KDY1型四探针电阻率方阻测试仪Word格式.docx
- 文档编号:8409885
- 上传时间:2023-05-11
- 格式:DOCX
- 页数:19
- 大小:671.97KB
KDY1型四探针电阻率方阻测试仪Word格式.docx
《KDY1型四探针电阻率方阻测试仪Word格式.docx》由会员分享,可在线阅读,更多相关《KDY1型四探针电阻率方阻测试仪Word格式.docx(19页珍藏版)》请在冰点文库上搜索。
后背板上主要安装的是电缆插座,图上标得很清楚,安装时请注意插头与插座的对位标志。
因为在背后容易漏插,松动时不易被发现,所以安装必须插全、插牢。
(2)使用仪器前将电源线、测试架联接线、主机与微控制器的连接线(如使KDY测量系统)联接好,并注意一下测试架上是否已接好探针头。
电源线插头插入~220V座插后,开启背板上的电源开关,此时前面板上的数字表、发光二极管都会亮起来。
探针头压在被测单晶上,打开恒流源开关,左边的表显示从1、4探针流入单晶的测量电流,右边的表显示电阻率(测单晶锭时)或2、3探针间的电位差。
电流大小通过旋转前面板左下方的两个电位器旋钮加以调节,其它正、反向测量、ρ/R选择、自动/手动测量都通过前面板上可自锁的按钮开关控制。
(3)仪器测量电流分五档:
0.01mA(10μA)、0.1mA(100μA)、1mA、10mA、100mA,读数方法如下:
电流表显示1.0000时为本档满档电流,
在0.01mA档显示:
1.0000表示电流为:
0.01mA×
1.0000=0.01mA
0.6282表示电流为:
0.01mA×
0.6282=0.006282mA
(4)如果根据计算公式手动进行精确计算时,仪器电压表读数方法为:
如电压表显示01000(忽略小数点),则电压读数为10.00mV,即当选择不同档位进行测量时,不论小数点移动到哪里,读取电压值时小数点相当于固定在000.00处。
电流档的选择采用循环步进式的选择方式,在仪器面板上有一个电流选择按钮,每按一次进一档,仪器通电后自动设定在常用的1.0mA档,如果你不断地按下“电流选择”按钮,电流档位按下列顺序不断地循环。
1.0mA→10mA→100mA→0.01mA→0.1mA→1.0mA→10mA→……
可以快速找到你所需要的档位。
根据国标GB/T1552-1995,不同电阻率硅试样所需要的电流值如下表所示:
电阻率,Ω.cm
电流,mA
推荐的园片测量电流值
<
0.03
≤100
100
0.03~0.30
25
0.3~3
≤10
2.5
3~30
≤1
0.25
30~300
≤0.1
0.025
300~3000
≤0.01
0.0025
根据ASTMF374-84标准方法测量方块电阻所需要的电流值如下表所示:
方块电阻Ω
2.0~25
10
20~250
1
200~2500
0.1
2000~25000
0.01
(4)恒流源开关是在发现探针带电压触被测材料影响测量数据(或材料性能)时,再使用,即先让探针头压触在被测材料上,后开恒流源开关,避免接触瞬间打火。
为了提高工作效率,如探针带电压触单晶对材料及测量并无影响时,恒流源开关可一直处于开的状态。
(5)正、反向测量开关只有在手动状态下才能人工操作,在自动状态下连接KDY测量系统时使用,因此在手动状态下正反向开关不起作用时,先检查手动/自动开关是否处于手动状态。
相反在使用数据处理器测量材料电阻率时,仪器必须处于自动状态,否则KDY测量系统无法正常工作。
(6)在使用KDY测量系统时,必须严格按照使用说明操作,特别注意输入数据的单位。
有关测量系统的操作详见其说明书。
4、使用程序及注意事项
(1)仪器接通电源,经预热30分钟后,方可进行测量。
(2)仪器如经过剧烈的环境条件变化或长期不使用,在首次使用时应通电预热2-3小时,方可进行测量。
(3)在测量过程中应注意电源电压不要超过仪器的过载允许值。
5、日常维护及使用
(1)探针头:
因测量时探针针尖经常接触被测材料,针尖易被沾污,需定时用无水酒精棉球清洁探针针尖,保证探针针尖良好的与被测物体接触。
警告:
如需打开探针头维修,必须按照规定的步骤操作,不然极易损坏探针头。
(2)整机测量精度:
整机测量初始精度:
1-1000欧姆·
厘米≤3%,在使用过程中因探针针尖不断压在被测物体上,会造成探针针尖逐渐变钝,引起探针间距修正系数在不断的变化,因此需要定期校准仪器;
如整机测量校准样片时,测量值偏大于4%,那么在测量时需要把测量电流降低4%,以保证整机的测量精度。
(3)故障分析:
故障现象
排除方式
测量时无电流
1.用导线或金属镊子短路主机探针头连接线插座中的1,4针,如果短路后仪器无电流显示,说明仪器主机有故障
2.更换探针头、连接线(探针头与连接线故障率较高)
3.主机上恒流源开关未开,按下恒流源开关即可
开电源开关后无显示
检查保险丝、电源连线
测量数值不稳
1.检查四探针头探针针尖是否磨损严重,如针尖磨损严重需要及时更换探针头
2.检查被测物体表面或探针针尖是否清洁
3.检查探针压力是否偏低(探针合力:
测棒8N,测片6N,测薄膜4N)
4.更换探针头连接线
5.电源干扰(仪器不能与高频设备或大功率设备共用电源且无任何隔离屏蔽措施)
6.将仪器校准头(选购件)插在仪器后的四芯插座里,检测是仪器主机故障还是外置部分故障(探针头、连接线或测试架).
6、主机技术能数
(1)测量范围:
可测电阻率:
0.0001~19000Ω·
cm
可测方块电阻:
0.001~190000Ω·
□
(2)恒流源:
输出电流:
DC0.001~100mA五档连续可调
量程:
0.001~0.01mA0.01~0.10mA
0.10~1.0mA1.0~10mA10~100mA
恒流精度:
各档均低于±
0.05%
(3)直流数字电压表:
测量范围:
0~199.99mV
灵敏度:
10μV
基本误差:
±
(0.004%读数+0.01%满度)
输入阻抗:
≥1000MΩ
(4)测量精度:
电器精度:
1-1000欧姆≤0.3%
整机测量精度:
1-1000欧姆·
厘米≤3%
(5)供电电源:
AC220V±
10%50/60Hz功率:
12W
(6)使用环境:
温度:
23±
2℃相对湿度:
≤65%
无较强的电场干扰,电源隔离滤波,无强光直接照射
(7)重量、体积:
主机重量:
7.5kg
体积:
365×
380×
160(单位:
mm长度×
宽度×
高度)
附录1.1
温度修正系数表
标称电阻率
Ω.cm
温度Ft
º
C
0.005
5
0.9768
0.9969
0.9550
0.9097
0.9010
12
0.9803
0.9970
0.9617
0.9232
0.9157
0.9140
14
0.9838
0.9972
0.9680
0.9370
0.9302
0.9290
16
0.9873
0.9975
0.9747
0.9502
0.9450
0.9440
18
0.9908
0.9984
0.9815
0.9635
0.9600
0.9596
20
0.9943
0.9986
0.9890
0.9785
0.9760
0.9758
22
0.9982
0.9999
0.9962
0.9927
0.9920
23
1.0000
24
1.0016
1.0003
1.0037
1.0075
1.0080
26
1.0045
1.0009
1.0107
1.0222
1.0240
1.0248
28
1.0086
1.0187
1.0365
1.0400
1.0410
30
1.0121
1.0028
1.0252
1.0524
1.0570
1.0606
注:
①温度修正系数表的数据来源于中国计量科学研究院。
附录1.2
温度修正系数表(续1)
标称电阻率
温度Ft
(17.5—49.9)
75
(50.0—127.49)
180
(127.5—214.9)
250/500/1000
(≥215)
0.9020
0.9012
0.9006
0.8921
0.9138
0.9087
0.9275
0.9278
0.9253
0.9422
0.9425
0.9428
0.9419
0.9582
0.9580
0.9585
0.9748
0.9750
0.9751
0.9915
0.9922
0.9919
1.0078
1.0082
1.0083
1.0251
1.0249
1.0440
1.0428
1.0414
1.0415
1.0600
1.0610
1.0612
1.0581
附录2.
厚度修正系数F(W/S)为圆片厚度W与探针间距S之比的函数
W/SF(W/S)
W/SF(W/S)
0.400.9993
0.410.9992
0.420.9990
0.430.9989
0.440.9987
0.450.9986
0.460.9984
0.470.9981
0.480.9978
0.490.9976
0.500.9975
0.510.9971
0.520.9967
0.530.9962
0.540.9958
0.550.9953
0.560.9947
0.570.9941
0.580.9934
0.590.9927
0.600.9920
0.610.9912
0.620.9903
0.630.9894
0.640.9885
0.650.9875
0.660.9865
0.670.9853
0.680.9842
0.690.9830
0.700.9818
0.710.9804
0.720.9791
0.730.9777
0.740.9762
0.750.9747
0.760.9731
0.770.9715
0.780.9699
0.790.9681
0.800.9664
0.810.9645
0.820.9627
0.830.9608
0.840.9588
0.850.9566
0.860.9547
0.870.9526
0.880.9505
0.890.9483
0.900.9460
0.910.9438
0.920.9414
0.930.9391
0.940.9367
0.950.9343
0.960.9318
0.970.9293
0.980.9263
0.990.9242
1.00.921
1.20.864
1.40.803
1.60.742
1.80.685
2.00.634
2.20.587
2.40.546
2.60.510
2.80.477
3.00.448
3.20.422
3.40.399
3.60.378
3.80.359
4.00.342
注:
①厚度修正系数表的数据来源于国标GB/T1552-1995
《硅、锗单晶电阻率测定直排四探针法》
附录3.
直径修正系数F(S/D)为探针间距S与圆片直径D之比的函数
S/D
F2
4.5324
0.095
4.2039
0.19
3.45
4.5314
4.1712
0.195
3.4063
4.5284
0.105
4.1374
0.2
3.3625
0.015
4.5235
0.11
4.1025
0.21
3.2749
0.02
4.5167
0.115
4.0666
0.22
3.1874
4.508
0.12
4.0297
0.23
3.1005
4.4973
0.125
3.992
0.24
3.0142
0.035
4.4848
0.13
3.9535
2.9289
0.04
4.4704
0.135
3.9142
0.26
2.8445
0.045
4.4543
0.14
3.8743
0.27
2.7613
0.05
4.4364
0.145
3.8337
0.28
2.6793
0.055
4.4167
0.15
3.7926
0.29
2.5988
0.06
4.3954
0.155
3.7509
0.3
2.5196
0.065
4.3724
0.16
3.7089
0.31
2.4418
0.07
4.3479
0.165
3.6664
0.32
2.3656
0.075
4.3219
0.17
3.6236
0.33
2.2908
0.08
4.2944
0.175
3.5805
1/3
2.2662
0.085
4.2655
0.18
3.5372
0.09
4.2353
0.185
3.4937
当S/D=无穷小时,F(S/D)=3.14/ln2=4.5324,
当S/D=1/3(极端情况)时,F(S/D)=3.14/2ln2=2.2662
①直径修正系数表的数据来源于国标GB/T1552-1995
附录4-1
KDY-1型电阻率/方阻测试仪硅片ρ直读电流选择表(0.159cm间距四探针头用)
W
I
W
0.00
00453
00498
00544
00589
00634
00680
00725
00770
00815
00861
00906
00951
00997
01042
01087
01133
01178
01223
01268
01314
01359
01404
01450
01495
01540
01586
01631
01676
01721
01767
0.4
01812
01857
01903
01948
01993
02039
02084
02129
02174
02220
0.5
02265
02310
02356
02401
02446
02492
02537
02582
02627
02673
0.6
02718
02763
02809
02854
02899
02945
02990
03035
03080
03126
0.7
03167
03212
03257
03302
03346
03391
03435
03480
03525
03570
0.8
03615
03659
03702
03748
03791
03836
03879
03823
03968
04010
0.9
04053
04098
04140
04185
04227
04269
04314
04355
04396
04441
W
0.0
1.00
04486
05298
06028
06662
07203
2.00
07807
08003
08367
08622
08830
3.00
09008
09148
09266
09359
09434
4.00
09516
09573
09615
09658
09688
W:
厚度(mm);
I:
电流;
ρ=V/I×
W×
F(W/S)×
F(S/D)×
FSP;
选择I=W×
F(S/D);
其中设中心点F(S/D)=4.53,FSP=1.00,S=0.159cm。
(使用条件:
硅片直径Ф≥100mm)
查表方法举例:
如果样片厚度为0.62mm,则查得的电流数为02809。
附录4-2
KDY-1型电阻率/方阻测试仪硅片ρ直读电流选择表(0.1cm间距四探针头用)
- 配套讲稿:
如PPT文件的首页显示word图标,表示该PPT已包含配套word讲稿。双击word图标可打开word文档。
- 特殊限制:
部分文档作品中含有的国旗、国徽等图片,仅作为作品整体效果示例展示,禁止商用。设计者仅对作品中独创性部分享有著作权。
- 关 键 词:
- KDY1 探针 电阻率 测试仪