若不能在此范围内,需调设温度达到
要求范围内;
Ⅵ按下DRIVE键,让运转中传辘停止转动;
Ⅶ仔细观察以上各动作有无异常或失灵。
②“CSL-M25”贴膜机调试
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Ⅰ气压调整方法:
向上拉起气压调节器的按钮,解除其锁定,然后进行气压调整,顺时针旋转调整其压力上升,逆时针旋转调整其压力下降,调整后按下调整按钮加以锁定。
Ⅱ速度调整:
调整压膜之运转速度,顺时针加快,反之逆时针减慢;
Ⅲ温度调整:
按设定值减少键,设定值之工作温度减少,按设定值增加键,则设定值之工作温度增加。
Ⅳ上、下干膜中心调整:
当上下膜错位时可调右上方干膜中心调整钮,顺时针方向旋转一周,干膜中心入右移1.5mm,逆时针方向旋转一周干膜中心往左移1.5mm。
3.2.2.3上干膜
①根据板尺寸,选择好所用干膜之尺寸,看干膜有否过期;
②取下并清洁吸尘毛刷;
③套上下两卷干膜,并将两卷干膜对齐固定好位,再旋紧干膜两边固定螺丝;
④用胶纸分开上层Mylar,并卷在收菲林保护膜的卷筒上。
备注:
“CSL-M25”贴膜机上干膜前需取下进板台和粘尘辘架,待上好干膜后再装回。
3.2.2.4贴膜
①带手套上板,按下输送开关;
②放板入经调整好的固定杆之间推进入辘;
③接板员用介刀趁热割掉板边多余的干膜,同时检查板面是否有无起皱、气泡边、上下干膜
错位等现象,若不合格则须重新调试。
④贴好膜的板插架冷却(板厚≤0.2mm板可叠板)。
3.2.2.5关机与开机步骤相反程序
3.3操作注意事项
3.3.1送板贴膜时,操作员应时刻留意板面是否有氧化变色、板面杂物等异常现象,否则需退
回磨板工序重新磨板。
Pb/Sn板磨进净化房后停放不能超过30min,直蚀板磨进净化房后停放不能超过60min,否则作翻磨处理。
3.3.2接板割边人员要小心割边,板边不可有多余干膜,特别留意刀尖不要碰到板面,同时要
检查板面是否清洁,贴好膜的板应无起泡、起皱,Mylar完整,然后插架散热,不可水
平方向叠板(薄板除外)。
不能将2pnls板插在同一槽内,避免刮花干膜。
3.3.3LC-2400机的压辘驱动(DRIVE),手动速度方向开关(FORWORD、REVERSE)不能同时按下,否则会烧坏线路。
3.3.4压膜速度在机上无显示,操作时按变速盘上标示的范围控制。
3.3.5手或身体其它部位不得触摸或接触高温热辘,以免烧伤。
3.3.6CSL-M25机压辘前的吸尘纸辘的方向一定与干膜方向一致,不能装反,否则粘尘辘会卷
上热压辘。
3.3.7CSL-M25机不建议贴单面板(指两块板合贴的单面膜);MODEL-300机不建议贴电Ni/Au板。
3.3.8放板员戴手套,并加戴手指套,双手拿板边放板,禁止手触摸到板中间,而且须戴口罩作业。
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3.3.9更换干膜时用无尘布(或无尘纸)蘸上酒精清洁热压辘与前后传动轮,热压辘清洁禁止用刀片或手指甲等坚硬物去刮,防止擦伤压辘;
3.3.10贴完膜之板,对位前需用皱纹胶粘去板边菲林碎;此皱纹胶纸更换频率:
300pnls/次。
3.3.11清洁机粘尘纸更换频率:
每生产2H时,需切除上、下脏的粘尘纸一次。
3.3.12手动压膜机热压辘包胶后生产8-10万ft2板需重新包胶。
3.4工艺参数
工序
项目
工艺参数范围
控制点
检测频率
贴膜
贴膜压力
负片直蚀
55-65psi(<0.8mm板材)
60psi
每P/N
40-55psi(≥0.8mm板材)
50psi
正片电镀
金板
55-65psi(≤1.0mm板材)
60psi
45-55psi(>1.0mm板材)
50psi
锡板
50-60psi(<0.8mm板材)
55psi
40-60psi(≥0.8mm板材)
50psi
贴膜速度
0.8--1.4m/min
1.1m/min
每P/N
贴膜温度
100-130℃
120℃
每P/N
出板温度
50-60℃(≥0.6mm板材)
55℃
每P/N
60-70℃(<0.6mm板材)
65℃
静止时间
20min≤T≤48H
在操作检查事项卡上注明时间
3.5保养记录
3.5.1贴膜机保养记录表(管制编号:
M-024)
3.5.2自动清洁机保养记录表(管制编号:
M-246)
(四)自动贴膜机操作指引
4.1工艺流程
开机→操作前的检查与清洁→上干膜→试压膜→检查压膜效果→批量生产→卸干膜→关机
4.2操作方法
4.2.1暂存机操作方法
4.2.1.1操作前的检查与清洁
4.2.1.1.1检查输送是否正常,行辘有无窜动现象;
4.2.1.1.2用无尘纸(或无尘布)蘸上酒精清洁行辘与支撑杆,做到无灰尘与杂物。
4.2.1.2开机步骤
4.2.1.2.1确定电控箱内之Breaker为ON。
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4.2.1.2.2按下控制面板之Power键。
4.2.1.2.3按START键,看输送滚轮能否正常运转。
4.2.1.2.4按STOP键,停止滚轮输送。
4.2.1.2.4按UP键,看支撑杆能否正常上升。
4.2.1.2.5按DOWN键,看支撑杆能否正常下降。
4.2.1.2.6按下START键,则可开始自动操作。
4.2.1.3关机步骤
4.2.1.3.1确定输送滚轮上无板件。
4.2.1.3.2按下停止键。
4.2.1.3.3按下POWER键。
4.2.1.3.4将电控箱内之Breaker为OFF,即完成关机程序。
4.2.1.4操作注意事项
4.2.1.4.1调整输送速度应与后段(预热)保持相当,保证不叠板。
4.2.1.4.2当后段出现故障时,板件至挡板处停止,入料Sensor感应,支撑杆上升将板件升起暂存;待故障排除后,支撑杆下降,将所暂存之板依序放出。
4.2.1.4.3暂存机仅可暂存20pnls板。
4.2.1.4.4所暂存之板两片放出间隔时间可设定(一般设定6-8sec)。
4.2.1.4.5所有拿放板动作务必戴棉织手套加手指套完成。
4.2.2预热机操作方法
4.2.2.1开机步骤
4.2.2.1.1将电源开关开启,停止开关指示灯亮。
4.2.2.1.2按启动开关。
4.2.2.1.3开启输送机开关,输送机开始运转,并按要求调节输送速度。
4.2.2.1.4按要求在温度控制器上设定温度。
4.2.2.1.5开启电热开关。
4.2.2.1.6温度达到设定值时,即可批量生产。
4.2.2.2关机步骤
与开机顺序相反程序关机。
4.2.2.3操作注意事项
4.2.2.3.1预热机顶盖上请勿放置任何物品,以免影响本机之性能。
4.2.2.3.2预热输送速度不可超过后段(压膜)运行速度,以防叠板。
4.2.2.3.3超温时,指示灯亮红灯,蜂鸣器响,可先按蜂鸣停止开关,再排除故障;故障排除后,按异常复归键,方可继续操作。
4.2.2.3.4操作过程中,若遇紧急状况,可按异常紧急开关,即可停止一切作业。
文件编号:
版本
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4.2.2.4工艺参数
流程
项目
工艺参数范围
控制点
检测频率
备注
预热
输送速度
1.9-2.5m/min
2.2m/min
每P/N
预热温度
140-180℃(≥0.60mm板材)
160℃
每P/N
100-140℃(<0.60mm板材)
120℃
每P/N
4.2.3压膜机操作方法
4.2.3.1操作前的检查与清洁
4.2.3.1.1检查上、下压辘与压膜条、切刀口有无变形、缺口和裂痕,若存在上述缺陷则即时知会组长处理。
4.2.3.1.2检查行辘输送、切刀与压辘运转是否正常,感应器反应是否正常,确认主气压是否为5Kg/cm2。
4.2.3.1.3用无尘纸(或无尘布)蘸上酒精清洁切刀口,上、下压辘,上、下贴膜座,上、下切刀吸盘,上、下真空吸盘,上、下整平吸盘与输送行辘,做到无干膜渍、灰尘油污等杂物。
4.2.3.1.4检查真空吸盘、整平吸盘、切刀沟槽与贴膜压条前部的真空孔有无堵塞。
若存在堵塞,应立即用对应口径的孔针疏通。
4.2.3.2操作步骤
4.2.3.2.1打开墙上电源开关后,打开机台总电源开关。
4.2.3.2.2按下操作箱上“起动开关”。
4.2.3.2.3在人机介面上按要求设定各参数值(压膜温度、贴膜温度、输送速度与贴膜时间)。
4.2.3.2.4按下操作面板上“真空启动”。
4.2.3.2.5推开前段机台以进行干膜更换及干膜位置确定,此时人机界面显示“前段机台未定位”。
4.2.3.2.6恢复前段机台并按下人机“回主画面”。
4.2.3.2.7按下人机界面“自动运转”。
4.2.3.2.8根据P/N在人机界面上选择相应板厚、干膜宽度与留铜位置。
设定干膜宽度意义在于决定真空吸盘所需之真空度,以避免吸气不良导致贴膜失败。
4.2.3.2.9试压膜1pnl板,确定贴膜压力与压辘压力是否在要求范围内,同时确定上、下干膜对准度。
4.2.3.3装膜操作程序
4.2.3.3.1将干膜轮放至架上,并将干膜拉出,穿过包胶滚轮。
4.2.3.3.2在包胶滚轮处将PE膜拨开出(可利用粘性胶带),使之固定于PE胶轮上。
4.2.3.3.3接着将干膜穿过张力滚轮,使之固定于整平吸盘。
4.2.3.3.4利用切刀开关将多余之干膜去除,即完成装膜动作。
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4.2.3.4操作注意事项
4.2.3.4.1根据板尺寸,选择好适宜干膜尺寸,并注意看所用干膜是否过期。
4.2.3.4.2前、后留铜位置务必使干膜盖住板边工艺孔。
4.2.3.4.3操作员应时刻留意板面是否有氧化变色、板面杂物与叠板等异常现象,否则需返磨。
4.2.3.4.4操作员应检查压好干膜的板有无干膜起皱、起泡与上下干膜错位等压膜不良,否则须重新调试压膜机,而且问题板需翻冲。
4.2.3.4.5手或身体其它部位不能触摸或接触热压辘,以免被烧伤。
4.2.3.4.6压辘与贴膜座(含压膜条)清洁禁止用刀片或手指甲等坚硬物去刮,防止擦伤。
4.2.3.4.7人机界面之液晶显示屏(LCD)禁止用手指甲、刀片等坚硬物去触摸。
4.2.3.4.8刀片使用到十二万次或出现磨损、刀口存在缺口时应知会维修部更换,防止产生干膜碎屑或切膜不良。
4.2.3.4.9铜板与铜板保持15cm以上
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