硅片.ppt
- 文档编号:18799594
- 上传时间:2023-11-21
- 格式:PPT
- 页数:58
- 大小:19.46MB
硅片.ppt
《硅片.ppt》由会员分享,可在线阅读,更多相关《硅片.ppt(58页珍藏版)》请在冰点文库上搜索。
硅片切割制造部介绍,硅片切割制造部,工序:
破锭-带锯-粘接-浆料-线锯-清洗目的:
把硅锭加工成硅片,一.目的:
将硅锭切割成为156*156mm的长方硅块,破锭机工序作业指导书,二.使用的工具电叉车、天车、手锯、刀片、扳手、钢板尺、游标卡尺三.必备的劳保用品一次性医用手套、防滑工作鞋、防水套袖、工作帽眼镜四.使用的主要原材料浆料、钢线、滑轮外套、绝缘转子,五.质量控制点浆料密度砂帘的完整性硅锭定位线槽复核六.工艺流程硅锭粘接机床检查编织线网硅锭定位复核线槽、工艺预热复核线槽、浆料自动运行取块清洗尺寸抽检电性能检验,1.硅锭粘接,准备材料:
硅锭聚氨脂AB两小桶35*35*5mm的胶皮9个拖盘,防护布硅锭温度降至40时使用,1).现场准备:
用电叉车将粘锭托盘放在粘接区,下铺防护布,防止胶掉在地面上。
将8块胶皮分别放到托盘上。
2).硅锭定位:
夹具夹紧硅锭,用天车(电叉车)升起硅锭,放置于托盘的中心,保证切掉的四周边料均匀;,3).胶的准备:
将提前称量好的500gA胶,500gB胶倒入混合小桶内,快速搅拌均匀(10秒钟内),4).缓慢升起硅锭离托盘约500mm将混好的AB胶迅速均匀的涂抹在托盘上,缓慢放下硅锭在调好的位置。
待胶固化10分钟后将多余的胶及其他杂物清理干净等待切割,2.机床检查,切前检查滑轮外套磨损情况,定时更换。
剩余钢线量是否满足工艺要求。
滑轮有无松动,滑轮盘与外套匹配是否紧固。
绝缘转子是否有深沟槽。
导轮固定螺丝有无松动浆料缸过滤网是否清洗干净,3.编织线网,点击织线网模式,两人配合按照导轮滑轮方向,由出线口向入线口编织线网;,将已经粘好的硅锭装入机床,调整位置使四周边料切割厚度相等。
下降工作台,底部线网差1mm接触硅锭表面最高点,点击零点设置按钮。
4.硅块定位,5.取块清洗,1).取块操作用剪刀剪断线网,并取走(不准转动导轮收走线)。
上移工作台到最高位置,然后用铲刀将沉积到硅块上表面及滑轮支架上的SiC及硅粉清理到过滤网处。
浆料制备和更新,浆料密度范围1.65-1.660kg/L。
1)量取1000L悬浮液,用隔膜泵打入搅拌缸内,启动搅拌电机。
2)取1125kg(45袋,25kg/袋)碳化硅匀速加入浆料缸,每袋约20分钟。
3)加完并搅拌1小时后,停止搅拌电机,取样测量密度,检查是否符合要求。
经过1小时搅拌再次检测密度,直至调整合适。
再搅拌6小时可以使用。
浆料制备和更新,浆料更新连续生产时浆料每使用4次(第5次)更新30升,当机床显示密度低于1.630kg/L时须增大更新量调整到1.650-1.660kg/L。
如果存在偏差,增加少量碳化硅(10kg以内)或增加少量悬浮液(20L以内)。
每次切割后要冲洗滤网并用气吹干。
1.物理检测,硅块内控标准和检验标准,除了尺寸要符合标准外,硅块表面要平整没有锯痕。
156mm0.5mm,250mm,156mm0.5mm,利用红外扫描设备,探测不易发现的杂质、内部的杂质和隐性裂纹硅块放到检测台上,旋转台面可以扫描四个面。
根据不同材料颜色的变化(硅是银白色),判定是否为杂质:
局部小范围内颜色较深呈黑色的大多数为杂质,扫描时用记号笔圈出该区域。
扫描一圈后用酒精擦拭,着重检查。
分布较广,颜色较深且阴影呈连续状的,杂质的可能性较小。
详细参考杂质及阴影硅块判定方法,2.红外检测,用酒精擦拭硅块四周,检查杂质和裂纹。
硅块顶部一般为杂质聚集区,杂质呈黑色点儿状,多为局部团聚,酒精擦不掉;裂纹呈长条状,多为自顶部到底部纵向延伸,分布在硅块四周,中间偶尔出现,用酒精、水、洗涤灵均擦不掉。
3.周边杂质检查,5.顶底杂质检查,用酒精擦拭硅块顶、底,检查杂质,用带锯将杂质和裂纹去掉。
带锯工序作业指导书,一、目的:
倒角、去除硅块头尾缺陷,1).画线156x156规格从底部起量取223mm长度,用记号笔细线画线作为带锯切割线。
需要去底的情况有:
底部杂质、底部崩边,底部未切透,底部裂纹,底部部分尺寸小于155mm。
做好切割记录。
2)切割台钳开口至最大,硅块切割线与带锯条对正,夹紧硅块,确保硅块与锯条相互垂直。
打开电机驱动电源、冷却水的开关,确保冷却水浇在砂带上,且三路水流量充分.,新锯条的切割速度为15-17mm/min。
入刀边缘切割速度6-8mm/min,入刀和出刀需减速,点击屏幕上的“等速切割”,开始切割。
当切割结束时,点击“自动退回”,退回速度设置成300mm/min。
退出后及时停止工作台。
工作台退到位后,松开台钳至最大位置。
尾部需要切割时,同样方法划线进行去底。
硅块的去头尾工作完成,放到检查杂质地点。
3.带锯操作,必备的劳保用品一次性医用手套防滑工作鞋防水套袖围裙口罩使用的主要的原材料磨砂玻璃环氧树脂无水乙醇木纹胶带盘纸刀片,粘接工序作业指导书,目的:
为线锯机床准备晶棒,工艺流程,硅块分选托盘准备玻璃准备清洁玻璃、托盘AB胶准备粘接玻璃粘接硅块粘导向条固化,1.分选硅块,分选原则:
从硅块放置台选出所要粘接的硅块。
一次粘接的块数是8块(4或2块),并且尽量保证一个硅锭的硅块切割完后,再选用下一硅锭的硅块。
长度分选:
分成四组,每两个硅块一组,1、2组,3、4组定位位置的硅块长度要尽量相同(长度差不能大于2mm),并且硅块间的缝隙大小也要相同,从而减少由于不同组间的缝隙误差造成的薄厚片,提高出片率。
把手侧相对应硅块长度差不要超过2mm。
3、尺寸和表面质量控制:
尺寸公差:
1560.5mm;倒角1.50.5mm,倒角角度4510度;尺寸二级范围为155.2-155.5mm,在此范围以内的在粘接记录上应注明尺寸小在硅块那个位置;尺寸大的退回带锯研磨;表面质量:
四周表面存在锯痕时,需先把表面研磨平滑后才能使用,锯痕块退给带锯人员研磨;大小面测量:
带锯切斜造成四个面长度不一致,偏斜允许公差1mm,测量如果不合格的,退回带锯返修,合格的要把最长的面贴近线网(作为入刀面),粘接用小面;崩边处理:
在头尾部的崩边,大于3mm的返回带锯处切掉,中间崩边小于2mm,不需处理,大于2mm视具体情况由班长确定。
4、对硅块进行编号:
以1号位置晶棒为例,托盘“把手测”1-1,托盘“机床侧”1-2.其它3个位置编号类推。
硅块如有崩边在线锯生产记录表如实记录。
定位硅块侧为2位置.5、清洁硅块:
用酒精和纸彻底清洁要粘接的那个面,用纸和酒精擦拭的时候,最后擦拭方向为平行切割锯痕方向,直到纸没有变脏为止。
3.清洁玻璃,取四块粘接用的玻璃。
检查其表面磨砂是否均匀,磨砂不全的不可使用;边缘是否整齐,合格尺寸范围:
150规格147-151mm用酒精和纸彻底清洁要粘接面。
4.AB胶准备,1、环氧树脂VALTONAD1339-A(A胶白色)与AD3905-B(B胶紫色),粘合剂按1:
1的比例配比。
2、下面胶的数量可以粘接八块硅块(粘接数量不同时可依据此基础计算):
用天平称110克白色A胶放到搅拌容器(不锈钢碗)里面。
继续称110克B胶放到搅拌容器里。
6.粘接硅块,7.刮胶,挤出的胶会在切割时使硅块时产生崩边,需要将其除掉。
刮胶时机为加压15分钟后,如果间隔时间太长胶体彻底固化后不易铲除。
刮表面的胶时,用壁纸刀片成10-30度角平行移动,禁止用刀尖竖直划胶和硅块表面。
在硅块的侧面,托盘处也可能会有胶粘污,需要擦拭干净。
在刮胶工作由粘接人员完成,保证放到货架上的晶棒干净。
固化一小时去掉重物。
8.粘接导向条,线锯作业指导书,一.目的:
加工多晶硅片,线锯切割原理,1.装载定位晶棒,装载2棒,检查并测量分线网切割去除顶底高度是否符合要求:
底部剩余14mm,有效切割高度209mm。
如果线网与硅块位置的配合不合适,调整线网位置使匹配满足要求。
3.整理线网,启动主驱动,让线结缓慢的通过滑轮到达线导轮后停止,调整线结的方向,按照图标示方向旋转几圈,然后搭接在线网上表面,这样能防止线结头被其他钢线卷入线网而导致断线。
用手辅助线结进入线网一段距离。
整理跳线:
由于槽内存在颗粒物,将钢线挤出原来的线槽,钢线进入其他线槽而形成跳线。
上下导轮垂直方向两个线槽中,只有一个跳槽的,称为单向跳线,可以用手校正,使钢线恢复原位。
下导轮跳线时应该用手压住该跳线的上方区域,同时正转线网,直至拇指压住的区域到达下导轮;上导轮跳线处理方法相反。
启动主驱动,激活wirebreakcontrol,关门上锁。
线速度控制在15m/s以内,注意随时从观察门观察线结状态,如有异常(线网有缝隙等)马上停止,检查并修复。
等线结快出线网时(图4),降低速度,并用手辅助线结缓慢的通过线网末端(图5),在线网形成处,慢慢前进,以避免线结出线导轮时相邻钢线“撞开”线结。
这可能会导致钢线断开,进而整个线网全部散开。
图4,图5,把线结绕到收线轴上几圈后,再检查线网有无跳线、交叉等现象。
更改高张力,转动线网,使整个线网的分布均为高张力。
4.切前检查,在开始切割之前,必须检查以下内容;钢线是否足够,在控制面板上检查钢线长度;输出轴上的间空是否足够切割;检查张力壁的垂直位置是否合适;排线位置是否适当及调整是否正确;检查滑轮外套(A正常)是否切深夹线,滑轮方向是否适合钢线,钢线偏的话调整滑轮方向;,滑轮外套,如已更换了线网,检查正确的操作程序,输入输出滑轮的对齐情况,与硅棒尺寸相关的线网大小,等等;浆料导出管有无泄露;冷却水流量和压力是否适当;检查所有的温度(浆料顶、底部,导轮前后轴承,电器柜);硅棒的位置及夹持情况;工作台的垂直位置,降至硅棒顶面上方即可;浆料帘是否均匀;在控制面板上,检查切割工艺是否正确;,7.自动切割,1)重新设定预热时间3分钟,钢线回线率为0%,启动切割程序。
2)操作者认真填写线锯生产记录3)监视运行、做记录,每30分钟观察一次:
砂帘有无断流绕线情况回砂温度线弓情况4)清理线锯周围及机床本身卫生。
8.运行结束,结束前5分钟,准备好新钢线,取片小车,电筒,纸板,装护板的小车,从粘接室取出晶棒,复核崩边情况是否与记录纸一致。
结束前1分钟,记录结束时间,结束密度。
运行结束机床自动停机并发出声音警报。
开门检查晶棒是否切透。
9.移除旧线,去除右张力(右图红色按钮)。
剪断钢线,然后用磁铁将线头固定在机床内壁上。
关闭绕线室门,上锁。
点击按钮,放开液压锥形收线轴,卸下法兰盘,移走钢线,将法兰盘重新安装,安装前清洁螺纹。
关闭绕线室门,上锁。
点击按钮,收紧液压锥形收线轴,将收线侧钢线重新接好,加张力。
10.晶棒冷却,拆除线网两侧的挡板,取消断线控制Wirebreakcontrol。
记录下ABCD导轮上的跳线数量情况。
用铲子把夹在晶棒中的掉片铲下来,打开浆料,正转0.4ms转动线网,冷却晶棒10分钟,使软化的胶冷却,防止硅片倒伏。
11.取片,1).启动主驱动速度设置为0.4m/s,并以100mm/分钟的台面速度自动返回到顶部,当线网还有4mm脱离硅片时,停止线网转动。
上升过程中检查线网,以确保没有夹线,夹线可能带碎硅片,如果有夹线,可以降低工作台速度;仍然夹线的话,停止转动,剪断该线,直接提升工作台。
如果钢线打滑,其现象为线网断续转动。
2).松开硅棒夹紧装置,两人配合小心取出硅棒,翻转晶棒时尽量同步,按顺序依次摆在小车上。
因硅片较薄,移动时要慢。
分线网切割的硅片需要第三个人保护中间部位,助力翻转。
硅片清洗作业指导书,二.使用的工具刀片载片盒提篮把手晶棒支架水龙头烧杯测厚仪游标卡尺三.必备的劳保用品一次性医用手套防滑工作鞋防水套袖工作帽口罩四.使用的主要的原材料碱性清洗剂高纯清洗剂DI水拉伸膜直角木纹胶带百洁布泡沫包装,五.质量控制点搬运晶棒时小心磕碰硅片;自来水冲洗时注意水压及方向。
插片时注意力集中,减少人为碎片。
六.工艺流程去除导向条装篮预清洗脱胶插片硅片清洗烘干分选包装入库,1.预清洗脱胶,把硅棒表面的胶条用铲子铲掉;两个人配合,把一条晶棒放入清洗架子,再把架子放在小车上;将硅片清洗车推进预清洗机入料位;将清洗好的硅片取出。
2.插片,插片:
插片前准备好载片盒,在盒子下放一块缓冲泡沫板。
在插入载片盒前,操作人员要检查硅片的切割情况,如有崩边、薄厚或其它情况,将有问题的面向上。
将硅片按顺序胶面朝上插入载片盒内,每25片一盒。
3.硅片清洗,将硅片盒放入不锈钢提篮内,放入清洗机清洗。
清洗用的化学试剂有NaOH,KOH,高纯清洗剂。
检验标准,4.包装,将硅片用分类,专用包装膜、和塑料垫片、包装起来,两侧各放一塑料垫片,每50片一包,在包装外侧贴上印有操作人员的工号的标签,放入硅片包装盒内,并在硅片包装盒上,贴好标签,填写相应项。
5.入库,每班将本班的硅片进行入库,填写好入库单。
也可以直接由电池车间人员领取,则硅片放入黑色盒子。
- 配套讲稿:
如PPT文件的首页显示word图标,表示该PPT已包含配套word讲稿。双击word图标可打开word文档。
- 特殊限制:
部分文档作品中含有的国旗、国徽等图片,仅作为作品整体效果示例展示,禁止商用。设计者仅对作品中独创性部分享有著作权。
- 关 键 词:
- 硅片