HCT线锯工序及报警原因分析Word文档格式.docx
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HCT线锯工序及报警原因分析Word文档格式.docx
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批准
第2页
④用毛巾清洁适配器和法兰盘,并用工具车准备好新收线轴,破线端口表面毛刺用锉去除。
⑤安装上新线轴。
用定位销固定方向。
确保线轴位置正确。
首先将扭矩扳手调到100N.m将螺丝拧紧,再调到180N.m进一步紧固螺丝,紧固须按下列步骤:
销子卡位-紧螺丝-转线轴180度卡位-紧固。
如此反复几次到250N.m。
这样线轴的受力均匀而且紧固。
部分机床收线轴排线,采用液压锥形轴,当切割结束时,关闭绕线室,锁好门,点击“钢线控制”把钢线弹出,用手把旧线拆卸到旧线箱内,擦净法兰盘及锥形轴测距仪,重新上好法兰盘螺丝。
⑥测量排线:
用钢板尺测量收线轴排线区域内外壁到机床壁的距离,比如测量值分别是54mm、364mm。
把内排线位置设置为54mm,点击“排线内侧位置按钮”,待排线单元静止后,测量滑轮外套的外边缘到机床壁的距离,比如:
测量值是67mm,那么排线单元的真实位置是:
67-13=54mm(13mm为滑轮外套厚度的一半)。
此时说明排线单元位置是正确的,如果不相符,请技术员做位置校正。
预热完成后,如果排线不正常(凸起、凹陷等),继续测量并调整排线设置直至正常。
2.装载定位硅棒
第3页
②启动主驱动,让线结缓慢的通过滑轮到达线导轮后停止,调整线结的方向,按照图2标示方向旋转几圈,然后搭接在线网上表面,这样能防止线结头被其他钢线卷入线网而导致断线。
用手辅助线结进入线网一段距离。
线结儿走过200-300m后改成高张力走线。
0.14mm钢线(24;
22N),0.12mm钢线(22;
20N)。
0.13mm钢线(22;
20N),0.11mm钢线(19;
19N),0.10mm钢线(15;
15N)
⑤整理跳线:
由于槽内存在颗粒物,将钢线挤出原来的线槽,钢线进入其他线槽而形成跳线。
上下导轮垂直方向两个线槽中,只有一个跳槽的,称为单向跳线,可以用手校正,使钢线恢复原位。
下导轮跳线时应该用手压住该跳线的上方区域,同时正转线网,直至拇指压住的区域到达下导轮;
上导轮跳线处理方法相反。
(下导轮单向跳线处理图片)
上下全部跳槽的,需要用胶带粘住“未跳线”区域的部分线网,整体向前(跳线位置在线网后半部分)或向后(跳线位置在线网前半部分)转动线网,以校正跳线。
(胶带方法整理双向跳线图片)
第4页
③启动主驱动,激活wirebreakcontrol,关门上锁。
线速度控制在15m/s以内,注意随时从观察门观察线结状态,如有异常(线网有缝隙等)马上停止,检查并修复。
④等线结快出线网时(图4),降低速度,并用手辅助线结缓慢的通过线网末端,在线网形成处,慢慢前进,以避免线结出线导轮时相邻钢线“撞开”线结。
这可能会导致钢线断开,进而整个线网全部散开。
图4
⑤把线结绕到收线轴上几圈后,再检查线网有无跳线、交叉等现象。
更改高张力,转动线网,使整个线网的分布均为高张力。
4.切前准备
在开始切割之前,必须检查以下内容:
·
钢线是否足够,在控制面板上检查钢线长度
输出轴上的间空是否足够切割
检查张力壁的垂直位置是否合适
排线位置是否适当及调整是否正确
检查滑轮外套(A正常)是否切深夹线,滑轮方向是否适合钢线,钢线偏的话调整滑轮方向
第5页
如已更换了线网,检查正确的操作程序,输入输出滑轮的对齐情况,与硅棒尺寸相关的线网大小,等等。
浆料导出管有无泄露
冷却水流量和压力是否适当
检查所有的温度(浆料顶、底部,导轮前后轴承,电器柜)
硅棒的位置及夹持情况
工作台的垂直位置,降至硅棒顶面上方即可
浆料帘是否均匀
在控制面板上,检查切割工艺是否正确
5.晶棒装载
按步骤2操作将其他晶棒装载到机床
6.设置零点
手动降工作台让四条晶棒导向条刚刚接触线网并点击触摸屏主界面设零点按钮,然后慢速将工作台升至-1.5mm位置真正设零点并命名切割编号。
7.预热
线网无跳线后,启动预热程序,钢线回线率设定为98%,热机5分钟。
8.整理线网
检查四个轮线网有无跳线,有跳线的整理线网,用压缩空气沿上下方向吹出导轮槽内的颗粒杂物,整理完毕后再预热5分钟,继续检查直到无跳线。
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9.自动运行
重新设定预热时间3分钟,钢线回线率为0%,启动切割程序。
操作者认真填写《质量跟踪单》。
清理线锯周围及机床本身卫生。
10.运行监视
每30分钟观察线网跳线并作记录、砂帘有无断流、回砂温度应低于39.8℃、线弓情况并给予纪录,参与切割的线网与缝隙、边缘线网的高度差就是线弓高度,正常线弓在5-7mm之间,如果某根钢线线弓大,导致接地报警(切到护板)可能是硬点所致(一般在硅块底部),此时要停下机床,能将杂质片去除的就去除,去不掉的,打开浆料、启动钢线转动、工作台静止,直到线弓去除后自动运行。
回砂温度超过39.8℃(切割阶段除外)应停机更新部分浆料,更新量由技术员确定。
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11.运行结束
结束前5分钟,准备好新钢线,取片小车,电筒,纸板,装护板的小车,从粘接室取出晶棒,复核崩边情况是否与记录纸一致。
如果不一致做好记录。
结束前1分钟,记录结束时间,结束密度。
自动切割结束,机床会报警,开门用手电照明检查是否切透。
12.移除旧线
①剪断收线轴钢线,关闭钢线管理室安全门并加锁,点击液压松开按钮并确认。
安全门关好后,激光检测灯点亮;
②等待液压活塞完全打开到位后(显示状态如图),开安全门;
③用扳手松开法兰并取下;
④打开固定外盘的螺丝;
⑤取下外盘,将松散的钢线放入盛放废线的容器中;
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⑥用酒精清洁法兰、外盘、支架,收线轴;
⑦法兰和外盘复位安装;
⑧绕好收线轴钢线,加张力。
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13.冷却晶棒
拆除线网两侧的挡板,取消断线控制Wirebreakcontrol。
记录下ABCD导轮上的跳线数量情况。
用铲子把夹在晶棒中的掉片铲下来,打开浆料,正向转动导轮0.4m/s冷却晶棒10分钟,使软化的胶冷却,防止硅片倒伏。
在此冷却时间内更换收线轴。
14.取片操作
启动主驱动速度设置为0.4m/s,并以100mm/分钟的台面速度自动返回到顶部(线网不转时工作台30mm/min),当线网还有10mm脱离硅片时,停止线网转动。
上升过程中检查线网,以确保没有挂片。
若出现在硅片倒角处大量挂线可能导致质量事故时要按紧急预案处理:
夹线可能带碎硅片,如果有夹线,可以降低工作台速度30mm/min;
仍然挂片的话,停止转动,剪断该线,直接提升工作台。
剪线时应注意每次少剪(3毫米),拉出时观察不能有钢线打结现象,直至把挂线全部剪掉抽出再提工作台。
如果钢线打滑,其现象为线网断续转动,此时应加速线网转动,高速度可以克服打滑,稳定后再把线网降速,同时提升工作台。
若发现大量挂线现象要立即停止工作台上升,控制工作台下降使线网重新进入玻璃,,从收线轴开始剪线网,
(自动上升)(取片)
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(翻转杆安装)(翻转硅片)
松开硅棒夹紧装置,两人配合小心取出硅棒,翻转晶棒时尽量同步,按顺序依次摆在小车上。
因硅片较薄,移动时要慢。
分线网切割的硅片需要第三个人保护中间部位,助力翻转。
④依此类推取出四个硅棒。
估算合格率:
a理论出片数=硅块总长度/槽距–4*硅块数(只去头部的2*硅块数)
b崩边片数=(切前崩边长度+切后崩边长度)/槽距
c掉片数=掉片区长度/槽距
d跳线切斜数=跳线数*4
不合格数=b+c+d
合格率=1-不合格数/a
⑥认真填写《质量跟踪单》。
为下一次运行准备线网及其他工作。
八、注意事项
① 每运行一次放线轴更换,同时清理过滤网、浆料嘴及侧面护板,更换切深的滑轮外套;
② 机床中转缸每10次清空一次,过滤网每次清洁吹干;
③滑轮外套和绝缘转子每次按规定检查并记录到《质量跟踪单》,入线口滑轮外套每两次拆下,用压缩空气吹净后检查,如果外套松动或切深,立即更换;
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④及时了解硅片的切割质量(通过清洗工序),以便于及时对线锯做出调整;
⑤工具用完后,擦净放回原处。
使用后的浆料一定要打塑料桶的大概90%,不要太满避免溢出,擦净、在桶顶做好标示贴好标签、拉到指定地点;
⑥各班班组长每周一白班要将所有的运行记录(破锭机、去头尾、线锯)集中整理后交到统计员处统一保管;
⑦HCT切156x156规格硅片的机床,导轮寿命使用次数参照第17页“导轮寿命对照表”,特殊情况下(如勒伤、槽深等)可马上更换;
⑧清洗机床后,打入旧砂浆,热机10分钟,把水分带出,然后清空旧砂浆,换新砂切割。
⑨自动切割过程中,E500SD-5机床的激光测试传感器不要磕碰。
九、建立新线网方法
1)织线网
①
用透明胶带绕在线导轮外,有胶的一面朝外。
绕3-4圈,这样胶带可将四个线导轮固定以防止其滑动;
②将钢线固定在胶带上。
放线张力设置为10N低张力状态;
③启动主驱动,以0.1m/s的速度旋转线导轮。
把第1根钢线安装在线网开始处,即推动钢线至线导轮的第二个线槽,然后拉下一根线,放到第三个线槽里,依次类推约需20根线,均匀的放到线槽里,不能有跳线和重叠;
④停止主驱动器运行。
把一束线固定在线网开始处,即用灰色胶带将它和8根钢线平行粘起来;
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⑤开启主驱动,速度设为0.1m/s,让机器自动生成线网。
当钢线达到一定的数量(宽度约为50mm),关闭主驱动器,移走透明胶带。
继续生成线网;
⑥在线网快生成时,降低速度,缓慢的转动线导轮,直到钢线刚好布满所有线槽;
⑦停止转动,拿开胶带并截断最后一根钢线。
把钢线拉到收线轴上,再绕上几圈;
⑧快速(2m/s)转动1、2分钟,停止机床,检查线网有无跳线、交叉现象并纠正。
2)线网织好后恢复正常模式,高张力状态下钢线前进4000米(导轮上钢线的长度)。
分线网切割需要从中间剪断线网,再过线结进行调整。
十、断线处理:
1)出线口断线处理:
①线网断线处线头和缠绕到线导轮上的钢线清理干净,如果硅片中间有钢线要及时清理干净,防止钢线缠绕造成其他部位断线和误报警发生;
②在断线处抽取最外边的一根钢线连接的收线轴。
调整出线口滑轮的位置与钢线垂直;
③检查并排除断线的原因,彻底检查出线口侧的滑轮和收线轴的状态。
如果是排线不均造成的断线,
需要更换收线轴;
④启动切割,手动加速到切割速度后,点击切割运行。
2)入线口断线:
①切至10/20mm范围以内:
要采取二次入刀的处理方法,把导向条用手晃动直至从硅
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块上脱落,提升工作台使硅块脱离线网,重新过线结并整理线网后开始重新入刀,打开浆料,线网高张力,启动速度0.4m/s以内,手动慢速(30mm/min以内)下降工作台。
入刀过程中如果钢线有大的线弓,需用手辅助将钢线拨入硅片间隙,工作台下降至断点高度即可。
注意钢线量如果不足,应经过工艺技术员调整临时切割工艺切完本锯。
②切至90%以上:
反向切割
a.放线轴上需要大约10KM的钢线来缓解线轴受到的压力,防止卸放线轴困难。
需要松开放线轴上白色尼龙的顶丝;
b.在断线的位置整理好线网,连接到放线轴;
c.在线网的菜单使用“脚印”的功能。
改变放线轴和收线轴的功能;
d.改变收线轴的排线单元,把线放到黄色滚轮上;
拆下左侧排线单元排线安装到放线轴排线单元上.设置右侧线轴的排线距离。
内侧设置60mm,外侧设置成355mm,排线时注意检查排线位置是否合适,要及时修改排线距离;
e.改变浆料分布,让浆料从入线侧流出。
(阀门在机床顶部),右侧张力降低2N,左侧不变;
f.启动切割,在切割时。
注意放线轴的排线位置;
g.及时检查张力臂抖动的情况,如果发现抖动异常或机床发出张力臂位置异常报警时,每隔0.5小时更换右侧线轴,安装使用过的放线轴。
③ 其它割切位置:
使用焊接机,过焊点机床参数设置及步骤
a.低张力10N,打开浆料,流量调制100kg/min,焊点走过10cm宽度线网
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后,张力改为高张力;
b.记录过焊点时的收放线轴线量,走过约4km时,焊点可达收线轴位置;
c.工作台速度以30um/min上下往复运动,,线速度小于0.5m/s。
工作台往复运动幅度尽可能大一些,但要防止线网离开硅块或者切割硅块;
d.过焊点时注意线网状态,有无裂开,焊点断裂应及时停止所有运动,采取进一步措施;
e.焊点过完后以线速2m/s,工作台100um/min速度往复运动,高张力(Ф0.14mm,24N21N)(Ф0.12mm,22;
20N)(Ф0.11mm,19;
19N)(Ф0.10mm,15;
15N)运行3000m,用高张力钢线布满整个导轮;
f.把工作台慢速下降到断线位置,使线网保持一定线弓,然后自动切割。
3)中间位置断线
使用焊接机焊线,处理方法:
a.中间断线区域剪去少量线网,应用分线网换轮使断线两侧衔接在一起,焊接两侧钢线(尽可能使焊接的钢线短一些;
b.应用滑轮撑起松在线网外面焊接好的钢线;
c.启用过焊点工艺运行机床(入线口张力保持高张力,出线口低张力),撑起的钢线会被缓慢的收入进线网,操作者应拿着滑轮随动,在接近完全收入线网时,撤出滑轮,用手拉住钢线防止松散,直至钢线完全收完;
e.焊点收到收线轴后。
继续走线使整个线网分布高张力。
第15页
十一、断线原因及避免
序号
故障
检查部位
原因
后果
措施
图片
1
断线
排线单元1或2
排线设置不准确
钢线在收线轴法兰上有突升突降。
调节排线单元1或2(MMIp.3-28
2
收线轴
法兰有毛刺(毛边)
清除毛刺
3
滑轮
磨损
卡住钢线
更换滑轮
4
钢线用量太少
钢线磨损,切割后的直径太小
增加钢线用量(用一个千分尺测量钢线入口直径和出口直径)
无
5
浆料流量太少
调整工艺
浆料帘里的钢线过热
增加每个切割台/喷嘴的浆料流量
6
浆料帘的间隙
喷嘴里有杂质或脏东西
浆料帘的间隙—硅片上有锯痕和可能断线
用一个钩子清洁喷嘴或清洁浆料管路
7
硅块上钢线的深度不一致
硅锭里有硬点=Si里含有SiC
钢线横向交错/断线
8
滑轮里/外的线网
检查滑轮垂直—
校直滑轮
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9
张力臂位置不正确
张力臂波纹管
浆料堵塞波纹管
可能造成断线
在波纹管和轴之间加入油脂/润滑油
10
钢线交叉
线导轮涂层里含有Si颗粒
线导轮磨损得越来越严重
如果跳线数量增多,更换线导轮
11
跳线
线导轮磨损,槽损坏
线导轮磨损越来越严重
更换线导轮
12
浆料里混入较大的Si颗粒而受到污染
浆料过滤袋破裂
更换浆料过滤袋和清洗浆料管道
13
滑轮轴承堵塞后突然停止运动
轴承里混入浆料
更换滑轮轴承箱。
检查是否还有密封气体(气管是否损坏)
14
绝缘转子上有槽或轴承磨损
钢线被夹住后跳出槽
更换PUR涂层或整个辊
15
线导轮:
加工成锥形
利用车床加工成锥形
线网出口与入口之间的钢线张力不同
更换线导轮,使线导轮的直径差小于0.1mm
16
线轴
放线轴质量不好
钢线断面不规则/钢线表面脏
更换线轴
17
没有很好的存放
存放几个月后线轴弯曲
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18
浆料罐/帘破裂/浆料流量计不稳定
浆料罐里的浆料不充分
吸入空气或浆料
增加浆料
12、导轮寿命对照表
机床
HCTE500D-B/B5
HCT
E500SD-B/B5
M+BDS262/
264
NTCMWM442DM
NTCPV800S
东纲VWS330
负载(块)
寿命
35
25
20
此寿命值是一个大概值,切割过程中导轮会因某种原因提前损坏,可提前更换,正常使用寿命到了的导轮如果因为没有新的导轮替换或切割质量比较好,导轮寿命可以根据实际情况延长。
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- HCT 工序 报警 原因 分析