1、扩散炉维修手册M5111-4W/UM系列高温扩散/氧化系统维 修 手 册中国电子科技集团公司第四十八研究所2007年2月目 录1设备型号涵义 （1）1.1型号的组成 （1）1.2各代号涵义 （1）2电气图纸的代号规定 （2）2.1电气制图代号定义 （2）2.2元器件编号规定 （3）2.3电气接线编号规定 （3）2.4电气转接端口定义 （3）2.5计算机转接端口定义 （7）3故障判别与维修 （11）3.1温度控制系统 （11）3.1.1温控仪上显示oooo （11）3.1.2炉子不能升温 （11）3.1.3面板上的超温指示灯亮 （12）3.1.4炉温失控 （12）3.1.5面板上的短路指示灯亮
2、（13）3.2自动推拉舟系统 （13）3.2.1不能自动进出舟 （13）3.2.2不能自动停舟 （14）3.3气体流量控制系统 （14）3.3.1气动阀不能受控打开 （14）3.3.2触摸屏上无气体流量显示 （14）3.3.3气体流量总是显示最大值 （15）3.3.4气体流量显示值波动大 （15）3.4 H/O合成氧化系统 （16）3.4.1火不能点燃 （16）3.4.2系统误报警 （16）1设备型号涵义1.1 型号的组成按照部颁标准，我所高温扩散/氧化系统的型号由如下代号组成：M 5 1 11 4 W / UM型 所企业代号（中国电子科技集团公司第48所） 特点代号 设计顺序号 主参数（11
3、00） 品种代号（扩散设备） 形式代号（掺杂设备）类别代号（表面处理和薄膜淀积设备）1.2 各代号涵义 M 薄膜淀积设备 5 掺杂设备 1 扩散掺杂设备 13 主参数，最高使用温度1300 1 炉膛有效内径150mm，适用于3硅片工艺 2 炉膛有效内径180mm，适用于4硅片工艺 3 炉膛有效内径250mm，适用于6硅片工艺 4 炉膛有效内径300mm，适用于8硅片工艺 W 微控 H 悬臂舟 A 内燃式 B 外燃式 S 双温区2电气图纸的代号规定2.1电气制图代号定义代号代 号 意 义A计算机及板卡、步进电机驱动器、印制电路板、带触发电路的可控硅模块、氢气报警器、湿度计、冷阱、触摸显示器B薄膜
4、规、热电偶、接近开关、光电开关C电容E加热器、扩散泵、照明灯F熔断器G开关电源、直流电源H指示灯、报警器J温控仪K固态继电器、交流接触器、交流继电器、直流继电器、延时继电器L三相总进线，分为：L1、L2、L3M真空泵、轴流风机、净化风机N零线P质量流量控制器、水压开关、水流开关、电接点压力表、真空计、记录仪、电流表、电压表、检测器件Q断路器、空气开关R电阻、电位器、热敏电阻、压敏电阻S按钮开关、旋钮开关、急停开关、行程开关、液位开关、接近开关T变压器、调压器、电压互感器、电流互感器U旋转编码器、变频器、整流器V晶体管、晶闸管、可控硅模块、发光二极管、规管、光敏管W导线、电缆X接线排、端子排、连
5、接片（XB）、电缆封端、接线板、普通插头座、航空插头座（头可采用XP、座可采用XS）Y电磁阀、电磁离合器、气动阀Z滤波器按照国家电气制图标准，我所常用电气图纸器件代号如下：2.2元器件编号规定*元器件序号层号：0公共器件，1下层，2中下层，3中上层，4上层柜子号：1电控柜，2净化台，3炉体柜，4气源柜元器件代号如电控柜中下层第5号插头座编号为：X1205 ；净化台照明开关的编号为：S20052.3电气接线编号规定*连接线序号，零线号从001099 ；其他线号从101999 。层号：0公共器件线，1下层，2中下层，3中上层，4上层柜子号：1电控柜，2净化台，3炉体柜，4气源柜，5柜子间的转接线。
6、如电控柜中上层第35号零线编号为：13035 ；气源柜下层第89号线编号为：41189 ；2.4电气转接端口定义2.4.1X1*01：电控柜电源接线板插座引脚号LN地定 义接线板火线（W相）接线板零线接线板地线线径,色0.5红0.5白0.5黄绿2.4.21*05: 固态继电器板到电控柜转接板航空插头（Y2M-19TJ/ZK）引脚号1（CH1）2（CH2）3（CH3）4（CH4）5（CH5）6（CH6）7（CH7）定 义扩散小氮大氮干（大）氧湿（小）氧氢气清洗小氮冷阱开线径,色0.2黄0.2黄0.2黄0.2黄0.2黄0.2黄0.2黄引脚号8（CH8）9（CH9）10（CH10）11（CH11）1
7、2（CH12）13（CH13）14（CH14）定 义湿氧开扩散小氮后阀湿(小)氧后阀清洗小氮后阀工艺指示灯热偶短路报警散热风扇线径,色0.2黄0.2黄0.2黄0.2黄0.2黄0.2黄0.5黄引脚号15（CH15）16（CH16）171819定 义出舟音乐提示净化风机启动指示灯火线入电磁阀火线净化台火线线径,色0.2黄0.2黄0.3黄0.75黄0.3黄2.4.3X1*08: 净化台到电控柜转接板航空插头（Y2M-14TJ/ZK）引脚号1234567定 义步A步A-步B步B-电机前限位电机后限位限位公共端COM线径,色0.5红0.5绿0.5黄0.5蓝0.2黄0.2黄0.3白引脚号891011121
8、314定 义编码器A编码器B+15VCOM极限保护/线径,色0.2红0.2绿0.3绿0.3白0.2黄/2.4.4X1*09 、X3*02: 炉体柜到电控柜转接板航空插头（Y2M-19TJ/ZK）引脚号1234567定 义温控触发线温控触发线温控触发线触发线公共地触发板+12V触发板GND功率板零线入线径,色0.2黄0.2黄0.2黄0.3白0.5黄0.5白0.5白引脚号891011121314定 义温控外热偶+温控外热偶-温控外热偶+温控外热偶-+24V温控外热偶+温控外热偶-线径,色0.2绿0.2白0.2绿0.2白0.5绿0.2绿0.2白引脚号1516171819定 义炉体开灯火线炉体关灯火线
9、接触器线包火线自锁触点出线控制电源火线进线径,色0.3黄0.3黄0.3黄0.3黄0.5红2.4.5X4*01、X1*10: 气源柜到电控柜转接板航空插头（Y2M-32TJ/ZK）引脚号1234567定 义扩散小氮流量设定大氮流量设定干（大）氧流量设定湿（小）氧流量设定氢气流量设定清洗小氮流量设定扩散小氮流量检测线径,色0.2黄0.2黄0.2黄0.2黄0.2黄0.2黄0.2黄引脚号891011121314定 义大氮流量检测干（大）氧流量检测湿（小）氧流量检测氢气流量检测清洗小氮流量检测24V+或5V+（备用）扩散小氮线径,色0.2黄0.2黄0.2黄0.2黄0.2黄0.75绿0.2黄引脚号1516
10、1718192021定 义大氮干（大）氧湿（小）氧氢气清洗小氮湿氧加热开冷阱开线径,色0.2黄0.2黄0.2黄0.2黄0.2黄0.2黄0.2黄引脚号22232425262728定 义温度到点火信号扩散小氮后阀湿（小）氧后阀火已燃未燃报警漏氢气线径,色0.2黄0.2黄0.2黄0.2黄0.2黄0.2黄0.2黄引脚号29303132定 义清洗小氮后阀气源柜火线入15V+COM线径,色0.2黄0.75红0.5绿0.5白2.4.6X1*19：25针D型电缆插头 计算机A/D、D/A信号，用0.214屏蔽电缆引脚号1351820227、17定 义流量设定1流量设定2流量设定3流量设定4流量设定5流量设定6
11、A.GND（扩散小氮）（大氮）（干（大）氧）（湿（小）氧）（氢气）（清洗小氮）来 向PCL-726-CN3PCL-726-CN4X1*13:5X1*13:9X1*13:13X1*14:1X1*14:5X1*14:9X1*13:12,X1*14:4引脚号891011121321定 义流量检测1流量检测2流量检测3流量检测4流量检测5流量检测6A.GND（扩散小氮）（大氮）（干（大）氧）（湿（小）氧）（氢气）（清洗小氮）来 向PCL-812PG-CN1X1*15:1X1*15:3X1*15:5X1*15:7X1*15:9X1*15:11X1*15:22.4.7X1*20：25针D型电缆插头 计算机
12、D/I、D/O信号，用0.214屏蔽电缆 引脚号1235254定 义点火信号DIR FREEOPTOCPD.GND来 向PCL-812PG-CN3PCL-812PG-CN5PCL-812PG-CN3X1*16:11X1*16:13X1*16:15X1*16:19X1*18:10X1*16:17、18引脚号6789192010定 义点火温度到火已燃火未燃漏氢导轨前限位导轨后限位D.GND来 向PCL-812PG-CN4X1*17:9X1*17:11X1*17:13X1*17:15X1*17:10X1*17:12X1*17:17、182.4.8X1*19：25针D型电缆插头 计算机A/D、D/A信
13、号，用0.214屏蔽电缆引脚号1142153164定 义流量设定1流量设定2（扩散小氮）（大氮）来 向PCL-726-CN3D/A #1 V OUTD/A #1 I OUTD/A #1 REF INA.GNDD/A #2 V OUTD/A #2 I OUTD/A #2 REF INX1*13:5X1*13:6X1*13:7X1*13:8X1*13:9X1*13:10X1*13:11引脚号17518619720定 义流量设定3流量设定4流量设定5（干(大)氧）（湿(小)氧）（氢气）来 向PCL-726-CN3PCL-726-CN4A.GNDD/A #3 V OUTD/A #4 V OUTD/A
14、#4 I OUTD/A #4 REF INA.GNDD/A #5 V OUTX1*13:12X1*13:13X1*14:1X1*14:2X1*14:3X1*14:4X1*14:5引脚号821922102311定 义流量检测1A.GND流量检测2流量设定6流量检测3A.GND流量检测4（扩散小氮）（大氮）（清洗小氮）（干（大）氧）（湿(小)氧）来 向PCL-812PG-CN1PCL-726-CN4PCL-812PG-CN1A/D 0A.GNDA/D 1D/A #6 V OUTA/D 2A.GNDA/D 3X1*15:1X1*15:2X1*15:3X1*14:9X1*15:5X1*15:6X1*1
15、5:7引脚号24122513定 义A.GND流量检测5A.GND流量检测6（氢气）（清洗小氮）来 向PCL-812PG-CN1A.GNDA/D 4A.GNDA/D 5X1*15:8X1*15:9X1*15:10X1*15:112.4.9 A04：继电器板 (开关量输出 ，输入至计算机)控制阀CH 1CH 2CH 3CH 4CH 5CH 6CH 7CH 8作用扩散小N2大N2干(大)O2湿(小)O2H2清洗小N2冷阱开湿氧开控制阀Y01Y02Y03Y04Y05Y09K07K17流量计P01P02P03P04P05P09冷阱P09水浴锅E06控制阀CH 9CH 10CH 11CH 12CH 13C
16、H 14CH 15CH 16作用扩散后阀湿氧后阀清洗后阀工艺灯热偶短路散热风扇出舟提示净化风机控制阀Y06(K16)Y07Y10H08K08M05K20K03流量计(P01)(P04)(P09)2.4.10X1*20：25针D型电缆插头 计算机A/D、D/A信号，用0.214屏蔽电缆引脚号1142153164定 义点火信号备用信号DIR备用信号FREE备用信号D.GND来 向PCL-812PG-CN3，DOD/O10D/O11D/O12D/O13D/O14D/O15D.GNDX1*16:11X1*16:12X1*16:13X1*16:14X1*16:15X1*16:16X1*16:17引脚号1
17、7518619720定 义D.GNDOPTONC点火温度到电机前限位火已燃电机后限位来 向PCL-812PG-CN3，DOPCL-812PG-CN4，DID.GND5V+12V+D/I8D/I9D/I10D/I11X1*16:18X1*16:19X1*16:20X1*17:9X1*17:10X1*17:11X1*17:12引脚号821922102311定 义火未燃备用信号漏氢备用信号D.GNDD.GNDNC来 向PCL-812PG-CN4，DID/I12D/I13D/I14D/I15D.GNDD.GND5V+X1*17:13X1*17:14X1*17:15X1*17:16X1*17:17X1*
18、17:18X1*17:19引脚号24122513定 义NCNCCP来 向PCL-812PG-CN4PCL-812PG-CN512V+CTR0 OUTX1*17:20X1*18:9X1*18:10X1*18:112.5计算机转接端口定义2.5.1 PCL-726 （ 6通道D/A板 基址:2C0H CN1 ）地址控制位I/O脚出入线功 能X1*12-IX1*12-O控制含义Base+13DO0111扩散小N2阀Base+13DO1222大N2阀Base+13DO2333干（大）O2阀Base+13DO3444湿（小）O2阀Base+13DO4555H2阀Base+13DO5666清洗小N2阀Ba
19、se+13DO6777冷阱开Base+13DO7888湿氧开Base+12DO8999扩散小N2后阀Base+12DO9101010湿（小）O2后阀Base+12DO10111111清洗小N2后阀（或Ar阀）Base+12DO11121212工艺指示灯Base+12DO12131313热偶短路报警Base+12DO13141414散热风扇Base+12DO14151515出舟音乐提示Base+12DO15161616净化风机启动DGND171717DGNDDGND181818DGND+5V191919+5V+12V202020+12V备 注使用20芯扁平电缆连接到固态继电器板2.5.2 PCL
20、-726 （ 6通道D/A板 基址:2C0H CN3 ）地址控制位I/O脚出入线功 能X1*13X1*19（25）控制含义Base+0，1D/A 1# V551小N2流量设置D/A 1# I6614D/A 1# R772D/A 1# A8815Base+2，3D/A 2# V993大N2流量设置D/A 2# I101016D/A 2# R11114D/A 2# A121217模拟地Base+4，5D/A 3# V13135干O2流量设置备 注X1119共有9根线连接PCL-726:CN32.5.3 PCL-726 （ 6通道D/A板 基址:2C0H CN4 ）地址控制位I/O脚出入线功 能X1*14X1*19（25）控制含义Base+6，7D/A 4# V1118湿（小）O2流量设置D/A 4# I226D/A 4# R3319D/A 4# A447模拟地Base+8，9D/A 5# V5520H2流量设置D/A 5# I66D/A 5# R77D/A 5# A88Base+10，11D/A 6#99清洗小N2流量设置备 注X1119共有5根线连接PCL-726:CN42.5.4 PCL-812PG （ 12通道A/D板 基址:220H CN1 ）地址控制位I/O脚出入线功 能X1*15X1*19（25）控制含义Base+4，5A/D 0#118扩散小N2流量检测AG
