印刷烧结维修小组手册.docx
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印刷烧结维修小组手册
丝网、分测故障检修参考
故障现象
原因分析
解决方法
一道吸碎硅片
①CDA有时不够稳定
②CDA吹气的阀岛有脏阻现象
③两侧风刀或吹气管道脏阻
④两侧风刀吹飘片子
①调整吹气调节阀
②清洁阀岛、吹气管道和吹气调节阀等,必要时更换
③清洁两侧风刀或吹气管道
④调整风刀的吹气方向及吹气调节阀大小
一道连吸多片
①风刀吹气太小
②风刀没有吹开顶面的片子
③上料盒内硅片顶面过高,
④两侧风刀出气口过低
①适当调大吹气调节阀
②调整风刀的吹气方向
③调整两侧对射光纤头的上下位置
④调整风刀的吹气口方向
行走臂上下电机报警
①电机转动不灵活或卡住
②上下位置出错
③行走臂上下不灵活或卡住
④行走臂辅助汽缸失灵
⑤elmo卡程序出错或损坏
①更换电磁抱闸;电机绕组短路,需更换
②调整参数;紧牢编码器转轴螺丝;齿带绷紧或更换
③齿轮箱内碎片清理,加润滑脂,必要时更换齿轮
④调节气压大小,必要时更换
⑤重新导入程序或更换elmo卡
转盘报警
①圆光栅头位置偏移
②圆光栅尺位置有偏差
③转盘转动时受外力卡住
④转盘本身转动不灵活或卡死
⑤elmo卡程序出错或损坏
①重新调整,确保指示灯常绿(原点除外),必要时更换
②调整圆光栅尺一周,确保光栅头绿色指示灯常绿(原点除外)
③紧牢顶杆低端螺丝;调整与顶杆低端靠近的接近开关位置
④拆下转盘的转子,轴承清洗、上润滑油
⑤重新导入程序或更换elmo卡
行走臂直线电机报警
①电机滑块摩擦力较大
②行走臂滑块摩擦力较大
③电机位置超出上下限
④elmo卡程序出错或损坏
⑤电机线圈短路烧毁
①用酒精清洁后,给导轨、滑块加适量的导轨油,必要时更换
②用酒精清洁后,给导轨、滑块加适量的导轨油,必要时更换
③重新设置原点参数或上下限参数
④重新导入程序或更换elmo卡
⑤更换直线电机
烘箱机械手上下电机报警
①电机上下受阻,摩擦力较大
②电机动作超限
③行走臂向上动作时阻力较大
④烘箱温度过高
⑤elmo卡程序出错或损坏
⑥双作用气缸实效、气压偏小或损坏
①给导轨、滑块加润滑油,必要时拆下更换
②调整参数
③调整双感应气缸CDA大小,必要时更换
④调大烘箱前面顶部的排风量
⑤重新导入程序或更换elmo卡
⑥调节好双作用气缸,必要时更换
烘箱夹碎
①夹爪磨损、变形
②夹爪夹取硅片时过紧或过松
③硅片被夹取时动作较大产生碰撞
④托盘不在合适的位置
⑤托盘两侧的链条前后位置不适当
①更换新的夹爪
②适当调整夹爪闭合时的参数
③调整夹爪参数,确保抓取时夹爪内侧碰不到或轻触硅片
④调整托盘两侧边的调节挡板
⑤调整托盘两端链条两侧的调节档块
卸载顶杆顶碎硅片
①顶杆变形
②顶杆的底盘变形
③顶杆的顶部不水平
④顶杆的上端面不平滑
⑤台面真空释放缓慢
⑥顶杆电机线圈烧毁
顶杆电机滑块损坏
elmo卡程序出错或损坏
①校正顶杆,必要时更换
②校正底盘,必要时更换
③打磨顶杆,必要时更换顶杆和底盘
④用细纹路的锉子挫平
⑤延长真空释放时间;台面清洗,电磁阀阀芯清洗,必要时更换
⑥更换直线电机
更换电机滑块
重新导入程序或更换elmo卡
印刷上下刮刀报警
①电机过载发烫
②电机上下摩擦力较大或被卡住
①调整参数,使刮刀不要超过行程范围
②清洁导轨和滑块,必要时更换
烘箱链条不旋转,有时电机报警
①电机轴销磨损或电机损坏
②电机减速箱损坏
③链条位置不正确,
④左侧下两个接近开关不良
⑤链条卡死
⑥托盘断
①更换电机轴销或电机
②更换电机减速箱
③复位,使链条位置正确
④检查接近开关,必要时更换
⑤打开烘箱,找出卡死部位
⑥检查托盘,更换托盘
探针上下电机报警
1闭合时,探针电机调得过低
2测试台导轨、滑块不灵活
3弹簧或弹簧调节螺丝卡住测试台
4探针电机上下不灵活
5探针上下电机受热烧毁
6辅助气缸串气损坏
1调节电机原点或help内探针闭合参数
2导轨和滑块的清洁、加油,甚至更换
3重新调好弹簧,使弹簧调节螺丝在适合位置
4探针电机导轨和滑块的清洁、加油,甚至更换
5更换探针上下电机
6更换辅助气缸
分测承载盒内电池片不能上升
1承载盒左右两侧的对射光纤没有对准
2光电传感器没有设置好或损坏
1重新调节对射光纤头位置,直到对射准确为止
2重新调整光电传感器,必要时更换
回料板不工作
①气缸内的密封圈磨损
②负责上下动作的气管漏气或折叠
③相关阀岛故障
①拆下气缸,更换密封圈
②整理折叠气管,更换破损气管
③拆下阀岛清洗,如损坏则更换
上料臂抽碎片子
①上料感应器感应不到片子
②上料臂前端白色挡块磨损有缺槽
①调节感应器的灵敏度,如坏则更换
②更换白色挡块
001[0E09][01]Aux.Circuitsnotactive–w1
机器附属电源丢失,“P2”和0E09输入信号信号为低
解除机器上所有“emergency”按钮,然后按下绿色的“auxiliaries”按钮,并检查输入信号0E09是否为高。
003[Printer][01]MachineAhasn’tbeenreset
印刷机A打开后复位进程没有被执行
确保有气压和真空;解除机器上所有“emergency”按钮;按下绿色的“auxiliaries”按钮;使机器以“Auto”模式运行(黑色旋钮)按“Reset”,reset进行开始;等reset进程完成。
(绿色的“reset”按钮不再闪烁,一直为绿色)
004[Oven][01]machineBhasn’tbeenreset
烘箱B没有复位
按复位印刷机F的方法来复位烘箱B
033[0E12][01]Insufficientairpressure–W1
气压供应比所需要的低
检查气压表的显示值是否工作在6bar;检查气压传感器0E12
035[0E13][01]Insufficientmainvacuum–W1
真空供应比所需要的低
检查真空表负压是否工作在0.07MPa;检查负压传感器0E13
046[Cal][14]calibrationinprogress
某个相机校准正在进行
等待校准完成
047[cal][14]calibrationerror
相机采集到的测量数据不完全正确。
确保载入的是正确的程序文件;检查镜头是否太脏或者变形;检查焦距和光线;重新设定模式;检查搜索区域
048[cal][14]Linearcalibrationerror
某个线型校准不对
重复一下047警报的操作方法;检查x,y轴和theta的移动是否在可允许的范围之内;检查马达是否正常工作
049[][]Angularcalibrationerror
角度电机校准出现错误
重复一下047警报的操作方法;检查theta的移动是否在可允许的范围之内;检查马达是否正常工作
042[Axes][]checkpage42-elmomanual,errorwithelmoMGxx.
某个Mgxx马达错误
去42-elmo页选择相应的马达并检查相关的参数
Elmodrivernotoperational
elmo卡没有准备好通信
检查elmo连接;重新安装卡上的电缆;关闭机器并重新启动
Motorshortcircuit
Elmo侦测到一个短路
检查从马达到elmo卡电缆。
检查马达本身的连接器。
Stoppedbyalimitswitch
限位开关发出报警,elmo卡切断马达供电
让马达和限位开关断开;把马达复位。
Externalinhibit
在elmo卡数字输入信号关闭
解除所有‘emergency’按扭并按下‘auxiliaries’按扭
Positionerrorexceeded
理论值和实际值之间出现误差
确保电源;按‘startcycle’按扭后,等上几秒后,马达恢复;
没有动力时检查马达的机械摩擦;恢复elmo参数为原始值。
Failedtofindelectricalzero
复位马达开始时检测线圈的换向情况失败
关掉马达电源(按‘emergency’按扭)并检查移动是否有障碍;
用‘composer’elmo软件下载参数;检查编码器工作是否正常
Positivepositionlimitexceeded
马达正位置极限的设定问题
返回到马达正常值的范围内;复位马达
Negativepositionlimitexceeded
马达负位置极限的设定问题
返回到马达正常值的范围内;复位马达
Time-outPDO2message
Can网络通信超时
重新连接can连接器。
关闭机器并重新启动
Motorhardwarefault
热安全系统探测到马达过热并关闭马达
检查马达到elmo卡的电缆;检查编码器工作是否正常;确保马达没有被某个机械制动所阻止
Waitaxisinpositionwindow
软件命令所希望的位置不是所期望的位置
转到手动模式检查马达移动是否正常;检查机械摩擦是否过大;复位整个机器。
RTC故障检修参考
故障现象
原因分析
解决方法
温度的偏移不能通过更改设置点而得到修正
SCR故障或需要校正
校正SCR或更换SCR。
区域温度无规律地波动
PID参数没有调整好
调整PID参数
过温或欠温警报
可能是热电偶损坏
更换热电偶
加热区温区报警
加热灯烧毁
更换加热灯管
在处理过程中出现####,
计算机没有和控制器建立通迅
检测计算机和控制器内的以太网卡;检测以太网连接器
在屏幕操作时数据显示冻结
程序块不能和控制器进行通迅
检测RUN和REC指示灯是否点亮;TRX指示应该周期性的闪烁.试着更换继电器或程序块.
传动速度出错
①离合器松脱
②传送带运行监示传感器磨损或撕裂
③链条连接的齿轮间的轮距不适合
①旋紧离合器
②更换运行监示传感器
③重新调整轮距
传送带不动作
①输送带动作检测传感器不工作
②马达驱动印刷电路板上的保险丝“F1”和“F2”烧断
③输送带传动马达烧坏
④马达速度控制印刷电路板上的S1、S2没有输入信号
①清洁或更换动作检测装置的齿轮和传感器
②更换保险丝“F1”和“F2”
③更换马达
④检查S1、S2信号输入模块及相关接点
9区温度报警
加热灯管烧坏
根据报警信息更换加热管,可用万用表来判断已损坏的灯管。
不能登录,OPTO22整个控制系统没有电源
①安全密封盒里的保险丝“FB”烧断
②控制器和计算机的以太网通讯电缆没连接好
③以太网没有安装设置好
①更换保险丝FB。
②重新连接
③重新安装设置
烧结炉在“warmup”模式下超出15分钟
①主接触器“K1”线圈没有得电或损坏
②“K3”和“K6”继电器没有得电或损坏
③安装在OPTO22板上“K4”继电器指示灯不亮。
①检查线圈供电电路或更换“K1”
②检查线圈供电电路或更换“K3”和“K6”
③检查“K4”和OPTO22板
加热是在一个失控的状态下,在设定一个较底的温度下不能关断,而是持续升温。
①SCR没有校正好
②SCR发生短路故障
①校正SCR的ZERO和SPAN
②更换SCR
区域温度变化很大
①SCR没有校正好
②空气流量表没调节好
③相邻的区域温度相差太大
④PID没有调节在适当值
①校正SCR的ZERO和SPAN
②调节空气流量表
③降低相邻区域温度的偏差
④重新调节PID在适当值
Despatch故障检修参考
故障现象
原因分析
解决方法
主电路断路器不能复位
①烧结炉没有供电电源
②急停按钮有一个没有拔出或者其中有一个断开
③变压器103T初次级上的保险丝烧断
①确保烧结炉外面的供电正常
②急停按钮都在拔出位置
③用万用表检查通断,更换烧断的保险丝
进气风扇和排气风扇不运行
①110交流变压器初级没有380V的交流电压
②110交流变压器次级没有380V的交流电压
③相应风扇支路的保险丝烧断
④相应风扇的交流接触器坏
⑤相应风扇的速度转换开关坏或关掉
⑥风扇电机卡死或线圈绕组烧坏
①更换保险丝801FU
②更换变压器或保险丝805FU
③更换相应支路的保险丝
④更换相应的交流接触器
⑤更换相应的速度转换开关或打开
⑥解除卡死部位或更换风扇
主断路器已合上,但是PC不能通电运行
①110VAC线路保险丝烧断
②UPS不间断电源打不开
③PC显示器电源没有打开
④PC电缆的各个连接点有故障
①更换保险丝
②维修或更换UPS电源
③打开PC显示器电源
④检查PC电缆的各个连接点
传送带电机在电源打开运转时,电机却不转
①PC显示器上有报警信息
②传送带电机驱动卡上的绿色电源指示灯不亮
③0-20MA速度控制信号线无输出。
④传送带直流电机坏
①更换报警信息查出故障原因
②更换电机驱动卡上的保险丝或驱动卡
③检查模块及相关控制电路
④修理或更换电机
传送带电机转动,但是输送带不动
①输送带被机器卡住或者缠绕
②滑片上面的紧固螺帽太松
③输送带偏长
①开盖检查
②紧固滑片上面的螺帽
③去掉一部分,确保长度适中
在烧结炉卸货出口处的荧光灯不亮
①荧光灯没有供给电源
②荧光灯坏
①检查线路,确保电源供给
②更换荧光灯
干燥箱或烧结箱不能加热。
①PC显示器上有报警信息
②SCR上端的加热电源保险丝烧断
③加热灯管烧坏
④SCR上没有0-20MA的电平控制信号输入
⑤加热灯管两端没有输入电压
⑥SCR上的电源指示灯不亮
①更换报警信息查出故障原因
②用万用表查出烧断的保险丝
③更换损坏的加热灯管
④检查模拟I/O模块及相关的接线
⑤检查SCR及相关的控制电路
⑥修理或更换SCR
冷却循环水没有流量
①外围的循环水没有打开
②进水阀和出水阀没有同时打开
③冷却水过滤器阻塞
④电磁阀线圈电压不正常
⑤电磁阀线圈烧毁
①打开外围的循环水
②同时打开进水阀和出水阀
③拆下过滤器进行清洗
④检查电磁阀供电电路
⑤更换电磁阀
没有压缩空气
①外围没有CDA供给
②CDA进气阀没有打开
③CDA进气电磁阀无电压供给
④气体调压阀没有设定在正确的位置
①通知外围打开CDA供给
②打开CDA进气阀门
③检查电磁阀供电电路
④重新调整气体调压阀
烧结炉的烘箱在打开时,底部不能降下来
①烘箱上下接缝处的紧固螺丝没有全部拆下
②“NORM——MAINT”开关不在“MAINT”位置
③“RAISE——LOWER”开关上没有110VAC输入电压
④升降机传动装置允许继电器”没有通电闭合
⑤升降机电源供给变压器没有380VAC输入电压
⑥升降机电源供给变压器次级没有24VAC电压
⑦升降机电路桥式整流电路没有24VDC输出
①全部拆下紧固螺丝
②调整到“MAINT”位置
③检查保险丝及供电回路
④检查四个超位限定开关
⑤检查初级的保险丝
⑥修理或更换变压器
⑦检查24VDC供电保险丝或桥堆
烘箱箱体打开后不能合上。
①“NORM——MAINT”开关不在“MAINT”位置
②“RAISE——LOWER”开关上没有110VAC输入电压
③升降机传动装置允许继电器”没有通电闭合
④升降机电源供给变压器没有380VAC输入电压
⑤升降机电源供给变压器次级没有24VAC电压
⑥升降机电路桥式整流电路没有24VDC输出
①调整到“MAINT”位置
②检查保险丝及供电回路
③检查四个超位限定开关
④检查初级的保险丝
⑤修理或更换变压器
⑥检查24VDC供电保险丝或桥堆
Furnace6区温度升不到设定值
①Furnace6区加热灯管坏
②烘箱顶端的排风调节过大
①更换损坏的灯管
②调小排风调节阀门
BTU烧结炉常见故障分析
序号
故障现象
原因分析
解决方法
情况说明
1
1
传送带运动速度不稳定
1炉膛内有异物阻碍
2传送带与炉膛侧面有不当摩擦
3电机编码器损坏或松动
4张紧轮因气压不足张紧度不足
5齿轮定位销松动
6电机损坏
7传动轴承缺乏润怀或者损坏
检查炉膛内部是否存在异物
检查传送带运动轨迹是否正常
检查CDA气压是否正常
检查编码器紧固螺丝是否松动或者编码器损坏,必要时更换
检查定位销是否工作脱落
检查传动轴承润滑油是否老化,必要时更换
2
传送带卷曲
①烧结炉持续工作在高温状态
②在高温时,传送带停止
给烧结炉降温
从接头处拆开传送带,更换
3
传送带跑偏
1驱动轮和从动轮不在同一直线上
2返回轮工作不正常,偏向一边
3张紧轮两边的压力不均匀
检查整个传动系统,保证驱动轮,从动轮在同一直线上工作。
调整返回轮使履带走向正常。
检查张紧轮两边的压缩弹簧,使其受力均匀。
4
链齿轮结构工作不正常,有异响。
①驱动齿轮和传动齿轮位置有偏差,或者已被磨损。
②链条张紧程度不正常或者缺乏润滑。
检查齿轮对准状况,调整使其在一条线上。
如果齿轮或者链条被严重磨损,则更换
检查调整链条张紧程度
清洁齿轮和链条,重新上润滑油
5
正常生产时,传送带滑动
①张紧轮压力不足,造成传送带滑动
调节张紧轮两边的弹簧
6
开启WINCON程序后显示无连接
1电脑与INTELLIMAX连接网线断开
2INTELLIMAX无响应
3硬件故障
检查确认相关接接及网线接头
检查INTELLIMAX上24v电源
检查网络连接设置TCP/IP为
10.10.10.100和255.255.255.0
重装OS软件。
7
烧结完成的产品温度过高
1冷却器有故障
2传送带速度过快,冷却时间太短
3冷却区气流量不足。
检查冷却区水流量
检查传送带速度,如果过快,请降低带速
增大冷却区气流量设定值
更换空气过滤器
8
温度显示超出量程
①热电偶连接不正常或者损坏
检查热电偶及相关连接线路如果热电偶损坏,请更换
9
超温状况
1已损坏的控制热电偶导致加热功率过高
2SSR损坏
3OVERTEMPERATURE模块损坏
检查超温报警热电偶电路,如果热电偶损坏,请更换
使用钳形电流表检查流过SSR的电流大小
检查SSR的控制电压,当输出功率为100%时,为5v如果SSR损坏,请更换
检查OVERTEMPERATURE模块,必要时更换
10
没有加热功率输出
1当OVERTEMPERATURE模块发现有超温报警时,控制器自动关闭加热
2加热交流接触器损坏
3控制用热电偶损坏
4主电路断路器跳开
从WINCON上检查是否存在报警
检查交流接触器是否工作正常
检查热电偶及其相关连接是否正常
检查主电路断路器是否跳开
11
某个加热区无功率输出
1检查热电偶及相关电路是否断开
2加热控制或者主电路故障(可能是SSR,断路器,INTELLIMAX及配线问题)
3加热灯管损坏
4PID参数没有设置
检查热电偶及其相关电路
检查相关主电路及加热控制电路元件和配线
检查加热灯管是否损坏
打开WINCON检查PID参数是否设置正常
12
气流量不足
1外部气压不足
2空气过滤器太脏
清理管路及过滤器
检查外部气源压力
13
加热灯管不工作
1WINCON菜单中加热项未点选
2超温状态
3加热管断路
4SSR损坏
5热电偶损坏
在WINCON主界面上察看加热项是否已点选
检查加热主电路
检查SSR及加热灯管是否损坏,必要时更换
检查热电偶是否显示正常,必要时更换
14
加热管超温工作状态
1WINCON设置不正确
2Overtemperature模块或者热电偶损坏
3Intellimax损坏
参照WINCONonlinehelp设置
更换热电偶或者overtemperature模块
检查配线,必要时更换intellimax
15
冷却水底流量报警
①冷却水管道电磁阀关闭
3水流量控制阀关闭
4水流量检测传感器损坏
检查水流量控制阀及电磁阀工作uo是否正常
检查传感器,必要时更换
16
冷却水水温逐渐上升
1冷却水管道堵塞
2外部冷却水压力不足
清理管道
检查外部供水压力
Centrotherm烧结炉常见故障分析
序号
故障现象
原因分析
解决方法
情况说明
1
1
实际测量超温警报被触发。
信号灯切换到红。
报警喇叭响了
①相应区的控制热电偶损坏。
②最大允许温度高了。
③REG97干扰。
④TMM5干扰。
复位喇叭。
检查热电偶,有必要的话更换它。
检查TMM5。
检查REG97。
修理完故障后,按“Confirmdisturbance”和“Reset”按钮
2
监控器超温警报被触发。
信号灯切换到红。
报警喇叭响了
①最大允许温度高了。
②热电偶坏了。
③STC有缺陷。
复位喇叭。
检查STC,手动复位。
检查热电偶,有必要的话就更换。
修理完故障后,按“Confirmdisturbance”和“Reset”按钮
3
控制器超温
警报被触发。
信号灯切换到红色。
报警喇叭响了。
①最大允许温度高了。
②REG97干扰。
③TMM5干扰。
复位喇叭。
检查REG97。
检查热电偶。
检查TMM5。
修理完故障后,按“Confirmdisturbance”和“Reset”按钮
4
温度测量错误
警报被触发。
信号灯切换到黄色。
报警喇叭响了。
①TMM5和REG97之间的通讯干扰。
②热电偶坏了。
复位喇叭。
检查热电偶,有必要的话更换它。
检查TMM5。
检查REG97。
修理完故障后,按“Confirmdisturbance”和“Reset”按钮
5
变频器热空气风扇故障
警报被触发。
信号灯切换到红色。
报警喇叭响了
①变频器控制干扰。
②热空气风扇干扰。
③热量保险丝损坏。
复位喇叭。
检查变频器。
检查热空气风扇。
检查热力保险丝。
6
变频器热空气送风机CAN总线错误
警报被触发。
信号灯切换到黄色。
报警喇叭响了。
1CAN总线干扰。
2变频器上的CAN总线连接器松了。
复位喇叭。
检查变频器。
检查CAN总线连接器和CAN电缆。
7
加热电路故障
警报被触发。
信号灯切换到黄色。
报警喇叭响了
①固态继电器电流干扰。
②相关加热电路区被指示。
③加热器缺陷。
④保险丝缺陷。
⑤固态继电器缺陷。
复位喇叭。
检查加热器,有必要的话就更换。
检查保险丝,有必要的话就更换。
检查固态继电器,有必要的话就更换
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