容积式真空泵结构型式的探讨1综述.docx
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容积式真空泵结构型式的探讨1综述
容积式真空泵结构型式的探讨
(1)
广泛用于中、低真空获得设备上的容积式真空泵,经过百余年的发展,到了现在,结构上已无大的创新,而在工艺、加工装配精度、材料等方面随着科学技术的进步而不断得到提高和完善。
本文针对容积式真空泵的不同结构型式进行分析探讨,而结构型式按照主要运动件的运动形式来划分为:
往复式、旋转式、旋摆式三种,文中选用具有代表性的基本结构型式做为图例。
1、历史与现状
1.1、往复式真空泵
1.1.1、往复活塞式:
是一种最古老的结构型式,其发明时间已无从考究,我国古代使用的水枪、木质风箱即是这种结构的实际运用,见图1。
1640年德国人用这种结构制成了真空泵,成为现代真空泵和空气压缩机械的鼻祖。
基本结构见图2,其运动形式是活塞在泵腔内做往复直线运动,使活塞与泵腔围成的空间的容积发生周期性变化,达到进气与排气的目的,进气与排气在时间上错开,都是不连续的,即进气与排气是间断的,从而引起气流脉动噪声,它有一个主要运动件活塞,而现在动力的提供都是以旋转运动的形式(主要是电机),所以动力要驱动活塞做往复直线运动,必须通过曲轴和连杆,使得整机尺寸大,活塞的往复直线运动是加减速运动,连杆是平面运动,必然产生不平衡的惯性力而引发机器的振动和机械噪声,同时转速不能高(300r/min左右);活塞与泵腔之间的密封靠活塞环,活塞环与泵腔内壁直接接触,磨损严重,消耗功率大,容积效率低。
上述情况都是往复活塞式真空泵无法克服的结构缺点,但是,因为它工作可靠性高,寿命长,易于维修,加工、装配精度要求低,通用机床就能完成加工,适合一般水平的生产厂,成本较低,所以还占有一定的市场份额,生产厂家较多。
图1往复式泵图2往复活塞式真空泵结构示意图
1.1.2、膜片式:
见图3。
它是往复活塞式的一种变型,区别是膜片代替了活塞,膜片一般是柔性材料,质量小,虽然也做往复直线运动,但引起的不平衡惯性力减小,振动和机械噪声大大降低,膜片与泵腔之间无摩擦磨损,消耗功率降低。
膜片式虽然克服了往复活塞式的一些缺点,但是,膜片容易折裂,工作可靠性下降,寿命短,维修频率高,使用成本高,所以占有的市场份额很低,生产厂家很少。
图3膜片式真空泵结构示意图
1.2、旋转式真空泵
1.2.1、罗茨式和爪式:
这两种结构型式的原型是1848年由琼斯在英国发明,见图4和图5。
图5所示结构于1854年由美国人罗特兄弟应用于鼓风机,被命名为罗茨式鼓风机,贝伦斯在1867年设计成泵和蒸汽机。
对于罗茨式:
见图5。
其运动形式是两个8字形转子在泵腔内绕各自旋转轴中心做旋转运动,造成转子与泵腔围成的空间的容积发生周期性变化,达到进气与排气的目的,而且进气与排气在时间上同步进行,即进气与排气是连续的,但排气过程有一定的气流脉动,引起一定的气体动力噪声。
它的主要运动件有两个8字形转子,而动力都是提供给主动轴,再由主动轴传递动力给从动轴,这必须通过一对齿轮,带来定位及加工装配的较高要求,但结构紧凑,整机尺寸较小,零部件少。
转子形状对称并做匀速旋转时,动平衡性能良好,运转平稳,机器的振动和机械噪声低,同时能较大提高转速(达到1500~3000r/min)。
转子与转子、转子与泵腔之间有间隙,即非接触,所以无摩擦磨损,消耗功率不大,工作可靠性高,寿命长,易于维修,可用于干式真空泵,但8字形转子的加工难度较大,需要专机,不利于批量生产,成本较高,运动件的间隙使泄漏较大,容积效率较低,所以占有一定的市场份额,生产厂家较多。
图4爪式真空泵原型图图5罗茨式真空结构示意图
对于爪式:
见图4(变型)。
其结构和工作过程与罗茨式类似,不同处一是进气与排气在时间上错开(有部分重叠),进气与排气不连续,工作过程存在气流脉动,引起气体动力噪声;二是转子形状不对称,旋转动平衡性能较差,机器的振动和机械噪声较高,同时加工难度更大,要用到专用机床,不利于批量生产,成本较高,容积效率等其它方面与罗茨式相似,所以占有的市场份额不高。
1.2.2、螺杆式:
这种结构型式是德国人H.Krigar在1878年发明,直到1934年瑞典皇家理工学院A.Lysholm才把此结构型式应用于工业上,而且一般采用双螺杆式,见图6。
其运动形式是两个螺杆在8字型泵腔内绕各自旋转轴中心做同步旋转运动,螺杆上的螺旋齿槽相互啮合,造成由齿型空间组成的基元容积发生变化,达到进气与排气的目的,进气与排气在时间上同步进行,但不是连续的,存在气流脉动,有气体动力噪声;它的主要运动件有两个螺杆,所以主动轴要通过一对齿轮传递动力给从动轴,带来定位及加工装配的较高要求,但结构紧凑,整机尺寸较小,零部件少;转子做匀速旋转时,动平衡性能较好,运转平稳,机器的振动和机械噪声较低,同时可实现较高转速;螺杆与螺杆、螺杆与泵腔之间有间隙,即非接触,泵内运动件与泵腔无摩擦,故几乎无磨损,消耗功率不大,工作可靠性高,寿命长,易于维修,可用于干式真空泵;8字形泵腔和螺旋齿槽螺杆的加工、装配精度要求高,且必须用专机加工,不利于批量生产,成本较高;运动件的间隙使泄漏较大,容积效率较低,所以占有的市场份额不高。
生产厂家也不多,较知名的有:
德国BUSCH,里其乐等。
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廣泛用於中、低真空獲得設備上的容積式真空泵,經過百餘年的發展,到瞭現在,結構上已無大的創新,而在工藝、加工裝配精度、材料等方面隨著科學技術的進步而不斷得到提高和完善。
本文針對容積式真空泵的不同結構型式進行分析探討,而結構型式按照主要運動件的運動形式來劃分為:
往復式、旋轉式、旋擺式三種,文中選用具有代表性的基本結構型式做為圖例。
1、歷史與現狀
1.1、往復式真空泵
1.1.1、往復活塞式:
是一種最古老的結構型式,其發明時間已無從考究,我國古代使用的水槍、木質風箱即是這種結構的實際運用,見圖1。
1640年德國人用這種結構制成瞭真空泵,成為現代真空泵和空氣壓縮機械的鼻祖。
基本結構見圖2,其運動形式是活塞在泵腔內做往復直線運動,使活塞與泵腔圍成的空間的容積發生周期性變化,達到進氣與排氣的目的,進氣與排氣在時間上錯開,都是不連續的,即進氣與排氣是間斷的,從而引起氣流脈動噪聲,它有一個主要運動件活塞,而現在動力的提供都是以旋轉運動的形式(主要是電機),所以動力要驅動活塞做往復直線運動,必須通過曲軸和連桿,使得整機尺寸大,活塞的往復直線運動是加減速運動,連桿是平面運動,必然產生不平衡的慣性力而引發機器的振動和機械噪聲,同時轉速不能高(300r/min左右);活塞與泵腔之間的密封靠活塞環,活塞環與泵腔內壁直接接觸,磨損嚴重,消耗功率大,容積效率低。
上述情況都是往復活塞式真空泵無法克服的結構缺點,但是,因為它工作可靠性高,壽命長,易於維修,加工、裝配精度要求低,通用機床就能完成加工,適合一般水平的生產廠,成本較低,所以還占有一定的市場份額,生產廠傢較多。
圖1往復式泵圖2往復活塞式真空泵結構示意圖
1.1.2、膜片式:
見圖3。
它是往復活塞式的一種變型,區別是膜片代替瞭活塞,膜片一般是柔性材料,質量小,雖然也做往復直線運動,但引起的不平衡慣性力減小,振動和機械噪聲大大降低,膜片與泵腔之間無摩擦磨損,消耗功率降低。
膜片式雖然克服瞭往復活塞式的一些缺點,但是,膜片容易折裂,工作可靠性下降,壽命短,維修頻率高,使用成本高,所以占有的市場份額很低,生產廠傢很少。
圖3膜片式真空泵結構示意圖
1.2、旋轉式真空泵
1.2.1、羅茨式和爪式:
這兩種結構型式的原型是1848年由瓊斯在英國發明,見圖4和圖5。
圖5所示結構於1854年由美國人羅特兄弟應用於鼓風機,被命名為羅茨式鼓風機,貝倫斯在1867年設計成泵和蒸汽機。
對於羅茨式:
見圖5。
其運動形式是兩個8字形轉子在泵腔內繞各自旋轉軸中心做旋轉運動,造成轉子與泵腔圍成的空間的容積發生周期性變化,達到進氣與排氣的目的,而且進氣與排氣在時間上同步進行,即進氣與排氣是連續的,但排氣過程有一定的氣流脈動,引起一定的氣體動力噪聲。
它的主要運動件有兩個8字形轉子,而動力都是提供給主動軸,再由主動軸傳遞動力給從動軸,這必須通過一對齒輪,帶來定位及加工裝配的較高要求,但結構緊湊,整機尺寸較小,零部件少。
轉子形狀對稱並做勻速旋轉時,動平衡性能良好,運轉平穩,機器的振動和機械噪聲低,同時能較大提高轉速(達到1500~3000r/min)。
轉子與轉子、轉子與泵腔之間有間隙,即非接觸,所以無摩擦磨損,消耗功率不大,工作可靠性高,壽命長,易於維修,可用於幹式真空泵,但8字形轉子的加工難度較大,需要專機,不利於批量生產,成本較高,運動件的間隙使泄漏較大,容積效率較低,所以占有一定的市場份額,生產廠傢較多。
圖4爪式真空泵原型圖圖5羅茨式真空結構示意圖
對於爪式:
見圖4(變型)。
其結構和工作過程與羅茨式類似,不同處一是進氣與排氣在時間上錯開(有部分重疊),進氣與排氣不連續,工作過程存在氣流脈動,引起氣體動力噪聲;二是轉子形狀不對稱,旋轉動平衡性能較差,機器的振動和機械噪聲較高,同時加工難度更大,要用到專用機床,不利於批量生產,成本較高,容積效率等其它方面與羅茨式相似,所以占有的市場份額不高。
1.2.2、螺桿式:
這種結構型式是德國人H.Krigar在1878年發明,直到1934年瑞典皇傢理工學院A.Lysholm才把此結構型式應用於工業上,而且一般采用雙螺桿式,見圖6。
其運動形式是兩個螺桿在8字型泵腔內繞各自旋轉軸中心做同步旋轉運動,螺桿上的螺旋齒槽相互嚙合,造成由齒型空間組成的基元容積發生變化,達到進氣與排氣的目的,進氣與排氣在時間上同步進行,但不是連續的,存在氣流脈動,有氣體動力噪聲;它的主要運動件有兩個螺桿,所以主動軸要通過一對齒輪傳遞動力給從動軸,帶來定位及加工裝配的較高要求,但結構緊湊,整機尺寸較小,零部件少;轉子做勻速旋轉時,動平衡性能較好,運轉平穩,機器的振動和機械噪聲較低,同時可實現較高轉速;螺桿與螺桿、螺桿與泵腔之間有間隙,即非接觸,泵內運動件與泵腔無摩擦,故幾乎無磨損,消耗功率不大,工作可靠性高,壽命長,易於維修,可用於幹式真空泵;8字形泵腔和螺旋齒槽螺桿的加工、裝配精度要求高,且必須用專機加工,不利於批量生產,成本較高;運動件的間隙使泄漏較大,容積效率較低,所以占有的市場份額不高。
生產廠傢也不多,較知名的有:
德國BUSCH,裡其樂等。
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广泛用于中、低真空获得设备上的容积式真空泵,经过百余年的发展,到了现在,结构上已无大的创新,而在工艺、加工装配精度、材料等方面随着科学技术的进步而不断得到提高和完善。
本文针对容积式真空泵的不同结构型式进行分析探讨,而结构型式按照主要运动件的运动形式来划分为:
往复式、旋转式、旋摆式三种,文中选用具有代表性的基本结构型式做为图例。
1、历史与现状
1.1、往复式真空泵
1.1.1、往复活塞式:
是一种最古老的结构型式,其发明时间已无从考究,我国古代使用的水枪、木质风箱即是这种结构的实际运用,见图1。
1640年德国人用这种结构制成了真空泵,成为现代真空泵和空气压缩机械的鼻祖。
基本结构见图2,其运动形式是活塞在泵腔内做往复直线运动,使活塞与泵腔围成的空间的容积发生周期性变化,达到进气与排气的目的,进气与排气在时间上错开,都是不连续的,即进气与排气是间断的,从而引起气流脉动噪声,它有一个主要运动件活塞,而现在动力的提供都是以旋转运动的形式(主要是电机),所以动力要驱动活塞做往复直线运动,必须通过曲轴和连杆,使得整机尺寸大,活塞的往复直线运动是加减速运动,连杆是平面运动,必然产生不平衡的惯性力而引发机器的振动和机械噪声,同时转速不能高(300r/min左右);活塞与泵腔之间的密封靠活塞环,活塞环与泵腔内壁直接接触,磨损严重,消耗功率大,容积效率低。
上述情况都是往复活塞式真空泵无法克服的结构缺点,但是,因为它工作可靠性高,寿命长,易于维修,加工、装配精度要求低,通用机床就能完成加工,适合一般水平的生产厂,成本较低,所以还占有一定的市场份额,生产厂家较多。
图1往复式泵图2往复活塞式真空泵结构示意图
1.1.2、膜片式:
见图3。
它是往复活塞式的一种变型,区别是膜片代替了活塞,膜片一般是柔性材料,质量小,虽然也做往复直线运动,但引起的不平衡惯性力减小,振动和机械噪声大大降低,膜片与泵腔之间无摩擦磨损,消耗功率降低。
膜片式虽然克服了往复活塞式的一些缺点,但是,膜片容易折裂,工作可靠性下降,寿命短,维修频率高,使用成本高,所以占有的市场份额很低,生产厂家很少。
图3膜片式真空泵结构示意图
1.2、旋转式真空泵
1.2.1、罗茨式和爪式:
这两种结构型式的原型是1848年由琼斯在英国发明,见图4和图5。
图5所示结构于1854年由美国人罗特兄弟应用于鼓风机,被命名为罗茨式鼓风机,贝伦斯在1867年设计成泵和蒸汽机。
对于罗茨式:
见图5。
其运动形式是两个8字形转子在泵腔内绕各自旋转轴中心做旋转运动,造成转子与泵腔围成的空间的容积发生周期性变化,达到进气与排气的目的,而且进气与排气在时间上同步进行,即进气与排气是连续的,但排气过程有一定的气流脉动,引起一定的气体动力噪声。
它的主要运动件有两个8字形转子,而动力都是提供给主动轴,再由主动轴传递动力给从动轴,这必须通过一对齿轮,带来定位及加工装配的较高要求,但结构紧凑,整机尺寸较小,零部件少。
转子形状对称并做匀速旋转时,动平衡性能良好,运转平稳,机器的振动和机械噪声低,同时能较大提高转速(达到1500~3000r/min)。
转子与转子、转子与泵腔之间有间隙,即非接触,所以无摩擦磨损,消耗功率不大,工作可靠性高,寿命长,易于维修,可用于干式真空泵,但8字形转子的加工难度较大,需要专机,不利于批量生产,成本较高,运动件的间隙使泄漏较大,容积效率较低,所以占有一定的市场份额,生产厂家较多。
图4爪式真空泵原型图图5罗茨式真空结构示意图
对于爪式:
见图4(变型)。
其结构和工作过程与罗茨式类似,不同处一是进气与排气在时间上错开(有部分重叠),进气与排气不连续,工作过程存在气流脉动,引起气体动力噪声;二是转子形状不对称,旋转动平衡性能较差,机器的振动和机械噪声较高,同时加工难度更大,要用到专用机床,不利于批量生产,成本较高,容积效率等其它方面与罗茨式相似,所以占有的市场份额不高。
1.2.2、螺杆式:
这种结构型式是德国人H.Krigar在1878年发明,直到1934年瑞典皇家理工学院A.Lysholm才把此结构型式应用于工业上,而且一般采用双螺杆式,见图6。
其运动形式是两个螺杆在8字型泵腔内绕各自旋转轴中心做同步旋转运动,螺杆上的螺旋齿槽相互啮合,造成由齿型空间组成的基元容积发生变化,达到进气与排气的目的,进气与排气在时间上同步进行,但不是连续的,存在气流脉动,有气体动力噪声;它的主要运动件有两个螺杆,所以主动轴要通过一对齿轮传递动力给从动轴,带来定位及加工装配的较高要求,但结构紧凑,整机尺寸较小,零部件少;转子做匀速旋转时,动平衡性能较好,运转平稳,机器的振动和机械噪声较低,同时可实现较高转速;螺杆与螺杆、螺杆与泵腔之间有间隙,即非接触,泵内运动件与泵腔无摩擦,故几乎无磨损,消耗功率不大,工作可靠性高,寿命长,易于维修,可用于干式真空泵;8字形泵腔和螺旋齿槽螺杆的加工、装配精度要求高,且必须用专机加工,不利于批量生产,成本较高;运动件的间隙使泄漏较大,容积效率较低,所以占有的市场份额不高。
生产厂家也不多,较知名的有:
德国BUSCH,里其乐等。
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廣泛用於中、低真空獲得設備上的容積式真空泵,經過百餘年的發展,到瞭現在,結構上已無大的創新,而在工藝、加工裝配精度、材料等方面隨著科學技術的進步而不斷得到提高和完善。
本文針對容積式真空泵的不同結構型式進行分析探討,而結構型式按照主要運動件的運動形式來劃分為:
往復式、旋轉式、旋擺式三種,文中選用具有代表性的基本結構型式做為圖例。
1、歷史與現狀
1.1、往復式真空泵
1.1.1、往復活塞式:
是一種最古老的結構型式,其發明時間已無從考究,我國古代使用的水槍、木質風箱即是這種結構的實際運用,見圖1。
1640年德國人用這種結構制成瞭真空泵,成為現代真空泵和空氣壓縮機械的鼻祖。
基本結構見圖2,其運動形式是活塞在泵腔內做往復直線運動,使活塞與泵腔圍成的空間的容積發生周期性變化,達到進氣與排氣的目的,進氣與排氣在時間上錯開,都是不連續的,即進氣與排氣是間斷的,從而引起氣流脈動噪聲,它有一個主要運動件活塞,而現在動力的提供都是以旋轉運動的形式(主要是電機),所以動力要驅動活塞做往復直線運動,必須通過曲軸和連桿,使得整機尺寸大,活塞的往復直線運動是加減速運動,連桿是平面運動,必然產生不平衡的慣性力而引發機器的振動和機械噪聲,同時轉速不能高(300r/min左右);活塞與泵腔之間的密封靠活塞環,活塞環與泵腔內壁直接接觸,磨損嚴重,消耗功率大,容積效率低。
上述情況都是往復活塞式真空泵無法克服的結構缺點,但是,因為它工作可靠性高,壽命長,易於維修,加工、裝配精度要求低,通用機床就能完成加工,適合一般水平的生產廠,成本較低,所以還占有一定的市場份額,生產廠傢較多。
圖1往復式泵圖2往復活塞式真空泵結構示意圖
1.1.2、膜片式:
見圖3。
它是往復活塞式的一種變型,區別是膜片代替瞭活塞,膜片一般是柔性材料,質量小,雖然也做往復直線運動,但引起的不平衡慣性力減小,振動和機械噪聲大大降低,膜片與泵腔之間無摩擦磨損,消耗功率降低。
膜片式雖然克服瞭往復活塞式的一些缺點,但是,膜片容易折裂,工作可靠性下降,壽命短,維修頻率高,使用成本高,所以占有的市場份額很低,生產廠傢很少。
圖3膜片式真空泵結構示意圖
1.2、旋轉式真空泵
1.2.1、羅茨式和爪式:
這兩種結構型式的原型是1848年由瓊斯在英國發明,見圖4和圖5。
圖5所示結構於1854年由美國人羅特兄弟應用於鼓風機,被命名為羅茨式鼓風機,貝倫斯在1867年設計成泵和蒸汽機。
對於羅茨式:
見圖5。
其運動形式是兩個8字形轉子在泵腔內繞各自旋轉軸中心做旋轉運動,造成轉子與泵腔圍成的空間的容積發生周期性變化,達到進氣與排氣的目的,而且進氣與排氣在時間上同步進行,即進氣與排氣是連續的,但排氣過程有一定的氣流脈動,引起一定的氣體動力噪聲。
它的主要運動件有兩個8字形轉子,而動力都是提供給主動軸,再由主動軸傳遞動力給從動軸,這必須通過一對齒輪,帶來定位及加工裝配的較高要求,但結構緊湊,整機尺寸較小,零部件少。
轉子形狀對稱並做勻速旋轉時,動平衡性能良好,運轉平穩,機器的振動和機械噪聲低,同時能較大提高轉速(達到1500~3000r/min)。
轉子與轉子、轉子與泵腔之間有間隙,即非接觸,所以無摩擦磨損,消耗功率不大,工作可靠性高,壽命長,易於維修,可用於幹式真空泵,但8字形轉子的加工難度較大,需要專機,不利於批量生產,成本較高,運動件的間隙使泄漏較大,容積效率較低,所以占有一定的市場份額,生產廠傢較多。
圖4爪式真空泵原型圖圖5羅茨式真空結構示意圖
對於爪式:
見圖4(變型)。
其結構和工作過程與羅茨式類似,不同處一是進氣與排氣在時間上錯開(有部分重疊),進氣與排氣不連續,工作過程存在氣流脈動,引起氣體動力噪聲;二是轉子形狀不對稱,旋轉動平衡性能較差,機器的振動和機械噪聲較高,同時加工難度更大,要用到專用機床,不利於批量生產,成本較高,容積效率等其它方面與羅茨式相似,所以占有的市場份額不高。
1.2.2、螺桿式:
這種結構型式是德國人H.Krigar在1878年發明,直到1934年瑞典皇傢理工學院A.Lysholm才把此結構型式應用於工業上,而且一般采用雙螺桿式,見圖6。
其運動形式是兩個螺桿在8字型泵腔內繞各自旋轉軸中心做同步旋轉運動,螺桿上的螺旋齒槽相互嚙合,造成由齒型空間組成的基元容積發生變化,達到進氣與排氣的目的,進氣與排氣在時間上同步進行,但不是連續的,存在氣流脈動,有氣體動力噪聲;它的主要運動件有兩個螺桿,所以主動軸要通過一對齒輪傳遞動力給從動軸,帶來定位及加工裝配的較高要求,但結構緊湊,整機尺寸較小,零部件少;轉子做勻速旋轉時,動平衡性能較好,運轉平穩,機器的振動和機械噪聲較低,同時可實現較高轉速;螺桿與螺桿、螺桿與泵腔之間有間隙,即非接觸,泵內運動件與泵腔無摩擦,故幾乎無磨損,消耗功率不大,工作可靠性高,壽命長,易於維修,可用於幹式真空泵;8字形泵腔和螺旋齒槽螺桿的加工、裝配精度要求高,且必須用專機加工,不利於批量生產,成本較高;運動件的間隙使泄漏較大,容積效率較低,所以占有的市場份額不高。
生產廠傢也不多,較知名的有:
德國BUSCH,裡其樂等。
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如需查看全文,請全文下載,或者進入真空論壇提問。
广泛用于中、低真空获得设备上的容积式真空泵,经过百余年的发展,到了现在,结构上已无大的创新,而在工艺、加工装配精度、材料等方面随着科学技术的进步而不断得到提高和完善。
本文针对容积式真空泵的不同结构型式进行分析探讨,而结构型式按照主要运动件的运动形式来划分为:
往复式、旋转式、旋摆式三种,文中选用具有代表性的基本结构型式做为图例。
1、历史与现状
1.1、往复式真空泵
1.1.1、往复活塞式:
是一种最古老的结构型式,其发明时间已无从考究,我国古代使用的水枪、木质风箱即是这种结构的实际运用,见图1。
1640年德国人用这种结构制成了真空泵,成为现代真空泵和空气压缩机械的鼻祖。
基本结构见图2,其运动形式是活塞在泵腔内做往复直线运动,使活塞与泵腔围成的空间的容积发生周期性变化,达到进气与排气的目的,进气与排气在时间上错开,都是不连续的,即进气与排气是间断的,从而引起气流脉动噪声,它有一个主要运动件活塞,而现在动力的提供都是以旋转运动的形式(主要是电机),所以动力要驱动活塞做往复直线运动,必须通过曲轴和连杆,使得整机尺寸大,活塞的往复直线运动是加减速运动,连杆是平面运动,必然产生不平衡的惯性力而引发机器的振动和机械噪声,同时转速不能高(300r/min左右);活塞与泵腔之间的密封靠活塞环,活塞环与泵腔内壁直接接触,磨损严重
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- 容积 真空泵 结构 型式 探讨 综述