热门搜索:
plasma 机台维护保养PLASMA 機台保養類別週保養季保養年度保養Plasma 機台週保養1、將掉落於電極的鋁粉及Chamber壁的污染物用酒精擦拭(操作員手可觸及的範圍)2、添加Oil pump 真空油至8份滿(注意用油型號)3、檢查pump是否漏油4、檢查 RF的反射功率是否太高當反射功率大於8W時請通知鈦昇服務人員當反射功率大於15W時請關機5、機台的散熱風扇是否運轉Plasma 機台季保養1、機台外觀擦拭2、chamber內壁及o-ring溝槽用酒精擦拭3、察看電極的濾網是否破裂4、電極外觀用酒精擦拭5、更換Oil pump 真空油Plasma 機台年度保養Chamber 清洗Oil pump overhaulRoots pump overhaul電極清洗玻璃shield 清洗MFC校正Chamber 清洗 Oil pump overhaul Roots pump overhaul基本上兩年overhaul 一次,視使用狀況而定電極清洗 玻璃shield清洗MFC校正送回原廠校正
本文(plasma 机台维护保养.docx)为本站会员主动上传,冰点文库仅提供信息存储空间,仅对用户上传内容的表现方式做保护处理,对上载内容本身不做任何修改或编辑。 若此文所含内容侵犯了您的版权或隐私,请立即通知冰点文库(点击联系客服),我们立即给予删除!
温馨提示:如果因为网速或其他原因下载失败请重新下载,重复下载不扣分。
copyright@ 2008-2023 冰点文库 网站版权所有
经营许可证编号:鄂ICP备19020893号-2