1、注：索取号由校图书馆提供，详见图书馆网站本博硕学位论文4、目录 分章、节列出并注明每章、节的页码号，附录、附件也应列入页码号。5、摘要 500字左右（含35个关键词），其内容同前言，但要更简明、精辟，可以独立使用，也可以引用和作为推广介绍。与中文对应的英文摘要亦含关键词。6、前言 博士：50008000字左右，硕士：20005000字左右。应包含学位论文的主要信息，包括本领域的前沿动态、作者的研究目的、研究方法、研究成果和最终结论，其重点是作者的创新性成果和结论。7、正文 学位论文的主体，要求文科博士学位论文一般不低于6万字，理科博士学位论文一般不低于4万字（含艺术类、体育类专业）；文科硕士学
2、位论文一般不低于3万字，理科硕士学位论文一般不低于2万字（含艺术类、体育类专业）。8、参考文献和注释 按文中出现的顺序列出直接引用的主要参考文献，注释可列在所在页下方，应标明引文的所在页码。具体格式为：引文源于著作时：序号作者，著作名，出版者，出版年份卷（期），引文在著作中的页码。引文源于杂志时：序号 作者 ，文章题目，杂志名称，发行年份和期号，引文在杂志中的页码。引文源于论文集、丛书时：序号论文集或丛书主编，论文集或丛书名，出版者，出版年份，引文在论文集或丛书中的页码。引文源于报纸时：序号作者，文章题目，报刊名称，发行年、月、日，版次。9、附录（三）博士、硕士学位论文电子版的提交：所有学位申
3、请人须按照图书馆的要求提交学位论文的纸质本和电子版。 研究生部学位与培养办公室 二00四年十月十八日索取号： 密级： 博 士 学 位 论 文相位调制型激光自混合干涉测量微纳米技术的研究研究生:郭冬梅指导教师王鸣 教授培养单位物理科学与技术学院一级学科电子科学与技术二级学科物理电子学完成时间2007年3月10日答辩时间2007年5月25日博士学位论文南京师范大学学位论文独创性声明本人郑重声明：所提交的学位是本人在导师指导下进行的研究工作和取得的研究成果。本论文中除引文外，所有实验、数据和有关材料均是真实的。本论文中除引文和致谢的内容外，不包含其他人或其它机构已经发表或撰写过的研究成果。其他同志对
4、本研究所做的贡献均已在论文中作了声明并表示了谢意。学位论文作者签名： 日 期：学位论文使用授权声明研究生在校攻读学位期间论文工作的知识产权单位属南京师范大学。学校有权保存本学位论文的电子和纸质文档，可以借阅或上网公布本学位论文的部分或全部内容，可以采用影印、复印等手段保存、汇编本学位论文。学校可以向国家有关机关或机构送交论文的电子和纸质文档，允许论文被查阅和借阅。（保密论文在解密后遵守此规定）保密论文注释：本学位论文属于保密论文，保密期限为 年。 指导教师签名：日 期：摘 要激光自混合干涉是指激光器输出的光被外部物体反射或散射后，其中一部分光又反馈回激光器的谐振腔。反馈光携带了外部物体的信息，
5、与腔内光相混合后，调制激光器的输出，形成自混合干涉。激光的自混合干涉来源于激光器的外部光反馈效应，以前人们总是设法消除光反馈的影响，后来逐渐的由消除光反馈的不利影响到主动利用光反馈效应检测物理量，从而形成了一门新的技术。为了提高自混合干涉的微位移测量精度，高精度的相位测量法被引入自混合干涉技术中，已见报道主要有两种方法：注入电流调制和外腔长度调制方法。关键词：自混合干涉，相位调制，电光晶体AbstractWhen a portion of light emitted from a laser source is reflected or scattered back into the lase
6、r cavity by an external target, the reflected light will mix with the light inside the cavity, causing a modulation of the laser output power. This phenomenon is called as self-mixing interference （SMI） , in which the reflected light carries some information of the external target. The self-mixing i
7、nterference comes from the optical feedback effect. People always tried to eliminate the optical feedback effect previously. Gradually people began to make use of it actively to measure some physical quantities, thus self-mixing interference technology was brought forth. In order to improve the disp
8、lacement measurement accuracy of the self-mixing interference, high accuracy phase measurement method is introduced into the SMI system. Key words: Self-mixing interference, Phase modulation, Electro-optic modulator第1章 绪论干涉测试技术是以光波干涉原理为基础进行测试的一门技术，与一般的光学成象测试技术相比，具有更高的测试灵敏度和精度；绝大部分的干涉测试都是非接触式的测量，不会给被
9、测件带来表面损伤和附加误差。干涉测试技术应用十分广泛，几乎已经被应用到所有的工业部门和科学研究上。激光的出现，解决了光干涉技术的光源性能问题，半导体激光器的引入，使光源调制灵活，方便且大大减小了光源尺寸和造价问题，结合计算机，则极大的提高了干涉信号的处理速度。1.1 激光自混合干涉技术的兴起及发展 激光自混合干涉是指在激光应用系统中，激光器输出的光被外部物体反射或散射后，其中一部分光又反馈回激光器的谐振腔，反馈光携带外部物体的信息，与激光腔内的光相混合后，调制激光器的输出功率，因输出的光信号与传统的双光束干涉有相似之处，故被称之为自混合干涉（self-mixing interference）。
10、追溯激光自混合效应的起源，可以归属为激光器外部光反馈效应。由于光反馈作用的结果可严重的影响激光器的输出特性，所以在激光应用系统中，光反馈对系统的影响一直是备受关注的问题。人们总是试图消除光反馈的不利影响，因此研究者特别关注光反馈引起的光噪声1-2谱线展宽3-4和相干猝灭现象5-6等方面的研究，这些效应带给激光系统致命性的破坏。随着研究的深入，人们逐渐由消除光反馈的不利影响到主动利用光反馈现象进行物理量的测量，从而形成激光自混合干涉技术。1.2 激光自混合干涉技术各国研究现状1.2.1 以S.Donati为代表的意大利研究小组SDonati 是意大利Pavia 大学电子系的教授，早在1975年就
11、开始研究激光反馈干涉仪。1978年他利用背向散射效应，用He-Ne激光构成自准直仪23，之后，研究兴趣一直集中在外腔激光器，研究外部光场对激光器的影响24。近年来，其研究小组连续报道了他们的研究成果，1995年，首次研制出用于矢量位移测量的激光管反馈干涉仪25，该系统在一定反馈强度下，激光器处于双稳态，干涉信号包含位移信息，用硬件电路实现位移的自动测量和方向判别。1996年，结合个人计算机，考虑温度控制，用软件实现了位移的自动测量和方向辨识26。在以上研究基础上，1997年，该小组又报道了不同光反馈水平下位移重构的软件实现27。该研究小组一直未采用“自混合”术语，而是习惯称之为“单通道”或者“
12、光反馈”干涉仪。该研究小组对自混合干涉位移测量技术的发展，作出了巨大的贡献。1.2.2 以Gratten为代表的英国研究小组 Gratten 先生是英国City 大学，电子与信息工程系教授，1993年，其科研小组报道了光反馈型光纤耦合LDV，光纤的引入使自混合型LDV的信噪比大大提高28。自93年以来开始明确采用：“自混合”术语15。很快被国际同行接受并使用。其小组注重观察各种自混合干涉现象并加以利用，许多新的实验现象有该小组首先报道，如多模激光的自混合干涉效应、倾斜外腔的倍频现象29等。提出了独具特色的应用系统，如自混合干涉结构的波长合成系统，自混合干涉结构与微谐振器组合的光学微机械测量系统
13、30。为自混合干涉的机理探讨和应用研究做出了重要的贡献。第2章 激光自混合干涉效应基本理论及实验研究2.1 激光自混合干涉系统理论模型激光器的自混合即激光反馈效应，激光器输出光被外部物体反射或散射后，其中一部分光又被反馈，并耦合到内激光腔。重新注入的激光与激光腔内的光混合，引起输出功率和频率的变化，形成激光器的自混合效应。当被测物距离激光器的距离小于激光相干长度的一半时，自混合干涉系统可作为复合腔激光器，用三镜腔模型等效，等效图如图2.1图2.1 实验装置示意图这里忽略光在外腔中的多次反馈效应。激光器的发光频率，r1、r2是激光腔面M1、M2的幅值反射率，r3为外部反射镜M3的幅值反射率，t是
14、镜面M2由内腔到外腔的透射系数。2.2 激光自混合干涉现象定量观察2.2.1 实验装置图 2.8 半导体激光自混合干涉定量观察实验系统半导体激光自混合干涉定量分析系统的实验装置如图2.8。将图2.7中的He-Ne激光器换为一个半导体激光器，由半导体激光器中自带的PD对自混合干涉信号进行监测，无需外置PD。由于半导体激光器发光区几何尺寸的不对称。2.2.2 实验结果将图2.16和图2.17 中实验得到的自混合干涉条纹数和表1中的理论值相比较发现，实验条纹数和理论值基本符合，也就是从实验上验证了一个自混合干涉条纹对应与外腔/2移动，而自混合干涉条纹的倾斜情况则可以用来确定PZT的位移方向。表2.1
15、 理论计算得到的PZT运动一个周期内干涉条纹数 图2.12、 2.13振动幅度（p-p）（m）理论计算的条纹数（a）（b）（c）0.7m1.3m2m2.24.16.3第6章 结论量程和分辨率的提高是所有测量技术追求的共同目标，自混合干涉系统具有传统干涉系统所无法比拟的结构简单、紧凑、干涉信号含有方向信息等优势，但传统干涉技术由于其悠久的历史、在提高干涉相位测量精度方面积累了许多成熟的技术，相应如此，自混合干涉信号处理方法研究起步较晚，这方面有待于深入研究。为了提高自混合干涉的微位移测量精度，高精度的相位测量法被引入自混合干涉中，已见报道主要有两种方法：线性电流调制和外腔长度调制方法。注入电流调
16、制是半导体激光自混合干涉仪最常用的一种调制方法，通过改变半导体激光器的注入电流来调制单模激光器的输出频率。但电流调制以其固有的缺点，如温漂大、边模抑制比低、波长连续调制范围小等等，制约了其应用的范围。附录 A表A1 ELD63NT15型LD电气参数宋体小四号（英文用Times New Roman体小四号），行距20磅，段前段后0行参考文献1M. Fujiwara, K. Kubota and R. Long. Low-frequency intensity fluctuation in laser diode with external optical feedback. Appl. Phys
17、. Lett. , 1981,38（4）: 217-2202H. Yasaka, Y. Yoshikuni, H. Kawaguchi. FM noise and spectral line width reduction by incoherent optical negative feedback. IEEE. J. Q. E., 1991, 27（2）:193-2043L. Goldberg. Spectral characteristics of semiconductor laser with optical feedback. IEEE J. Q. E., 1982,18（6）:
18、555-5634T. Chartier, B. Mezine, F. Sanchez, et al. Optical feedback effects in Nd-doped fiber lasers with broadband spectra. Appl. Opt., 1996,35（12）: 2016-2022在读期间发表的学术论文及研究成果1.D. Guo, M. Wang and S. Tan, Self-mixing interferometer based on sinusoidal phase modulating technique. Optics Express，2005,
19、 13（5）: 1537-1543 （SCI&EI）2.D. Guo and M. Wang, Self-mixing interferometer based on temporal-carrier phase-shifting technique for micro-displacement reconstruction. Optics Communications，2006，263（1）: 91-97 （SCI&3.D.Guo and M.Wang, Self-mixing interferometry based on a double modulation technique for
20、 absolute distance measurement. Applied. Optics，2007, 46（9）: 1486-1491 （SCI& EI）4.郭冬梅，谈苏庆，王鸣，正弦相位调制自混合干涉微位移测量精度分析.光学学报, 2006，26（6）:845-850 （EI）5.D. Guo and M. Wang, A new self-mixing interferometer for micro-displacement reconstruction. Proc. of SPIE , 2006, 6341: 634123 （EI）致 谢宋体小四号，行距20磅，段前段后0行衷心感谢我的导师附：学位论文封面样页（论文一律用A4纸打印） 论 文 题 目年月日硕 士 学 位 论 文论文题目教 育 硕 士 专 业 学 位 论 文在 职 人 员 以 同 等 学 力 申 请 高 校“两 课”教 师 在 职 攻 读论 文 题 目高 校 教 师 在 职 攻 读
