ATHLETE晶圆植球机新程序建立Word格式文档下载.docx
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2,按“STOP”进入停止状态
NEWTYPE
3,选择“FILE”右侧显示功能菜单,选择“NEWTYPE”来进行6’或8’产品原程序的COPY,例如:
TI8YRZI8是8寸产品,NEW6是6寸产品
4,选择一个作为拷贝程序后进行程序新建命名,如:
输入BL03EVS8
5,选择“RecipeEditor”,然后选择右侧“TYPECHANGE”选择刚刚所创建的新程序,按“OK”保存,系统载入新程序
三,参数的输入与修改
1,将“TYPEDATA”打开,选择“OPERATIONDATA”
2,选择WAFER尺寸和设置片厚参数
3,保存参数设置
4,选择“WAFERRECOGNITIONPOINT”
4,选择“PRINTINGMOVEMENTSETTING”
9,GAPBTWWAFERANDMASK和GAP
GAPBTWWAFER&
MASK和GAPBTWSUPPORT&
MASK这两个参数值跟胶量有关,新建程序时可以不改,涂胶后根据胶量而改。
5,在“TYPEDATA”界面底下选择“PAGEDOWN”进入下一页,然后选择“BALLRELEASESETTING”来进行球量设定。
6,因为COPY的是8寸程序,所以“BALLRELEASESETTING”只需修改一片WAFER的球数由2个植球BRUSH来分配,由于片子是-135°
放置,左边BRUSH分配总球数X40%,右边BRUSH分配总球数X60%
四,WAFER与MASK的位置和图像识别
1,将WAFER手动模式传递到TABLE上,具体见操作规范
2,返回MANUAL操作的主界面,选择第三项“TYPEREGISTRATION”。
3,选择“RECOGNITIONPOINTTRANSFER&
REGISTRATION”
4,选择“WAFERRECOGNITIONPOINTTRANSFER”进行WAFER上识别点位置的移动
5,先移动到前面一个识别点的认识位置
6,观察左边显示器是否已经移动到我们在CAD图上标识的识别点位置。
如图所示已经在特殊DIE(即识别点)附近。
7,如果显示屏上没有显示识别点,则需要去观察识别WAFER的CAMERA当前所在位置,靠近人一侧的为识别FRONT点的CAMERA,靠后的是BACK点的CAMERA,见下图。
8,观察识别点与CAMERA偏差位置后,选择软件“TABLEJOGMOVE”
9,根据偏差距离,选择适当的JOG量(小键盘5为JOG量+,0为JOG量-),然后移动TABLE上(Y+),下(Y-),左(X-),右(X+)。
10,利用上述JOGMOVE,将白色十字线移到识别点的标识位置,如图
11,在“TABLEJOGMOVE”中记下当前的X,Y坐标值,如图X:
1145.107Y:
84.660
12,CANCEL“TABLEJOGMOVE”,再次选择“WAFERRECOGNITIONPOINTTRANSFER”中的FRONTPOINT,打开此时的“TABLEJOGMOVE”,记下当前的x’,y’坐标值,例如x’:
1144.107,y’:
83.660X轴方向的偏差量A=X-x’=1145.107-1144.107=1
同理Y方向的偏差量B=Y-y’=84.660-83.660=1。
然后选择“TYPEDATA”中的“WAFERRECOGNITIONPOINT”,将FRONTPOINT的X,Y坐标值分别减去A.,B,保存退出。
13,再选择“WAFERRECOGNITIONPOINTTRANSFER”中的“FRONTPOINTTRANSFER”去检查下补正参数后的识别点位置是否正确,若正确则进行下一步,反之则再进行以上步骤校准。
14,选择“WAFERRECOGNITIONPOINTTRANSFER”中的“BACKPOINTTRANSFER”
15,同样方法找到BACKPOINT的正确位置
16,按“PAGEDOWN”进入下一界面,选择“RECOGNITIONPATTERNRECOGNITION”
17,选择“WAFERRECOGNITIONPOINTTRANSFER”中的“FRONTTRANSFER”
18,待移动到waferFRONT识别点后选择“【REGISTR】WAFERRECOGNITIONPATTERN”,并选择“FRONT”
19,需要用鼠标进行图形的识别,
确定键SET
20,选择“ENTRY”
21,先选择“CENTER”将“+”移至识别DIE顶角中心
22,然后选择“PTNSTRAT”定义识别范围的起始位置
23,“PTNSIZE”定义识别范围的终止位置,即尺寸大小。
要求所框图形是唯一的
24,然后按按“EXECU”执行
25,选择“EXECUTEWAFERRECOGNITION”中的“FRONT”进行检查
26,检查显示屏左上角的SCORE值是否大于9000,若小于则需要按上述步骤重新调整
27,选择“WAFERRECOGNITIONPOINTTRANSFER”中的“BACK”
28,同样方法进行“BACK”识别点的图像登录和检查
29,返回到此界面,选择“PTMASKRECOGNITIONPOINTTRANSFER”
30,选择“LEFT”移动到涂胶MASK的左边对位点
31,观察机台CAMERA的位置
左边对位点目前CAMERA位置
32,利用“TABLEJOGMOVE”移动到对位点位置
33,记下当前“TABLEJOGMOVE”中X,Y坐标值,如图X:
433.510Y:
167.281
34,选择“TYPEDATA”中的“MASKRECOGNITIONPOINT”
35,将X,Y坐标值输入进PTMASKRECOG,.LEFT中的X,Y
36,再次选择“PTMASKRECOGNITIONPOINTTRANSFER”中的“LEFT”检查位置是否正确。
若不正确则需要按上述重新调整。
37,点击“【REGISTER】PRINTINTMASKRECOGNITIONLEFT,按OK让软件记住位置
38,选择“PTMASKRECOGNITIONPOINTTRANSFER”中的“RIGHT”
39,同样方法找到RIGHT对位点的正确位置,记下当前“TABLEJOGMOVE”的坐标值,例如:
x’:
529.490y’:
167.192,那么补正值A=x’-X=529.490-433.510=95.980;
B=y’-Y=167.192-167.281=-0.089
40,将补正值输入“TYPEDATA”中“MASKRECOGNITIONPOINT”—“PTMASKRECOGNITIONRIGHT”中的X,Y坐标值。
41,按“PAGEDOWN”进入下一界面,选择“RECOGNITIONPATTERNRECOGNITION”
42,选择“PTMASKRECOGNITIONPOINTTRANSFER”中的“LEFT”
43,选择“【REGISTER】PRINTINGMASKRECOGNITIONPATTERN
44,选择“LEFT”
45,利用鼠标选择“ENTRY”
46,处理方法与WAFERRECOGNITIONPOINT相同。
47,登录完以后选择“EXECUTEPRINTMASKRECOGNITION”中的“LEFT”进行验证检查
48,查看显示器左上角SCORE值是否大于9000,若没有达到则需要按上述方法重新调试
49,同样方法先移动到“RIGHT”对位点位置,然后登录图像
50,同“PTMASKRECOGNITION”,相同方法处理“MTMASKRECOGNITION”的“LEFT”和“RIGHT”
五,CHECKPOINT
1,返回到此界面,选择“MOUNTINGPOINTCORRECTION”
2,选择“MOUNTINGMASKRECOGNITION”
3,选择“WAFERRECOGNITION”
4,选择“MOUTINGPOINTTRANSFER”
5,等片子贴上植球MASK,检查圆片MAP与MASKMAP的重合情况利用“TABLECORRECTIONJOGMOVE进行粗调,方法同“TABLEJOGMOVE”。
有角度偏移,按照“顺+逆-”原则。
6,粗调完毕后,将第二个显示器切换到LINEB
7,选择“MTPOINTCORRECTIONVAUELAUTOMATICINPUT”保存植球补正量
8,选择“MOUNTINGPOINTCHECKPOINTTRANSFER”
9,其中植球CHECKPOINT有4个(1,2,3,4),建议使用2移动到MAP边缘
10,选择“MOUNTINGROBOTJOGMOVE”
11,将CHECKCAMERA移动到CHECKPOINT2的上边缘
12,观察显示器上的图形,选定一球
13,利用“TABLECORRECTIONJOGMOVE”将球在MASK开口中移正
14,CANCEL,利用“MOUNTROBOTJOGMOVE”将JOG调至10MM倍率,向下移动5次,即CAMERA50MM行程,观察显示器上的球与开口位置
15,从2图位置比较可以看出,存在着顺时针角度偏移,需要逆时针方向调整,利用“TABLECORRECTIONJOGMOVE”按照“顺+逆-”原则进行角度调整,并调整X,Y方向将球处于开口中心
16,选择“MTPOINTCORRECTIONVAUELAUTOMATICINPUT”保存植球补正量
17,选择“MOUNTROBOTJOGMOVE”向上移动50MM返回原来位置,观察现在球与开口位置情况,如果还是存在偏移,继续用此方法调整,直到Y方向无变化,X方向同理,时时注意保存。
18,选择“TYPEDATA”中的“PRINT/MOUNTPOINTSETTING”
19,将PPTCORR(WHOLORF)和PPTCORR(BSQUEE)里参数改成与MOUNTPOINTCORRECTN相同。
20,返回至此界面,选择“PRINTINTPOINTCORRECTION”
21,选择“PRINTINGMASKRECOGNITION”
22,选择“WAFERRECOGNITION”
23,选择“PRINTINGPOINTTRANSFER”
24,选择“PRINTINGCHECKPOINTTRANSFER”
25,涂胶CHECK点有2个位置(1,2)
26,建议选择1,将CHECKCAMERA移动至CHECK1位置
27,将第二个显示器选择LINEA
28,观察球与涂胶MASK开口位置情况,调整方法同植球MASK相同,注意的是因为CHECKCAMERA装在刮刀上的,所以只能在Y方向移动,调整过程勿忘记时时将“PTPOINTCORRECTIONVAUELAUTOMATICINPUT”保存
六,所有CHECK都调整完毕,手动操作涂遍胶检查胶情况。
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