扫描电镜和能谱仪操作培训课件PPT文件格式下载.ppt
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0;s:
2328:
"SEMLabTraining02,操作规程简介,操作流程简介不同方向的不同关注,开机顺序,装(换)样顺序,关机顺序,关高压,复位并等够2min,关能谱主程序,关能谱电脑,关EDAX分析器,Vent并取出样品台,Evac到Ready,关SEM主程序,关SEM电脑,关SEM主机,等1530min,关配电箱电源,关循环水开关,工作条件,室温:
@#@1525湿度:
@#@70%,SEM各参数初始值(复位),形貌分析步骤,选择信号SEI或者BEC扫描1聚焦,更高倍聚焦。
@#@扫描2移动,寻找目标。
@#@移动有三种方式扫描3检查,看有没有问题。
@#@定格,保存,取消,下一个。
@#@,能谱分析,一般能谱步骤元素面分布扫描(面扫描)步骤元素线分布扫描(线扫描)步骤,一般能谱步骤,CPS=12003000,DT%=1040,Amptime=51.2或102.4CollectimageClearspectrum或者“雷达”Star/stopEDScollection或者“秒表”Lsec=2050s后,“秒表”HPD或者直接Q,看“绿色线”和“峰位”啮合是否完美W保存“EXT/XY”下一个样,面扫描步骤,CPS5000,Amptime=25.6Map/line选择感兴趣的元素和区域,collectimage点掉“quant”,点上“live”(还有全谱面扫,需2h以上)Collectmaps保存Fileprint,!
@#@注意,不是我们教的方法,而在我们的设备上使用的。
@#@若有万一,后果自负。
@#@有好的方法可以跟我们交流,好的方法我们会推荐给大家。
@#@例如,线扫描步骤,CPS5000,Amptime=25.6Map/line选择感兴趣的元素和区域,collectimage点掉“live”,点上“quant”,可以选择数据类型划线Collectline保存Displaylinescandataimageshowimagesave,不同方向的不同关注,形貌相能谱,形貌例1,纯铝阳极氧化S2006C6,选择条件:
@#@喷金光栅2无其他要求,海水腐蚀的铝青铜,外委阳极氧化Al合金缺陷,工作条件:
@#@5KV光栅3SS=20,1005断口,相例2,2026,例5汽车板两种信号结合来确定“是相还是缝?
@#@”,能谱,前面的工作做好(样品放对,图像找好,目标找准)45%理解原理,选好工作条件45%大胆怀疑和尝试10%,简言之,了解SEM两种信号和能谱的能力了解关注的重点,以选择合适的工作条件了解关注对象多尝试,可以上机了吗?
@#@,最重要的安全注意事项,谢谢!
@#@,扫描电镜室:
@#@*,";}
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