高分辨冷场发射扫描电子显微镜分析系统.docx
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高分辨冷场发射扫描电子显微镜分析系统.docx
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高分辨冷场发射扫描电子显微镜分析系统
附件:
高分辨冷场发射扫描电子显微镜分析系统
本包冷场发射扫描电子显微镜系统包括场发射扫描电子显微镜系统主机、场发射灯丝3支(含光阑)、进口Emitach离子溅射仪(含喷碳附件)、英国QuorumPP2000T冷冻样品制备系统(涡轮分子泵抽真空)、不间断稳压电源UPS一台(6千瓦)及其配套附件和保证正常运行的耗材一批。
1.工作条件
1.1电源:
单相,220V±10%,50/60Hz
1.2运行环境温度:
15~25℃
1.3相对湿度:
<70%
1.4地线:
电阻小于10Ω
1.5仪器运行的持久性:
可连续运行
2.设备用途
2.1适用于纳米级材料表面形貌观察以及样品微区元素成分分析,在常用工作电压下能达到0.8nm的分辨率;具有较好的低电压特性,能在较低电压下保持较高的分辨率水平。
2.2样品适应性广,可以对无机材料、半导体材料、金属材料、弱磁材料、生物材料等进行观察和分析。
适用于物理、化学、生物、地理、矿物、金属、半导体、陶瓷、高分子、复合材料、纳米材料等领域的科学研究。
3.技术规格
3.1组成与主要功能
3.1.1组成
该设备由主机(包括真空系统、电子光学系统、检测器、主动式防震平台),自动变压器,冷却循环水系统;探测器包括:
镜筒内独立二次电子探测器,镜筒内独立EsB探测器(带过滤栅网0-1500V)或者高衬度VCD探测器,样品室独立的二次电子探测器,样品室独立的角度选择背散射电子探测器,样品室红外CCD摄像机(IR-CCD),STEM扫描透射探测器、低真空探测器系统;离子溅射仪,冷冻样品制备系统(涡轮分子泵抽真空),不间断电源,标准工具及附件,计算机系统,彩色打印机等组成。
3.1.2主要功能
主要用于观察、分析和记录材料的微观形貌,还可以通过配备EDS能谱仪、EBSD背散射衍射系统、WDS波谱仪系统进行材料元素全方位的分析、超高分辩成像、在低压进行表面衬度成像(BSE功能),以及实时监控的SE和BSE成像等。
在电镜系统上配套的用于生物样品加工的冷冻样品系统可实现生物医学材料的成像功能。
3.2电子光学系统
*3.1.1分辨率:
二次电子(SE)像:
15kV时优于0.8nm
背散射(BSE)平均原子序数分辨率:
优于0.001Z
分辨率指标以厂家官方网站数据以及相应原厂证明文件为依据
3.1.2放大倍率范围:
12~1,000,000倍
*3.1.3加速电压:
0.02to30kV(10Vsteps)加速电压从20V到30kV不需更换任何模式
3.1.4电子枪:
肖特基场发射电子枪
3.1.5电子束流:
4pA~20nA;电子束偏移量:
+/-50um,连续可调
3.1.6配备电子束减速模式或更多不导电样品的高分辨观察模式
3.1.7镜筒设计要满足铁磁等磁性材料的方便观测
*3.2样品室和样品台
3.2.1样品室:
(1)宽度或者内部直径不小于320mm,高度不小于270mm
(2)端口数:
≥8个探测器/附件接口
3.2.2样品台:
五轴全自动样品台;移动最大范围指标:
不小于120mm(X方向),120mm(Y方向),50mm(Z方向),-4~70°(倾斜),360°(旋转)
3.2.3样品座:
单孔样品座和多孔样品座(同时装载样品数≥8)
*3.3探测器
3.3.1镜筒内独立二次电子探测器
3.3.2镜筒内独立EsB探测器(带过滤栅网0-1500V)或者高衬度VCD探测器
3.3.3样品室独立的二次电子探测器
3.3.4样品室独立的角度选择背散射电子探测器
3.3.5样品室红外CCD摄像机(IR-CCD)
3.3.6STEM扫描透射探测器
*3.4真空系统
3.4.1无油真空系统:
干式机械泵+磁悬浮涡轮分子泵+两个离子泵,全自动控制
3.4.2前级机械泵,含自控静音模式(静音模式:
减少机械泵工作时间,增加整个真空系统寿命)
3.4.3样品室真空度:
1)样品室极限真空度:
优于2×10-4Pa
2)换样抽真空时间:
≤4min
3.5数字图像记录系统
3.5.1图像扫描:
100%数字化扫描,最大扫描和成像3072×2304像素
3.5.2图像显示:
1280×1024像素,19”LCD显示器
3.5.3图像记录:
TIFF,BMP和JPEG可选
3.6控制和数据处理系统
3.6.1可自动调节:
电子枪对中、真空控制、亮度与衬度、调焦和象散、动态聚焦、倾斜补偿
3.6.2计算机系统2套
计算机CPU:
英特尔,酷睿双核,3.0GHz以上,RAM:
3G硬盘harddisk:
320GB以上,DVD-ROM驱动器:
48x,能刻录,显示器:
22”LED,分辨率不低于1440×900,WindowsXP操作系统,操作方式:
键盘、鼠标。
HP彩色激光打印机。
3.7标准应用软件
3.7.1应具有样品台图像导航功能
3.7.2应具有双击鼠标移动样品功能
3.7.3应具有鼠标拖曳式放大及对中功能
4.配置
4.1场发射扫描电子显微镜系统(3.款中全部内容)1套
4.2保证设备的正常运行的碳胶带5卷,真空脂1支,抛光膏1支,样品座30个,保险丝一套等耗材,(投标人可自行配置),不间断稳压电源UPS一台(6千瓦)。
4.3含机器本身场发射灯丝3支,光阑3套
*4.4其他附件要求:
进口Emitach离子溅射仪(含喷碳附件),英国QuorumPP2000T冷冻样品制备系统(涡轮分子泵抽真空)
4.4.1制备腔室,SEM杜瓦瓶、样品台及冷阱
4.4.2样品传输装置
4.4.3控制单元,抽真空系统,仪器控制台
4.4.4样品座、多用途样品座及样品梭,操作手册
4.4.5金靶0.2MM厚;碳靶
4.4.6两个机械泵:
机械泵(冷冻腔室用),机械泵(制液氮雪泥,预冷样品用)
4.4.7铜质空坯样品座(每包10个)螺钉紧固样品座-用于硬样品和平样品铜质带槽样品座,带有1mm宽的槽(每包5个)黄铜铆钉 (用于液体样品冷冻断裂的小管)(每包100个)
4.4.8体视显微镜(安装在冷冻制备腔室上)
5.售后服务
5.1卖方应在合同生效后的三个月内,对可能的设置室进行地面振动、杂散磁场的测量,并向买方提出详细的安装要求和提供技术咨询。
5.2仪器到达用户所在地后,在接到用户通知后两周内进行现场免费安装调试,直至通过验收。
依照合同核对规格和数量,仪器安装完成后,性能试验必须达到仪器出厂验收标准和合同技术要求。
5.3设备安装后,在用户现场对用户进行免费培训,培训内容包括仪器的操作和仪器基本维护等,使用户达到独立操作水平。
5.4卖方提供壹年的免费保修。
保修期内各项性能指标以供货方提供的仪器指标为准。
保修期自仪器验收签字之日起计算。
5.5维修响应时间:
保修期内,应在接到客户关于设备发生故障的通知后12小时内应答,并在48小时内到达现场。
卖方对仪器终身维修并提供相应的零配件。
在保修期外软硬件出现问题,应在接到用户通知后两个工作日内到达用户现场解决问题。
5.6软、硬件升级:
仪器需有较强的升级能力,软件在同一版本上终生免费升级。
5.7技术培训:
提供两人一周的国内免费提升培训;培训内容包括仪器的技术原理、仪器操作、数据处理、仪器基本维护等;使受训人员掌握仪器的基本原理、结构,使用熟练,达到独立操作和进行方法条件摸索开发的水平,能够对仪器进行日常维护。
所有的培训费用由供应商提供。
之后,公司不定期的每年组织1~2次用户培训,免收培训费用(差旅费自理)。
公司将长期免费提供产品的性能、使用、维护等方面的技术咨询。
5.8厂家长期提供技术支持,并免费提供所有公开发表的应用文献和最新仪器有关资料、通讯和用户论文和软件升级服务等。
5.9免费提供仪器提供仪器设备的安装、操作手册、培训教材、应用文章等。
6.技术文件
设备出厂检验报告(合格证),产品说明书,操作指南,操作规程(说明书、光盘)(最好有中文文本)和注意事项。
7.厂家资质要求
仪器设备须经中国政府批准在中国境内销售,并在中国有关监督管理部门办理注册登记。
仪器设备须适合中国国家标准,或通用国际标准。
通过IS9001、ISO14001认证。
8.定货数量
需要数量1套
9.到货目的地
四川绵阳西南科技大学
10.标准出口包装
11.交货期
信用证开出后10个月。
超高分辨场发射扫描电子显微镜配套附件(A)—能谱仪、EBSD检测器、EBSD检测器抛光制样设备
1.工作条件
1.1电力供应:
220V(10%),50Hz,1φ;380V(10%),50Hz,3φ
1.2工作温度:
15℃-25℃
1.3工作湿度:
<60%
1.4接地电阻:
按扫描电子显微镜的要求
2.主要功能
本包招标的超高分辨场发扫描射电子显微镜的所有配套附件,包括能谱仪、EBSD检测器、EBSD检测器抛光制样设备及相应的附属部件。
该配套附件达到当前材料研究分析领域最高标准:
电镜束流低至2nA时,能同时分析材料的3大特征参数——形貌(电镜观察)、成分(能谱分析)、织构(EBSD观察分析)。
该配套附件必须能安装在第五包投标的超高分辨场发射扫描电子显微镜上并进行联机使用,且无需改动电镜样品仓原设计,不影响场发射电镜离子泵工作。
*投标和供货时要求提供投标厂家的最新型号的产品,以及硬件上可实现功能的所有软件。
3.技术要求及配置
3.1能谱仪
3.1.1主要功能:
该设备为扫描电镜附属设备,用于材料的成分分析。
分析材料表面微区的成分,分析方式有定点定性分析、定点定量分析、元素的线分布、元素的面分布。
主要包括:
硅漂移探测器、能谱数据采集与处理系统、电子束控制系统包、能谱与电镜接口等。
3.1.2探测器
(1)探头类型:
SDD电制冷能探头,超薄窗口,晶体活区面积≥80mm2,探头真空度8年内优于E-7torr。
*
(2)探头分辨率:
保证值:
MnKa优于127eV@20,000cps,典型值:
123eV@20,000cps
(3)探头灵敏度:
大于20000:
1,可处理1,000,000cps及输出最大计数率350,000cps
(4)元素分析范围Be4—U92
(5)谱峰稳定性:
1,000cps到100,000cps,MnKa分辨率变化及谱峰漂移小于1eV,48小时内谱峰漂移<1.5eV
(6)探头量子化效率指标:
Ni(硬币)的La线与Ka线比可达1.8:
1(测试条件:
20KV,4000CPS,100秒)
(7)探头分辨率及峰位漂移指标:
同上测试条件下,Ni的Ll线峰顶与峰谷比>1.17
(8)电子陷阱保护装置
(9)防电镜图像漂移配件
*(10)采集样品表面三维形貌图
3.1.3独特的零峰设计,实时修正谱峰,无需手动校准
*31.4能谱仪处理器与计算机采用分立设计,采用1394卡进行通讯
3.1.5能谱应用软件操作简便,导航器界面,并具有中英文操作界面可自由切换
(1)谱定性分析:
可自动标识谱峰,可进行谱重构,对重叠峰进行峰剥离,提供和峰定量修正功能;
*
(2)谱定量分析:
采用XPP修正技术,可对抛光表面或粗糙表面进行点、线和面的分析;
(3)采用数字滤波法自动扣除本底,无需人工设定和干预;
*(4)具有轻元素定量修正功能,具备电子探针的标样法、无标样法工作方式;
(5)建有虚拟标样库,无标样定量分析时既可给出归一化结果也可给出样非归一化结果;
*(6)完整的能谱定性定量分析软件,带图像系统,能进行线面扫描,,X射线成分全谱图清晰度≥1024×1024。
(7)能谱图离线处理工具包
(8)一体化镜筒参数控制软件
(9)图像/面分布图采集处理软件
(10)能谱定量面分布(成分图)软件
(11)能谱线扫描采集处理软件
(12)快速智能面分布(全谱面分布)
(13)扫描电镜样品台控制配(软)件
(14)高级粒度/相分析配件
(15)低真空及可变真空条件下的定量分析校正配件
(16)杂质元素侦探器(杂质自动查找配件)
(17)相簇分析配件
(18)修正电镜图像漂移配件
(19)纳米材料类定量分析软件
(20)2010年最新上市分析平台系统
(21)谱线库匹配
(22)逐点和网格扫描软件
(23)化合物峰位拟合软件
(24)快速成分归类软件
(25)谱图拼接软件
3.1.6与电镜联机的相关软硬件。
3.1.7计算机系统1套
高端计算机工作站-Pentium43.0GHz或以上CPU;DDRII2G以上内存;SATA-II250G以上硬盘;独立显卡;DVD刻录机;22”LCD显示器,WindowsXP操作系统,操作方式:
键盘、鼠标。
HP彩色激光打印机,HP黑白激光打印机。
3.2EBSD检测器
*3.2.1主要功能
通过对背散射电子衍射花样(EBSP)的测量和标定,可做单晶体的物相分析,同时提供花样质量、置信度指数、彩色晶粒图,可做单晶体的空间位向测定、两颗单晶体之间夹角的测定、可做特选取向图、共格晶界图、特殊晶界图,同时提供不同晶界类型的绝对数量和相对比例。
一体化的能谱和EBSD系统,同步测量EDS和EBSD数据,通过化学预过滤的相分析,提高指标化的速度和准确度。
主要包括EBSD相机、EBSD相机控制器、专用样品台(保证电镜图像与EBSD图像同位观察)、成套组件(电源等)。
*3.2.2数字化CCD相机:
百万像素(≥1344×1024)高分辨率数字CCD相机,99%解析率时扫描速度最快100点/秒,无需电子制冷,直接安装于荧光屏后,充分靠近样品,马达驱动,并适合各种型号的电镜
3.2.3操作系统与能谱仪一体化,可与能谱仪同时实现能谱Mapping与EBSD晶体取向分布分析(COM)。
可对根据能谱数据对EBSD花样进行预过滤,实现对未知相的相鉴定(PhaseID)和进行化学相辅助织构相分析(Chi-Scan)
*3.2.4探测器:
矩形,前端渐缩,工作距离可短至5-7mm,可以充分靠近样品而不遮挡能谱探头,配备接触传感器以防相机碰撞
*3.2.5标样库:
由电子衍射得到的EBSD专用数据库:
>300个;具有数据库扩展(人工建立)数据库功能;源于XRD的通用数据库:
含8万以上相结构
3.2.6晶体学数据库:
配置ICSD海量晶体学数据库,常规晶体学标样数量超过5万种,并且已经滤掉伪对称数据
3.2.7指标化速度:
≥150点/秒,在2nA的束流条件下用镍(Ni)试样测量,并保证>99%的标定成功率。
3.2.8EBSD分析:
所有EBSD分析功能全部集成在一个软件平台,采用简洁清晰的树状结构进行管理,可以方便地得到各种面分布(Map)、分布图表(Chart)、离散图(Plot),方便地进行织构计算和绘图,并可进行交互分析和表征。
在取向分析的基础上,根据系统提供的大部分材料的物理特性,计算材料的弹性刚量(ElasticStiffness)、泰勒(Taylor)因子、施密特(Schmid)因子等。
高级软件分析:
高级数据处理、高级晶粒表征、高级边界表征、高级织构表征及高级性能表征等,满足高级取向分析应用的需要。
软件配置如下:
(1)能对所有对称性(从三斜到立方)晶体材料的EBSP花样进行完全自动化的标定;
(2)采用最优化的Hough变换和结构因子数据进行完全自动化的菊池带识别和花样标定;
*(3)多带标定法,至少选择10条以上菊池带进行计算标定,避免误标;
(4)专门的伪对称处理工具;
(5)EBSD花样驻点实时保存,可以先快速采集花样,后续再进行脱机分析,大大提高分析的速度和效率;
(6)极图软件包;
(7)相鉴定软件包;
(8)取向分布函数软件包;
(9)晶体反射文件生成软件包;
(10)可自动剥离形变和再结晶区;
(11)晶粒尺寸和再结晶软件包
(12)具有化学成分辅助相鉴定的取向成像采集软件包
(13)高级数据处理软件包
(14)高级晶粒表征软件包
(15)高级边界表征软件包
(16)高级织构特性软件包
*3.2.75片装前置背散射探头
3.2.835度专用样品台1盒(12只)
3.2.9 能谱、波谱、EBSD共用计算机工作站1套
高端计算机工作站-Xeon4x2.66GHz或以上CPU;HP3G以上DDR3-1333内存;2x500G以上硬盘;独立显卡;DVD刻录机;19”显示器,WindowsXP操作系统,操作方式:
键盘、鼠标。
HP彩色喷墨打印机。
3.3EBSD检测器抛光制样设备
(1)每秒7200个水平运动循环;
(2)触摸按键,LED显示:
振动频率循环开始/关闭电源开/关;
(3)大功率驱动系统,独特的振动设计保证振动时均匀的水平移动;
(4)12寸(305mm)大抛光盘,可快速更换清洗;
(5)最多可同时抛光18个镶嵌试样;
(6)可同时抛光多个大型未镶嵌试样;
(7)可制备岩相样品薄至5~10微米;
(8)抗腐蚀,抗冲击的RIM材料机身;
(9)多种尺寸夹持器可供选择,如1寸,1.25寸,1.5寸等;
(10)多个配重可用来调节压力;
(11)适用电源:
220V,50HZ,单相;
(12)尺寸:
W×D×H≥460mm×570mm×360mm;
(13)出运重量:
≥80公斤
4.售后服务
4.1仪器到达用户所在地后,在接到用户通知后两周内进行现场免费安装调试,直至通过验收。
依照合同核对规格和数量,仪器安装完成后,性能试验必须达到仪器出厂验收标准和合同技术要求。
4.2设备安装后,在用户现场对用户进行免费培训,培训内容包括仪器的操作和仪器基本维护等,使用户达到独立操作水平。
4.3卖方提供2年的免费保修。
保修期内各项性能指标以供货方提供的仪器指标为准。
保修期自仪器验收签字之日起计算。
4.4维修响应时间:
保修期内,应在接到客户关于设备发生故障的通知后12小时内应答,并在48小时内到达现场。
卖方对仪器终身维修,并提供相应的零部件,在保修期外软硬件出现问题,应在接到用户通知后两个工作日内到达用户现场解决问题。
4.5软、硬件升级:
仪器具有较强的升级能力,软件终身免费升级。
4.6技术培训:
提供两人一周的国内免费提升培训;培训内容包括仪器的技术原理、仪器操作、数据处理、仪器基本维护等;使受训人员掌握仪器的基本原理、结构,使用熟练,达到独立操作和进行方法条件摸索开发的水平,能够对仪器进行日常维护。
所有的培训费用由供应商提供。
4.7厂家长期提供技术支持,并免费提供所有公开发表的应用文献和最新仪器有关资料、通讯和用户论文和软件升级服务等。
4.8免费提供仪器使用手册、培训教材、应用文章等。
5.技术文件
设备出厂检验报告(合格证),产品说明书,操作指南(鉴定合同后半年内提供),操作规程(说明书、光盘)和注意事项。
6.定货数量
需要数量1套
7.到货目的地
四川省绵阳市西南科技大学
10.标准出口包装。
11.交货期
信用证开出后10个月。
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- 高分 冷场 发射 扫描 电子显微镜 分析 系统