1、电镀工序作业指导书电镀工序作业指导书1.0目的建立详细的作业规范，籍以稳定品质，提升生产效率，并作为设备保养、员工操作的依据，此文件同时也是本岗位新员工培訓之教材。2.0适用范围本作业规范适用于本公司电镀班图形电镀工序。3.0职责3.1制造部职责3.1.1员工按工艺提供的参数制造符合要求的产品并作相关的记录,领班对此进行监督和审核。3.1.2领班負责对员工进行生产操作的培訓及考核。3.2 品质部职责品质部负责对制造部的品质、保养、操作、参数和环境稽核与监控，保证产品符合客戶要求。3.3 工艺部职责评估和提供生产过程中各种参数要求，及其实现之方法。3.4维修部生产设备的管理、维护和维修。4.0
2、作业内容4.1工艺流程4.1.1加厚铜（板电）作业流程示意图上料酸洗电镀铜溢流水洗溢流水洗下料洗板烘干自检转下工序4.1.2图形电铜电锡基本流程示意图上料除油溢流水洗溢流水洗微蚀溢流水洗溢流水洗酸洗电镀铜溢流水洗溢流水洗酸洗电锡溢流水洗溢流水洗下料转退膜蚀刻4.2 电镀基本流程说明4.2.1上料：戴手套作业，小心擦花板面，夹具夹紧板边防止掉板，同时夹板靠夹棍底部。4.2.2除油：清除板面油污、灰尘、指纹印、氧化等。4.2.3微蚀：清除板面氧化，粗化板面，增强板面与镀层的结合力。微蚀后的板面色泽一致呈粉红色。4.2.4酸洗：除去铜表面轻微氧化膜，同时也防止上工序的残液进入镀铜液中，对镀液有一定的
3、保护作用。还活化铜面，便于电镀时铜的沉积。4.2.5镀铜：实现孔壁及线路之厚度要求，保证其优良之导电性能。4.2.6镀锡：作为碱性蚀刻之抗蚀层，形成良好之线路图形。 4.2.7烘烤：湿膜板用105烘15分钟以固化油墨，防止电镀时油墨脱落、渗镀、铜点等不良现象的发生。4.3 电镀线工艺参数和操作条件缸名控制项目 控制范围分析频率操作条件浸液时间滴水时间缸体材料缸体容积除油XP070302-630-50ml/l1次/天温度：352 循环过滤，非空气搅拌 震荡振动5315sPP800L水洗自来水/非空气搅拌251无PP800L水洗自来水/空气搅拌210无PP800L微蚀H2O28-18ml/l1次/
4、天温度：302 循环过滤空气搅拌142无PP800LH2SO42-4%Cu2+4g/l1次/周微蚀速率0.3-0.6m1次/周水洗自来水/空气搅拌124无PP800L水洗自来水/空气搅拌154无PP800L浸酸H2SO44-6%1次/天温度：常温 152无PP800L电镀铜CuSO455-80g/l2次/周温度：252 循环过滤空气搅拌 震荡振动光剂补加：HV-101AN按250ml/KAH，HV-101BN按130ml/KAH由不同工艺决定无PP4000LH2SO490-130ml/lCl-40-70PPM铜光亮剂HV-101AN2-4ml/L1次/2周铜光剂辅助剂HV-101BN5-20m
5、l/L1次/2周铜光剂开缸剂HV-101M开缸添加5ml/L/开缸和碳处理后进行添加5ml/L，平时不做添加水洗自来水/空气搅拌 54无PP800L水洗自来水/空气搅拌 313无PP800L预浸H2SO44-6%1次/天温度：常温 13010SPP800L电镀锡SnSO435-45g/l2次/周温度：202 循环过滤非空气搅拌 震荡振动光剂补加: A :250ml/KAHB :125ml/KAH1500无PP3600LH2SO480-110ml/lEC.part A5-10ml/l1次/月EC.part B10-20ml/l水洗自来水/非空气搅拌338无PP800L水洗自来水/空气搅拌550无
6、PP800L下板下板时需戴胶手套且必须插架，避免板件擦花710无PP退镀HNO320-40%2次/周温度：常温 非空气搅拌 手动完成 以退干净为原则无PP800L水洗自来水/空气搅拌 手动完成手动无PP800L下板/具体见夹板规范同上板无PP 4.4 行车操作程序4.4.1行车操作程序参照文件：电镀操作规程（编号：MTL-PI-033）的4.1-4.4内容进行操作。 4.5 生产前准备4.5.1开启所有过滤泵和加热器。4.5.2补充所有槽中的水位，通知化验室分析药水浓度。4.5.3检查所有槽的温度。4.5.4检查所有过滤泵性能，并定时更换过滤棉芯。4.5.5检查水槽的流量及各槽的打气是否正常。
7、4.5.6检查自动添加控制器。4.5.7检查飞巴运行是否正常。4.5.8检查摆动是否正常。4.5.9检查各整流器输入、输出状态是否正常。4.5.10检查阴极座V槽接电位置是否正常。4.5.11检查夹具是否有异常。4.6工艺操作注意事项。4.6.1夹板方式1) 上板需戴手套上板，手指不可伸入有效图形内。2) 图电板件上板统一采用GTL面朝上板人方向，沉铜加厚板除外。3) 板与板之间必须紧密排列,在一般生产情况下是夹短边的,在不满一飞巴时可以考虑夹长边。4) 盲孔、盘中孔、压接孔板加厚镀时以及所有图电板件，上板后每个飞巴需在最外面夹棍的外螺栓上夹边条，边条长度控制在100-250mm,边条宽度控制
8、在20-40mm。如无边条用时，可将使用过的边条退锡后再行使用，但需确保退锡干净，未退锡的边条条绝对不允许直接循环使用。4.6.2浸泡稀除油操作1) 浸泡除油液操作:在图电上料夹板前，需要进行浸泡除油液操作的板件为：最小孔径0.3mm以上、厚径比5以上和最小孔径0.25mm以下、厚径比4以上的板件。2) 浸泡除油液操作流程：双手持板缓慢将板件水平放入配制好的除油液，浸泡2-5S后，缓慢将板件水平取出，停滴2-5S后将板件水平放入清洗水槽中漂洗2-5S后，板件水平取出，停滴2-5S后直接夹板。3) 浸泡除油液槽配制；上板浸泡除油槽内加40L清水，取电镀线除油缸槽液4L加入搅拌均匀即可使用。4)
9、清洗水槽配制；在胶盆内直接注入清水即可。5) 稀除油液与清洗水槽的使用周期：稀除油液与清水每班配制一次，当班使用后直接更换。4.6.3打气控制 对于板厚小于0.4mm的板件电镀时，需使用薄板挂具上板，并需将打气关小到1/2，但做厚板前又要恢复。4.6.4电流计算详细电流计算方式见编号为：MTL-PI-034电镀电流设定作业指导书1) 加厚铜电流计算：单面电流 = 板长(in)*板宽(in) *0.0645*挂板数+边条面积*电流密度(A/ dm2)2) 图形电镀电流计算：单面电流 =单面电镀面积（dm2）*挂板数+边条面积*电流密度(A/dm2)电镀锡电流计算：单面电流 =单面电镀面积（dm2
10、）*挂板数+边条面积*电流密度(A/dm2)备注 1、图电板件和平板加厚镀板件必须夹边条。 2、边条长度需控制在200-250mm,边条宽度控制在20-40mm。3、当生产板件单面电镀面积小于40dm2时必须算边条电流。单面面积超过40dm2时可忽略不计。边条面积计算方法：边条面积 = 边条长度(in)* 边条宽度(in) *0.0645*边条数量4.7工艺操作4.7.1挂具浸泡：1) 挂具的浸泡：下料退镀后的挂具需进行浸泡清洗后才可上板使用。2) 挂具浸泡的操作流程：上料处有酸洗和水洗两个挂具存放槽，供清洗浸泡挂具使用，退镀完的挂具取下后直接铜靶接触的一端朝下在酸槽内浸泡5-15分钟后，取出
11、放入清水槽内浸泡清洗，上挂使用时直接取在清水槽内清洗干净的挂具使用。3) 挂具浸泡槽药水配制：挂具浸泡槽内加100L清水（槽体的2/3），加入3L的硫酸，即可使用。4) 清洗槽配制：直接在槽内加入自来水即可。5) 挂具清洗浸泡槽和水洗槽使用周期：挂具清洗浸泡槽和水洗槽每天进行更换。4.7.2上板1) 上板前先看流程卡，确定是否要浸泡除油，若需要，则浸泡除油后再上板。2) 上板时严格按上板4.6.1进行作业。3) 夹板后需对夹棍使用扳手进行加紧处理，确保夹紧。4.7.3电流输入 上板后记录上板档案号，根据流程卡和电流设定作业指导书进行设置电流，如流程卡有注明，按流程卡设定；无注明时按电流设定作业
12、指导书进行参数设定。4.7.4下板 1）下板时需戴手套下板，下板时需一块一块下，不可多块一起下，插板时切忌两块板插在一个格子里，需避免擦花。2）图电的板下板插架后放置在待蚀刻板件摆放区，平板的板放在磨板机，待清洗烘干。 板电的后的挂具视镀铜情况，可以反复，当铜层已明显盖住包胶时，需退镀处理。可以根据挂具数量，为节约时间，可集中几缸的一起退镀。 4.7.5生产检查 （1） 在生产过程中必须三天检测一次电镀铜缸、锡缸的电流输出情况,并如实填写图形电镀线电流检测记录表.当用电镀钳表测检实际输出电流值与设定电流值不相符,误差值超过5%时,应作好记录,并及时填写至维护部专业人员作调校;（2）在生产过程中
13、必须每班检查一次循环、过滤、振荡、打气、加热棒、自动添加开启情况及飞巴与阴极座接触情况，并填好图电线点检记录表。5.0日常保养5.1每班对电镀线进行清洁。5.2对每一飞巴进行檫洗飞巴杆和飞巴铜头。6.0定期维护保养6.1每周需对各水洗缸更换一次，并清洗干净水缸缸壁、缸底。6.2每周需补加铜球、锡球，补加前对铜、锡球进行清洗处理，补加后对铜缸、锡缸进行电解处理。6.3每月需更换各过滤泵滤芯。6.4每三个月需对铜缸铜球进行清洗，锡缸锡球进行清洗，同时对铜缸和锡缸进行一次碳芯过滤。6.5每一年需对铜缸进行碳处理。6.6当微蚀缸Cu2+4g/L时需对微蚀缸换缸。6.7生产根据生产面积提前安排换缸时间。
14、7.0维护保养7.1电气维护7.1.1在进行维修前应确信电源是关闭状态，行车处于停止状态。7.1.2注意观看感应片及传感器，如不细心会造成不可预料的故障。7.1.3不要在槽上、机架轨道、抽风口及槽盖上行走，这样很危险，应使用维修平台进行工作。7.1.4电箱、整流机应尽量放置在荫凉、通风、干燥的环境，不得将腐蚀性气体直接吹向电箱，厂房内湿度过大时要加强排气。环境因素将直接影响电气设备的使用寿命。7.1.5加热器、泵等所有器材必须可靠接地，发现对地短路的应及时处理，严禁断开地线继续使用。7.1.6发现空气开关、热继电器、变频器跳闸，切记不可盲目反复合闸，应仔细检查排除故障后合闸，以免造成设备损坏。
15、7.1.7过滤泵及循环泵都采用磁偶泵，使用中绝对禁止无水开泵，以免损坏泵体。7.1.8过滤泵在运行过程中如出现不正常的声响或开关跳闸，应及时修理，看是散风扇碰到罩子，还是吸入杂物，或者是轴承损坏。7.1.9震动器、感应器尾部导线被用扎带扎成小圈，这能缓冲外力的作用，如发现小圈松开应及时重新扎好。7.1.10车上用扎带扎好的电线如发现扎带松动，应及时重新扎好，以免机械结构摩擦损伤电线。7.1.11未经允许，不可擅自修改行车的控制速度。7.1.12行车出现电池报警，应及时更换，更换电池必须在5分钟之内完成，否则机内程序记忆将消失。7.2 机械维护7.2.1行车1) 纵走轮应保证运行正常，如发现轮周
16、的红色胶有脱胶时应及时更换；2) 行车部件上的所有马达、轴承大约在36个月后应加注润滑油以保证正常运行。7.2.2路轨保证路轨表面干净以保证行车运行畅通无阻。7.2.3摇摆部分1) 设备运行6-10个月后应检查摇摆马达牙箱内的油位是否需要更换；2) 摇摆运行时严禁在上面放置任何物品。7.2.4整流器部分1) 铜杯士表面应保持清洁以保证导电能力，防止整流器负载过大。2) 定期紧固整流器输出线耳螺丝，防止松动。7.2.5缸槽部分1) 不要将杂物抛进缸槽以免堵塞过滤泵或循环管路；2) 定期检查打气管的防虹吸孔是否堵塞，以免停打气机时引起缸内液体倒流；7.2.6飞巴飞巴铜头应保持干净无污垢以提高电镀导
17、电性能。防止整流器负载过大。7.3药水维护7.3.1镀铜液的维护1) 碳处理在电镀过程中，添加剂的分解产物、干膜或抗电镀油墨溶出物及板材溶出物的积累，会造成镀液的有机污染，少量的有机污染用活性炭吸附过滤除去。随着时间的持续，需用双氧水-活性碳处理以取得比较彻底的处理效果，处理每年一次。其处理步骤如下：a、将镀液转入已清洗好的备用槽中。b、连续搅拌边加入35ml/L双氧水，充分搅拌12小时；c、升温至65，继续搅拌2小时；d、加优质活性炭粉35g/L，搅拌2小时后进行停止搅拌，并进行沉淀降温12H，溶液温度逐渐降至室温后可取小样做赫尔槽实验，确认2A全板镀层无光泽后进行过滤。e、将无炭粉的澄清镀
18、液转入工作槽内，挂入清洗好的阳极袋（内充磷铜球）。通0.52A/dm2电流46小时后，按新槽加入HV-101M开缸剂,并搅拌均匀，试镀。2) 挂具使用要得当，绝缘破损的挂具要及时处理，否则会带来镀液的交叉污染和消耗有效电流。7.3.2镀锡液的维护1) Cu2+污染：当Cu2+浓度达20mg/L时，镀层会产生半湿润现象。Cu2+污染可以用小电流电解法去除，用瓦楞形阴极，以0.10.5ASD电流密度长时间电解，直至整块阴极板上镀层均匀为止。2) 有机物污染：当有机物污染严重时，镀层热熔时会冒泡。有机物污染可用活性炭处理，一般可用活性炭滤芯过滤24小时。当污染严重时，需用活性炭粉35g/L放入溶液中
19、，充分搅拌，过滤到无炭粉为止。处理镀液时不可用H2O2和空气搅拌，以防止加速Sn2+的氧化。7.3.3每季度清洗阳极袋、铜球、锡球各一次。1) 阳极袋的清洗a、用水将阳极袋浸泡30min，用水冲洗干净b、将阳极袋反过来用5%的NaOH溶液浸泡6小时以上c、用清水漂洗2小时d、用10%的H2SO4浸泡2小时即可2) 铜球的清洗a、用5%的H2SO4浸泡15min以上，b、然后用纯水清洗干净即可使用。c、每次补加铜球后，须以1.8ASD*0.5H-0.5ASD*2H-1.8ASD*0.5共电解3小时。3) 锡球的清洗a、将锡球用水冲洗干净后，再用10%的H2SO4浸泡30MIN。b、用纯水冲洗干净
20、。c、每次补加锡球后，每次补加后用报废板使用1.0ASD电解一挂。4) 滤芯的更换a、用100ml/L的H2SO4浸泡8小时以上b、用自来水彻底清洗干净7.3.4日常药水维护工序名称维护项目维护频率备注退镀倒缸视退挂具效果见9.6除油换缸1次/2月见9.3滤芯更换1次/2周微蚀滤芯更换1次/2周见:9.4换缸4g/l浸酸换缸1次/月见:9.5滤芯更换1次/1周预浸换缸 1次/月滤芯更换1次/2周电镀铜镀铜光亮剂AN自动添加并1次/月分析250ml/1000AH按分析结果补加镀铜光剂辅助剂BN按照AH手动添加并1次/月分析130ml/1000AH按分析结果补加镀铜光剂开缸剂M开缸时和碳处理后进行
21、添加5ml/L平时不做添加磷铜球补加及电解1次/周1.8ASD*0.5H-0.5ASD*2H-1.8ASD*0.5共电解3小时 滤芯更换1次/月见7.3.3阳极袋清洗1次/3月见7.3.3铜球清洗1次/3月见7.3.3碳处理每次/年或视药水污染程度及或生产品质状况见7.3.1电镀锡锡添加剂EC.part A手动补加及1次/月250ml/1000AH锡添加剂EC.part B手动补加及1次/月125ml/1000AH锡球补加1次/周每次补加后用报废板使用0.5ASD电解一挂。滤芯更换1次/月见7.3.1锡缸开新缸1次/2-3年见9.28.0异常情况时板的处理事项8.1停电1) 将所有电源关闭，尤
22、其是整流器电源。2) 立即将微蚀缸内的板和所有板电的板（包括酸缸和铜缸）放入水缸，其它缸中的板暂不动。3) 待10分钟内来电后，将所有板件放回原缸位，继续按正常程序生产。4) 所有需要镀铜的图电的板件和停电前镀铜时间超过10min的板电的板件继续完成电镀铜；停电前镀铜时间不超过10min的板电的板件和所有镀锡时间未够的板重新浸酸后再镀铜、锡8.1.2 停电超过10分钟且预计半个小时内无法来电时。1) 把所有药水缸中的板取出吹干，务必作好记录、贴好标签；并对各电镀缸中的板记好缸号、电镀时间。2) 图电的板待来电后：如未过微蚀，按正常再行返工一次；如已过微蚀但未电镀，需返过前处理，但需把微蚀时间缩
23、短为30秒内。对于在镀缸内的板，按正常过前处理，并依据记录电镀至所需时间（可以相对加10min以补偿第二次微蚀的铜）。3) 板电的板待来电后：如未电镀或电镀时间不起过10分钟的板需返沉铜处理；镀铜时间起过10分钟的板需按图电板一样过所有前处理，并依据记录电镀至所需时间（可以相对加10min以补偿第二次微蚀的铜）。4) 已镀锡但电镀时间不够的板可浸酸后重新镀锡。5) 镀锡时间够的板件按正常送下工序。8.2停水对已进入各缸中的板继续做完，但必须停止上板，做完在线板后收拉。8.3坏车1) 先取出微蚀缸中的板和在酸洗缸内需板电的板转到水缸中。然后将其它缸中的板不动。2) 电镀缸内的板每巴将电流降到总电
24、流的6%维持电镀。3) 记下各电镀缸内板件电镀时间。8.3.2 坏车时间超过5分钟时。电镀缸内的板调为正常电流完成电镀,电镀时间达到要求但行车仍未恢复的板将电流降到总电流的6%维持电镀。1) 将非电镀缸内的板全部取出烘干。2) 已过微蚀但未电镀的板,在第二次过前处理时需把微蚀时间缩短为30秒。3) 过除油的但未过微蚀的图电的板按正常再行过一次。4) 将进缸了的板电的板取出放入泡板槽，如两个小时内行车仍未恢复，所有板都返沉铜。9.0镀液配制9.1镀铜液的配制9.1.1 将镀槽擦洗干净，注入10%NaOH溶液，开启过滤机（无过滤棉芯）和空气搅拌，将此液加温到60，保持48小时，然后用水冲洗。再注入
25、5%H2SO4，同样开启过滤机（无过滤棉芯）空气搅拌48小时，用水冲洗干净。同时检查过滤系统和搅拌系统是否配置得当。备用槽也同样清洗干净。9.1.2 在备用槽内，注入1/4体积的工业纯水，在搅拌下缓缓加入1600L的硫酸，借助所释放的热量，加入1088kg硫酸铜，搅拌使完全溶解。9.1.3 加入H2O2 12ml/L，搅拌1小时，升温至65，保温1小时，以赶走多余的H2O2。9.1.4 加入活性炭3g/L，搅拌1小时，静置半小时后过滤，直至溶液中无炭粉为止。将溶液转入镀槽中。9.1.5 加入2400ml的盐酸，加入5M/L的HV-101M开缸剂，加纯水至所需体积，挂入预先备好的阳极。9.1.6
26、 以阳极电流密度0.52A/dm2电解处理约6个小时，使阳极形成一层致密的黑色薄膜。镀液可以进行试镀。9.2 镀锡液的配制9.2.1 将镀槽擦洗干净，注入10%NaOH溶液，开启过滤机（无过滤棉芯）和空气搅拌，将此液加温到60，保持48小时，然后用水冲洗。再注入5%H2SO4，同样开启过滤机（无过滤棉芯）和空气搅拌48小时，用水冲洗干净。同时检查过滤系统和搅拌系统是否配置得当。备用槽也同样清洗干净。9.2.2 注入半槽纯水，小心地慢慢地加入360L 98%的硫酸，在搅拌下缓缓加入170kg的硫酸亚锡至完全溶解。9.2.3 用活性炭滤芯过滤24小时（若用炭粉处理，必须在备用槽中进行），然后换成5
27、m聚丙烯（PP）滤芯过滤。9.2.4 待溶液温度降至室温后，缓缓加入EC-A 70L、EC-B 140L的添加剂，调整液位。9.2.5 用电流密度0.5A/dm2电解1小时，试镀。9.3 除油缸9.3.1 加入2/3体积的纯水，9.3.2 加入XP-070302-6药水32L。 补加纯水至标准液位，开启循环泵，混合均匀。9.4 微蚀缸9.4.1 预留10%体积原液，加入3/4体积纯水并开启打气搅拌9.4.2 加入 16L 98% H2SO4，冷却至50，停止打气9.4.3 加入20升粗化稳定剂9.4.4 加入12kg元明粉9.4.5 加入12L H2O29.4.6 补加纯水至标准液位，开启循环
28、泵，混合均匀。9.5 酸洗缸9.5.1 加入2/3体积之纯水并开启打气搅拌9.5.2 缓慢加入45L 98% H2SO4，补加纯水至标准液位9.6 退镀缸9.6.1 将缸内药水排掉1/2。9.6.2 住缸内加120L浓硝酸。9.6.3 往里补充自来水至液位。10.0电镀线使用的设备及物料清单 设备及物料名称材料牌号使用目的药水缸PP/电镀 酸洗 除油 褪镀 微蚀 整流器/提供电镀电源振动器/消除孔内气泡过滤泵PP/清除缸内脏物压缩空气机/保持缸内浓度均匀，减少浓差极化加热管石英保证缸内温度挂架不锈钢312夹板和提供导电工具钛蓝钛合金/装满铜球作阳极使用锆蓝锆合金/装满锡球作阳极使用排骨架不锈钢312电镀前后装板使用猪笼架不锈钢312电镀前后装板使用铜球铜磷合金镀铜阳极材料锡球纯锡球镀锡阳极材料 HV-101AN、/镀铜光亮剂HV-101BN/镀铜光剂辅助剂H2SO4CP和AR级/电镀 酸洗 微蚀CuSO4CP级/镀铜SnSO4CP级/镀锡H2O2CP级/微蚀EC-A、EC-B./镀锡光剂12.0相关记录电镀工序生产日报表电镀线安培小时记录表电镀线药水添加记录表电镀线开机点检表
