沸石浓缩转轮焚化系统.pdf
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沸石濃縮轉輪焚化系統操作績效自我評估管理制度參考手冊第二版白曛綾、林育旨、張豐堂、陳建志編著補助單位:
科學工業園區管理局執行單位:
國立交通大學環境工程研究所中華民國九十二年十二月I目錄一、前言.1二、沸石吸附濃縮轉輪焚化系統基本原理.3三、沸石濃縮轉輪之模廠吸附特性測試.63.1測試方法.63.2不同進流溫度對去除效率之影響.103.3不同進流濕度對去除效率之影響.123.4主要操作參數對轉輪去除效率之影響.123.5結論.22四、沸石濃縮轉輪焚化系統操作之成本效率.244.1實驗系統.244.2沸石轉輪系統結合RTO與其結合直接焚化爐之比較.274.3操作參數最佳化.304.4結論.32五、轉輪操作問題、處理方案與改善成果.355.1沸石吸附濃縮轉輪主要之操作問題.355.2建議處理方案.365.2.1設置前端濾布過濾裝置.36II5.2.2設置前端高沸點VOCS物質冷凝處理設備.365.2.3定期以潔淨水進行保養清洗.375.2.4於操作程序中提高脫附熱容量.395.3建議處理方案對系統處理效率改善成果.395.3.1設置前端濾布後之系統改善狀況.395.3.2裝設冷凝器前處理及執行水洗程序之系統改善狀況.485.3.3於操作程序中提高脫附熱容量對於系統去除效率之改善.51六、沸石吸附濃縮轉輪焚化系統之適用建議.53七、沸石吸附濃縮轉輪焚化系統之操作維護記錄項目及績效自我評估.557.1沸石吸附濃縮轉輪焚化系統之操作維護記錄項目.557.2沸石吸附濃縮轉輪焚化系統之操作績效自我評估.57參考文獻.60附件操作效能自我評估管理記錄表.62III表目錄表3.1使用之沸石轉輪反應器之規格資料.9表4.1沸石轉輪系統結合蓄熱燃燒爐與其結合直接焚化爐相較後之優缺點.29表4.2沸石濃縮轉輪結合蓄熱燃燒爐及其結合直接焚化爐之成本比較.29表4.3某半導廠執行原廠參數與本研究群建議操作參數值之去除效率比較.34表4.4某光電廠操作參數調整前後之處理效率變化.34表5.1某半導體廠設置冷凝器前後個別成本與總成本比較.52表7.1沸石吸附濃縮焚化系統建議紀錄項目填寫範例.56表7.2沸石吸附濃縮焚化系統建議操作績效指標自我評估表範例.59附表1沸石吸附濃縮焚化系統操作維護紀錄項目.63附表2沸石吸附濃縮焚化系統建議操作績效指標自我評估表.64IV圖目錄圖1.1沸石吸附濃縮轉輪焚化系統處理流程.5圖3.1模廠設備流程.8圖3.2不同氣流進流溫度下對於系統去除IPA之效率影響.11圖3.3不同氣流進流溼度(水份)與VOCS在沸石轉輪上之競爭性吸附情形13圖3.4不同轉速下,轉輪吸附區出口側表面各轉度位置之去除效率.14圖3.5(a)不同轉速下,高濃度(THCS=200ppmv)之主要半導體VOCS於轉輪上吸附去除效率.17圖3.5(b)不同轉速下,低濃度(THCS=80ppmv)之主要半導體VOCS於轉輪上吸附去除效率.18圖3.6不同濃縮倍率下,轉輪吸附區出口側表面各轉度位置之去除效率.19圖3.7不同脫附溫度下,轉輪吸附區出口側表面各轉度位置之去除效率.21圖4.1本研究之沸石濃縮轉輪結合RTO系統處理半導體VOCS廢氣流程25圖5.1轉輪建議清洗程序.38圖5.2抽氣時間與濃度變化圖(IPA為異丙醇;NBA為乙酸正丁酯).41圖5.3抽氣時間與濾布去除率關係圖(IPA為異丙醇;NBA為乙酸正丁酯).41圖5.4連續抽氣16天之濃度變化圖(IPA為異丙醇;NBA為乙酸正丁酯)42圖5.6某光電廠裝設濾布後風車變頻運轉效能與時間變化圖.42V圖5.7某光電廠有機排氣之粉末混合水中的靜置一天後之情形.44圖5.8某光電廠有機排氣之粉末0.08g在(a)未加熱前;(b)180下加熱烘烤11分鐘;(c)180下加熱烘烤15分鐘後之粉末變化.44圖5.9某光電廠有機排氣粉末混合於水中(a)未烘乾前;(b)100下烘乾;(c)130下烘乾.45圖5.10某光電廠有機排氣粉末在100下烘乾之塗覆表面(a)放大3千倍;(b)放大1萬倍.45圖5.11某光電廠有機排氣粉末在130下烘乾之塗覆表面(放大30倍).45圖5.12某光電廠有機排氣粉末之元素分析.47圖5.13沸石轉輪系統結合冷凝器與單一沸石轉輪系統進行轉輪清洗後處理效率.491一一、前言前言據研究調查分析結果顯示1-3,沸石吸附濃縮焚化系統處理揮發性有機廢氣,其處理效率可穩定達到大於90%,且部分廠家應用時亦能達到符合VOCS排放量小於0.6kg/hr,是現行揮發性有機廢氣(volatileorganiccompounds,VOCS)污染防制設備最能符合國內半導體製造業空氣污染管制及排放標準者,亦為新竹科學園區內半導體產業最廣為使用之VOCS污染防制設備;而該系統係結合吸附、脫附及濃縮焚化三項操作單元為一體,是目前提供防制VOCS之較完善設備,但造價及操作維護成本偏高,與不適用於直接處理高沸點揮發性有機物質為其限制所在。
為協助高科技廠家應用沸石吸附濃縮焚化系統之處理效能提升程序及日常操作維護有據可循,本研究群利用執行科學工業園區管理局委託研究計畫之機會,累積實廠輔導經驗,並配合以其他研究經費來源,執行實驗室模廠研究,以瞭解沸石轉輪吸脫附之基本特性,將成果編寫成本手冊。
手冊內容涵蓋沸石吸附濃縮轉輪焚化系統基本原理、模廠吸附特性測試、系統操作之成本效率、轉輪操作問題、處理方案與改善成果、系統之適用建議、系統之操作維護記錄項目及績效自我評估等六大部分;而內容所提之各範疇可與該廠實際運作狀況相互對照,並可於實場操作上參酌調整、以省卻不必要之試誤程序。
2最後,本手冊亦收錄操作效能自我評估管理制度、內含日常操作維護紀錄項目,其可提供廠家參考表格中之各項參數定期記錄,建立基本之自身操作績效資料庫,亦可推算所花費之VOCS處理成本,而在處理效能符合法規要求、並達一定水準後,若為使操作成本經濟化,則可從中檢視支出最甚之項目,將其適切進行調整以節約成本。
如此冀望藉由實務操作經驗紀錄檢視,使自我評估管理制度更趨完善,並讓工廠更能兼具操作績效且達到自我管理之目的。
3二二、沸石吸附濃縮轉輪焚化系統基本原理沸石吸附濃縮轉輪焚化系統基本原理沸石吸附濃縮轉輪焚化系統係利用吸附脫附濃縮焚化等三項連續程序,其設備特性適合處理高流量、低污染物濃度及含多物種之VOCS廢氣,其主要應用於排放較稀薄且接近周界溫度之污染物工業,典型應用如影印、塗裝製程及半導體工廠等相關產業。
沸石吸附濃縮轉輪焚化系統處理流程如圖1.14所示。
沸石吸附轉輪組合(Cassette)為一中心軸承與軸承周圍之支撐圓形框架支撐著轉體,轉體由沸石吸附介質與陶瓷纖維製成。
轉輪上包含用以分開處理廢氣及處理後釋出乾淨氣體之密封墊,其材質為需能承受VOCS腐蝕性及高操作溫度之柔軟材料製成(一般為silicon)。
密封墊將蜂巢狀沸石吸附轉輪組合隔離成基本之吸附區(Adsorptionzone)及再生脫附區(Regenerationzone;desorptionzone),但為提升轉輪之吸附處理能力,則常見於前二區間加一隔離冷卻區(CoolingzoneorPurgezone)。
通常吸附區為較大,而脫附區及冷卻區則為兩個較小且面積相等之處理側。
有時為特殊須求亦可分成更多串聯區;而吸附轉輪由一組電動驅動設備用以旋轉轉輪,故轉輪處理時為可變速、且可控制每小時旋轉2至6轉之能力。
工廠所排放出之VOCS廢氣進入系統後,第一階段係經過疏水性沸石所組成之轉輪,VOCS污染物質首先於轉輪上進行吸附;第二階段之脫附4程序是由與後端焚化系統熱交換後預熱之經冷卻區處理後廢氣(約180至250),使其通入轉輪內利用高溫將有機物脫附下來,此時出流污染物濃度大約可控制為入流廢氣之5至20倍左右,而脫附下來之有機物則可於第三階段進行溫度於700以上之焚化或進行冷凝回收再利用等程序,如此可以減少後續之廢氣處理單元尺寸、操作經費及設備初設費用。
5圖1.1沸石吸附濃縮轉輪焚化系統處理流程46三三、沸石濃縮轉輪之模廠吸附特性測試沸石濃縮轉輪之模廠吸附特性測試55沸石濃縮轉輪之模廠吸附特性測試之目的為瞭解沸石濃縮轉輪焚化系統於各操作狀況下之運作效能,並可為其系統建立操作參數資料庫之基礎外,亦能提供實場調整之參考,以省卻不必要之試誤程序。
本研究於實驗室內架設一小型沸石轉輪系統模廠,並以國內半導體及光電產業使用比例較多之揮發性有機物質(volatileorganiccompounds,VOCS),如中沸點VOCS物質之異丙醇Isopropylalcohol(IPA)、丙酮(Acetone),高沸點VOCS物質之單甲基醚丙二醇(PropyleneGlycolMethylEther,PGME)、乙酸乙二醇丁醚酯(PropyleneGlycolMonomethylEtherAcetate,PGMEA)等為研究物種1,並依據以往研究及執行計畫規納出可能影響沸石濃縮轉輪焚化系統參數,如進流廢氣之溫、濕度變化,及各重要操作參數如轉輪轉速、濃縮倍率與再生溫度等,逐項進行影響該系統去除效率探討。
3.1測試方法測試方法本研究模廠設備流程圖如圖3.1所示。
空氣壓縮機產生氣流、經流量計控制所需流量後,以過濾器去除氣流中之粒狀污染物,再以溼度控制器及VOCS曝氣設備調整所需之溼度與VOCS濃度值。
於進入反應器前,氣流閥門與流量控制器將分別控制進入反應器吸附區及冷卻區之吸附氣流7量及冷卻氣流量(脫附氣流量),且由前者除以後者所得之值即為定義之濃縮比;反應器處理吸附氣流及冷卻氣流所含之污染物後,吸附氣流導引至抽氣櫃排至大氣,冷卻氣流則循環導入加熱器成為脫附氣流、並加熱至所需之脫附溫度,再進入反應器之脫附區將吸附其上之VOCS脫附而出。
本研究之反應器旋轉及轉速由步進馬達控制,沸石轉輪反應器之規格資料如表3.1所示。
在吸附區出口側共有六個檢測點,每個點距之角度為50o;本研究中亦針對反應器高度及旋轉角度分別定義兩個無因次參數:
Z及。
無因次化高度參數Z之計算為由吸附區入口側所量測而得之高度除以反應器總高度;無因次化旋轉角度之定義為反應器轉入脫附區開始計量每個溫度與VOCS取樣點之角度除以360o所得之值。
為了解反應器之處理性能效率,本研究利用氣相層析儀/火焰離子化偵測法(GC/FID),藉以檢測反應器於各操作條件下之吸附前後VOCS濃度值,以了解其處理效率;檢測VOCS濃度之方法為每隔60秒以自動採樣方式分別對反應器前後之氣流取樣5ml後,注入GC/FID(ShimadzaGC14B),其內分析管柱為J&WDB-Wax(30m0.53mmI.D.,1.0mfilmthickness)、火焰偵測器與烘箱均設定為200。
8圖3.1模廠設備流程9表3.1使用之沸石轉輪反應器之規格資料Diameter(mm)320Height(mm)400BulkDensity(kg/m3)250ZoneAreaRatio(Process/Regeneration/Cooling)10:
1:
1ChannelShapeParabolichoneycombChannelSize(mmmmmm)3.0(pitch)1.6(height)0.2(thickness)CellPerSquareInch(cpsi)269BETSurfaceArea(m2/g)241MassFractionofAdsorbentinMatrix(%)36.66AdsorbentTypeZSM-5Si/AlRatioofAdsorbent166PorevolumeofAdsorbent(cm3/g)0.32110本研究初步結果係針對沸石吸附濃縮轉輪處理半導體VOCS廢氣之主要影響參數,如進流廢氣可能之溫、濕度變化及各重要操作參數如轉輪轉速、濃縮倍率與再生溫度等,進行該系統去除效率探討。
經調查1顯示目前台灣地區半導體業排放VOCS廢氣中,平均以IPA所佔比例為最多,故本研究以異丙醇(Isopropylalcohol,IPA)為主要研究物種,其他探討之VOCS包含了丙酮(Acetone)、PGME及PGMEA等。
3.2不同進流溫度對去除效率之影響不同進流溫度對去除效率之影響圖3.2為不同氣流進流溫度下對於系統去除IPA之效率影響,進流IPA濃度為200ppm、脫附溫度為180,濃縮比為13倍,氣流進流濕度為11g/kg,再生氣流流速為1.77m/s,轉速為每小時3.3轉。
由於吸附為放熱反應,進流溫度增加將不利於吸附處理程序,在圖3.2中可看出當溫度高於35後,系統之處理效率將明顯下降,研究中亦發現當吸附溫度達到45,系統處理效率降至92%以下;另外,理論上溫度降低有助於吸附程序之進行,但此時氣流中之相對溼度將相對增加,如溫度在20時、其相對溼度為75%,此時較高之相對溼度將使得水分凝結於轉輪上、佔據蜂巢孔徑及吸附位置,使得吸附效率下降。
1120304050Inlettemperature(0C)9092949698100Removalefficiency(%)圖3.2不同氣流進流溫度下對於系統去除IPA之效率影響123.3不同進流濕度對去除效率之影響不同進流濕度對去除效率之影響為進一步了解氣流中溼度(水份)與VOCS在沸石轉輪上之競爭性吸附情形,圖3.3為進流氣流中所含IPA濃度200ppm、Acetone濃度100ppm,進流溫度控制於25、脫附溫度180、濃縮倍率13倍,脫附氣流量1.77m/s、轉輪轉速每小時3.3轉,於不同相對溼度下沸石轉輪去除IPA與Acetone等VOCS效率變化與每單位除濕量狀況。
在進流相對溼度於40至80%之間時,系統處理IPA與Acetone之效率仍可達95%以上;當相對溼度大於90%時,系統對於處理VOCS整體效率僅有80%,而以個別物種之處理效率來看,IPA仍有80%以上、而Acetone卻僅達75%。
探求IPA處理效率優於Acetone之原因為IPA之沸點及分子量均高於Acetone,所以使得其較容易吸附於沸石上。
3.4主要操作參數對轉輪去除效率之影響主要操作參數對轉輪去除效率之影響1.轉速之改變圖3.4為不同轉速下,於轉輪吸附區出口側表面各轉度位置所量測之去除效率。
由圖3.4可知隨著轉速之增加,轉輪吸附效率有下降之趨勢,分析其因係過快之轉速將使得轉輪於脫附區即無法有充裕時間進行脫附程序,所以當轉輪操作於轉速每小時6.1轉時,仍有部分之沸石吸附位置13406080100Relativehumidity(%)708090100VOCSremovalefficiency(%)012345Dehumidificationamount(g/Kg)RemovalefficiencyofIPARemovalefficiencyofAcetoneOverallefficiencyofVOCsDehumidificationamount(g/Kg)圖3.3不同氣流進流溼度(水份)與VOCS在沸石轉輪上之競爭性吸附情形140.20.40.60.81Dimensionlessangle()0.20.40.60.81RemovalEfficiency(%)n=2.2n=3.3n=4.4n=6.1Regen.CoolProcess圖3.4不同轉速下,轉輪吸附區出口側表面各轉度位置之去除效率15仍有相當多之VOCS未完全脫附出,佔據吸附位置、使得後續欲處理之VOCS無法獲得妥善吸附,造成剛進入吸附區處理後之去除效率即低於80%以下;而過慢之轉速,則可能使得轉輪於吸附區之停留時間延長、讓轉輪內飽和吸附區增加,造成效率略為下降。
所以為使轉輪達最理想之去除效果,必須根據進流廢氣之狀況作一定之調整,而本研究於進流IPA濃度200ppm、進流溫度25、脫附溫度220、進流溼度控制11g/kg及濃縮倍率為13時,所得最佳去除效率所對應之轉速為每小時3.3轉。
圖3.5(a)及(b)為不同轉速下,半導體主要VOCS之高、低進流濃度於轉輪上吸附去除效率情形。
圖3.5(a)主要操作條件為再生溫度180、濃縮倍率14倍,當進流VOCS濃度為200ppmv(各成分所佔比例:
IPA35%、Acetone30%、PGME20%、PGMEA15%)時,系統最佳轉速為每小時4.5轉;而如圖3.5(b)所示當進流濃度降為80ppm,則系統最佳轉速隨之降為每小時4.0轉。
分析較高進流VOCS濃度,其所得最佳效率之對應轉輪轉速較快之因係為氣流中所含之污染量較多,若轉速過慢將使吸附處理區提前趨近飽和、造成處理效率下降。
此現象可由圖3.5(a)中所得知,當轉速操作於每小時2至2.5轉,系統處理效率即降至90%以下,故進流濃度較高時,需將轉速提高以使轉輪提前進入脫附區進行脫附處理;但轉速過快會讓脫附16區處理未妥、隨即進入吸附區處理,轉輪上之沸石吸附位置仍有殘存VOCS,如此將使得轉輪上之競爭性吸附更趨於顯著,如圖3.5(a)中之PGME處理效率即未能達到100%。
由圖3.5(b)可發現,進流濃度於80ppmv時,則只要介於每小時2至5.5轉,其VOCS總去除效率均可達到90%以上;而相對比較圖3.5(a)進流濃度為200ppm時,轉速僅於每小時2.8至4.5轉區間,方達到90%以上。
所以由上述結果可得知,系統於實場操作時應需定期檢視進流VOCS濃度值,並適時調整轉輪之轉速俾使處理效率達到最佳。
2.濃縮倍率之改變圖3.6為不同濃縮倍率下,於轉輪吸附區出口側表面各轉度位置所量測之去除效率。
其中可發現轉輪之去除效率將隨著濃縮倍率減少而增加,因為濃縮倍率減少代表進入吸附區氣流減少、進入冷卻區與脫附區之氣流量增加。
所以當濃縮倍率為6.5時,轉輪吸附區可以完全處理此風量下所含之污染量、吸附效率可達100%。
雖然較低之濃縮倍率可以同時增加轉輪於吸附區及脫附區之處理效率,但實廠應用上這代表進入後端之焚化爐處理之風量亦隨之增大,造成更多焚化燃料耗用。
所以為使效率與能源同時達到理想情況,應視實際之需要隨時調整濃縮倍率值。
17123456Rotationspeed(h-1)5060708090100Removalefficiency(%)Acetone(30%)IPA(35%)PGME(20%)PGMEA(15%)Overallefficiency圖3.5(a)不同轉速下,高濃度(THCS=200ppmv)之主要半導體VOCS於轉輪上吸附去除效率18123456Rotationspeed(h-1)707580859095100Removalefficiency(%)Acetone(30%)IPA(35%)PGME(20%)PGMEA(15%)Overallefficiency圖3.5(b)不同轉速下,低濃度(THCS=80ppmv)之主要半導體VOCS於轉輪上吸附去除效率1900.250.50.751Dimensionlessangle()0.50.60.70.80.91RemovalEfficiency(%)f=6.5f=13f=19.5Regen.CoolProcess圖3.6不同濃縮倍率下,轉輪吸附區出口側表面各轉度位置之去除效率203.脫附溫度之改變圖3.7為不同脫附溫度下,於轉輪吸附區出口側表面各轉度位置所量測之去除效率。
由於脫附溫度增加,可使轉輪於脫附區獲得充足熱能、將吸附其上之VOCS全數脫附而出,如此進入吸附區之轉輪吸附效率也隨之增加;不過過高之脫附溫度將使得轉體深層殘餘熱過多,反而不利吸附程序之進行,如實驗中當脫附溫度操作於240,轉輪之去除效率反而較210下降。
所以綜合以上研究結果顯示,各VOCS物種於轉輪上競爭吸附,可發現PGMEAPGMEAcetoneIPA,此可能因為PGMEA及PGME之沸點分別為146及120,而Acetone與IPA之沸點為56.5及82,故使得PGME及PGMEA於轉輪上之吸附特性較佳而優先吸附。
雖實場上脫附溫度均操作於180以上時,理論即可有效將PGME及PGMEA脫附而出,惟實際上轉輪基材熱傳效應及脫附氣流空間速度,將使得脫附側後端局部脫附熱能量不足,所以於安全考量下建議脫附溫度最高提升至210左右,並情況適時減少濃縮倍率(增加脫附風量),如此可提供充裕之脫附熱能量以使其能有效脫附而出,並且配合定期轉輪之清洗,不因日久蓄積形成高粘度液滴佔據轉輪孔徑或沸石吸附位置,影響整體處理效能。
2100.250.50.751Dimensionlessangle()0.50.60.70.80.91RemovalEfficiency(%)TR=150TR=180TR=210TR=240Regen.CoolProcess圖3.7不同脫附溫度下,轉輪吸附區出口側表面各轉度位置之去除效率223.5結論結論本研究於實驗室內架設一小型沸石轉輪系統,針對進流廢氣可能之溫、濕度變化及各重要操作參數如轉輪轉速、濃縮倍率與再生溫度等,進行系統效能之影響分析。
結果發現若控制進流溫度低於40、相對溼度小於80%以下,沸石轉輪處理半導體主要VOCS廢氣之效能均可優於目前法規要求標準;惟值得注意得是台灣地區位處亞熱帶地區,夏季平均溫度多於30以上、加上管線直接於日曬下暴露,可能使得管線內欲處理之VOCS氣流溫度提升,而造成沸石轉輪系統之處理效率未能達預期;而部分季節之過度潮濕氣候將促使進流溼度增加、進而凝結成水滴,如此將佔據沸石孔洞、阻塞吸附位置以及產生競爭性吸附現象,造成系統處理效率未盡理想。
所以實廠應用沸石轉輪處理VOCS廢氣若發現處理效能下降時,應檢查是否為進入沸石轉輪前之廢氣溫度及溼度高過本研究所發現之限值所肇致。
轉輪操作於過快或是過慢之轉速將使得系統處理效率降低,研究結果顯示系統之最佳處理效能位於每小時轉輪轉速3至4.5小時之間,而此應隨著進流VOCS濃度值條件之不同而須隨之調整變動;增加濃縮倍率將使得系統去除效率隨之降低,但卻可使得後端焚化設備減少燃料使用,所以實場沸石轉輪系統處理效能若高於法規要求標準,可藉由調整濃縮倍率以23符合經濟需求;足夠之脫附溫度有助於脫附程序之進行,但研究結果顯示,過高之脫附溫度將可能使得轉輪基材之餘熱無法於冷卻區有效降溫,以致於吸附區時轉輪輪體仍處高溫狀態、不利於吸附程序進行。
此外,雖然系統處理PGME及PGMEA等高沸點物質之吸附效率較佳,惟特別注意應需提供足夠之熱能量予以完全脫附,以免日久後形成稠密霧滴佔據吸附位置,反使系統吸附功能失效。
24四四、沸石濃縮轉輪焚化系統操作之成本效率沸石濃縮轉輪焚化系統操作之成本效率6沸石吸附濃縮轉輪焚化系統是國內半導體業界採用最多、且能穩定操作符合法規要求之揮發性有機氣體污染防制設備,不過卻有焚化能源呈現過多耗用,以及如何在既有設備上提升系統處理效能等均亟待解決之課題。
所以本研究群以蓄熱式燃燒爐(RegenerativeThermalOxidizer,RTO)取代直接焚化爐結合沸石濃縮轉輪處理VOCS,評估其是否能夠提供更節能之焚化處理方式;此外,目前各廠均依照原設備提供商所建議之操作參數值進行實際運作、且其處理效能皆能大於90%,可符合法規要求實屬良善。
惟考量若單純依照廠家建議值執行運轉可能尚未達到最佳化之
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