EDX原理说明.pdf
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EDX原理说明.pdf
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EDS状况说明.1.EDS原理:
SEM中电子束撞击样品时,会有样品中外层轨道的电子能量的跃迁,从而产生有特性X-RAY信号,不同的元素,甚至相同元素不同的电子轨道,产生的特性X-ray能量也会有所不同.特性X-RAY进入EDS侦测器被其Si晶体侦测,将光信号转换产生电信号,经过前置放大器和脉冲处理器对电信号进行放大处理,经模数转换成数字信号,在多道分析器中,针对不同能量强度的信号进行分别处理,以图谱的形式进行显示.在图谱显示的坐标轴上,水平位置对应的是不同能量强度的特性X-RAY,在竖直方向对应的是不同强度的X-RAY产生的数量的多少.经检测所得的不同的能量来判断样品中元素的组成,即为定性测试.而定量则是采用半定量的测试,即测试元素相对的百分比含量.元素相对含量的多少,可以经过不同强度的X-RAY的数量来半定量检测.系统会把分析产生的图谱的面积看成100%,然后根据每种元素的特征峰所形成的面积占整个图谱面积的多少来计算元素的含量.2.EDS打在样品上,会有一定的激发区域,该区域是类似一个水滴形状的,即上小下大.区域的具体大小,跟SEM加速电压,样品材质和样品放置位置有关.一般来讲,其区域的直径大约在零点几到几微米之间.如果样品有镀层,且镀层较薄的话会把镀层下层的材质激发出来.所以打金手指时会打出Ni.3.因为系统是根据收集的X-ray的能量来判定元素,但是不同元素的不同轨道特性X-ray形成的特征峰会有靠的很近甚至重叠的可能,系统无法自动而正确的判定该元素是否有存在,还需要操作人员进行复判.所以有时候会出现一系列莫名其妙的元素,需操作人员再人为判定.4.关于分析出C,O的状况,一般的机台分析都会有C,O的出现.出现的原因有以下几种可能,1.样品中确实含有该元素,或者在样品转移时附着在上面的油渍或汗渍;2.样品碳化,电子束长时间击打在样品上,会把样品表面打得发黑碳化,样品分析时就会有C,O出现;3.样品室中残留气体所致,样品室真空度在10-3Pa,会有气体残留,而抽真空所用的马达都含有油,如果油气倒灌,样品室中也会残留油蒸汽,也会分析出C,O.
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