1、設計階段（5份）竣工階段報價表（Quotation form）X專案組織表（Project organization）專案執行時程表（Project schedule）工程界面清單及位置圖（List & location of tie-in point）系統管儀圖（P&IDs）焊接設備清單（Equipment list）設備及材料型錄及資料（Vendors catalogs and information to support his quotation， including electrical system & I/C system）儀表安裝詳圖（Instrument installati
2、on drawing）送審文件清單及時程（Transmittal list and schedule）品質管制程序書（Quality control procedure）工地辦公室及物料暫存區需求（Site office and warehouse requirements）驗收及測試計劃/報告（Inspection & test plan/reports）製造商測試報告（Manufactures inspection & test reports/records）計算書（Contractors calculations）管線配置圖（Pipe routing plan）管線支撐詳圖（Pipe
3、support drawing）管材規格（Piping material specification）管線施工程序書（Piping construction specification）註： 1. 承包商需於得標後一周內提出文件送審清單，並於施工前2周提送設計文件及相關管件及標示實體供審核；送審圖面則需在業主提出意見後3天內修改並再次送審。2. 所有送審文件必須以中文或英文書寫；英文送審文件需附中文說明。3. 所有竣工階段需提送之文件均需檢附電子檔4.施工說明4.1.一般說明4.1.1.承包商應於施工前提送施工程序書及管路測試程序書，經審核通過後，方可據以施工。4.1.2.承攬商需於工作場所設
4、置工程負責人，需有相關工程經歷三年以上，其工作職責為：4.1.2.1.施工進度控制。4.1.2.2.施工人員管理及安排。4.1.2.3.材料數量管制。4.1.2.4.現場會勘放樣。4.1.2.5.參與承攬商溝通協調會議4.1.3.承攬商需於工作場所設置品管負責人，需有相關工作經歷三年以上，其階層與工程負責人同等，其工作職責為：4.1.3.1.施工品質控制。4.1.3.2.施工完工品質驗收。4.1.3.3.施工驗收報告匯總。4.1.3.4.原料進廠自主檢查。4.1.4.承攬商需於工作場所設置物管負責人，需有相關工作經歷一年以上，其工作職責為：4.1.4.1.材料數量管理。4.1.4.2.進廠料件
5、驗收。4.1.5.承攬商需於工作場所設置工安衛負責人，需有相關工作經歷一年以上，其階層與工程負責人同等，其工作職責為：4.1.5.1.現場安全衛生工作監督。4.1.5.2.參與承攬商安全衛生協調會議。4.1.5.3.承攬商施工人員安全衛生訓練。4.1.6.施工人員數組，依工程數量適時增加人員，但在工程期限內最低需保留三組，每組人員最少三人，每組至少有一人有焊接執照，並由一資深組長帶領，所有進廠施工之人員必須經過認可且通過工安檢定之人員。4.1.7.品管人員數組，依工程數量適時增加人員，但在工程期限內最低需保留一組，每組人員最少二人，由一資深組長帶領，但不可由品管負責人擔任。4.1.8.承攬商有
6、任何人員調動需經過認可，且業主相關之人員有權提出異議要求更換，承攬商不得有異議。4.2.材料說明4.2.1.氣體管線之分類及其材質要求如下表規定辦理。氣體種類材質a.一般大宗氣體GN2CDACDA （for burnbox）SUS 316L BA/ 5SSUS 316L AP/ 5SSUS 304 / 5Sb.自燃性氣體SiH4, SiH4/N2, PH3/N2內管SUS 316L EP/外管SUS 304c.其他氣體PN2, PO2, SiH2Cl2, NH3, PH2, B2H6/N2, Cl2, HBr, NF3, BCl3, HF, CHF3, CF4, C2F6, SF6, PAr,
7、 PHe, N2O, He/O2SS 316L EP/ 5S；另BCl3、SiH2Cl2之管線需提供加熱帶以確保供氣量。4.2.2.各類管線、管件及儀表廠牌，請依下表規定辦理，承包商應以一次配選用廠牌為優先考量，如欲選用非下表規定之廠牌，需經過業主審核同意後使得選用。項目規格廠牌SUS 316L BA pipeRmax 3.0mSumikin/ KuzeSUS 316L BA tube 3.0 mSUS 316L BA fitting （for pipe） 4.5 mKitz/ Kuze/ Swagelok/ Ham-letd.SUS 316L BA fitting （for tube）e.S
8、US 316L EP pipe 0.7 mf.SUS 316L EP tube （註1） 0.7mg.SUS 316L EP fitting （註1）h.SUS 316L BA valve （15A）Bellow valve, Rmax Kitz/ Ohno/ Motoyamai.SUS 316L BA valve （ 15A）Diaphragm valve, Rmax Kitz/ Fujikin/ Ohno/ Motoyamaj.SUS 316L EP valve （15A）1.0 mk.SUS 316L EP valve （l.RegulatorSUS 316L EP, VCR type,
9、 Rmax 0.1 m）1 pcs/scf （機台Tie-in點前6.6.氧氣含量測試：6.6.1.承包商應使用PN2作為purge gas，並連續紀錄氧氣含量變化，以觀察其下降趨勢及作為是否合格之依據。6.6.2.各類氣體測試點及含量要求應依下表辦理：氧氣含量要求PN26.7.驗收時需檢附各項測試報告及竣工ISO圖面。7.保固期限自驗收合格後保固期限一年。附件一 Bulk Gas Take-off ListTAKE-OFFTool機台流量機台接NOTENO.尺寸LPM頭尺寸頭型式GN55011/2CV-etcher/QC LabCV-etcher55 3/8DECAP（QC）-1/8ETCHER（QC）1/4GN55029F125 120 GN55039F2GN55048F50 GN5505WJ-999（1）/（2）WJ-999（1）WJ-999（2）GN5506SPAREGN5507ND-620020 GN5508NOVELLUSGN5509GN5510GN5511GN5512GN5513AMI 8330C3 GN5514GN5515AMI 8330DGN5516AMI 8330B
