1、超净车间各岗位操作标准超净车间各岗位操作标准编制人/日期:审核人/日期:批准人/日期:1 目的 明确超净车间操作人员的作业标准，确保清洗扩散工艺的稳定进行。 2 范围 本标准适用于超净车间的所有工作人员，适用于清洗、扩散工艺过程。 3 相关文件 无 4 定义 无 5 职责 为了使超净车间各工序操作能够按照标准化进行，明确规定了超净车间各岗的工艺操作权限。 5.1 普通员工 无权对任何工艺参数进行修改与调整。 5.2 操作员 5.2.1 在工艺工程师授权的情况下才能对设备的工艺参数进行调整，在未经工艺工程师授 权时不得更改、调节、删除任何设备的工艺参数。 5.2.2 协助班组长对自己所操作机器的
2、工艺参数进行监控，并填写司炉点检表。当发现工 艺参数发生变化或机台报警时应及时通知班组长，由班组长通知工艺值班工程师, 或者主操作直接通知工艺值班工程师。 5.2.3 出现任何异常，请详细记录于异常记录单，并及时通知班组长，根据异常情况通知 工艺或设备工程师。 5.2.4 司炉人员不可更改进出舟速度，一律采用正常工艺中的舟速。 5.3 班组长 5.3.1 班组长应该严格要求本组员工按工艺要求进行生产，对其操作进行监督，杜绝违反 工艺规定现象出现。 5.3.2 当工艺工程师不在现场，且扩散后硅片的方块电阻出现异常时，生产班组长可以对 扩散炉管源流量进行调节，并在工艺更改记录单上详细记录更改内容(
3、如不记录, 将视为误操作)。其他非工艺人员不可以对工艺进行更改。当对源流量进行微调无效 时，班组长应该通知工艺工程师进行处理。 5.3.3 班组长应该积极的配合工艺工程师完成各项实验。 5.3.4 协助工艺工程师对超净间的各种工艺进行监控，监督工艺质量，当发现工艺被修改 时应及时通知工艺工程师，并由工艺工程师进行确认处理。 5.3.6 任何部门借用机台，均需工艺、设备和生产部门确认后方可借用。交回后需由各相 关部门确认后方可恢复生产。 5.4 工艺工程师 5.4.1 保持超净车间的工艺稳定，保证超净车间生产的连续，当工艺出现重大波动且影响 到生产时，应该及时采取相应的解决措施。 5.4.1.1
4、 工艺工程师应该指导生产人员进行生产，保证生产的顺利进行; 5.4.1.2 当工艺工程师对工艺进行优化时，应事先与生产主管及工艺部主管讨论确 认方案的可行性，然后有条理的进行实验; 5.4.1.3 工艺工程师的实验在没有成熟时不得进行批量生产。 5.4.2 在进行各种实验时，为生产人员设定好各种工艺参数; 5.4.3 巡视超净车间各工艺情况，当发现工艺参数发生变化时，调查其原因然后进行相应 处理; 5.4.4 可以根据工艺需要对手工清洗处的溶液浓度暂时进行相应的微调，加大或减小清洗 液的浓度; 5.4.5 可以根据工艺需要对手工清洗时间进行相应调整; 5.4.6 可以根据需要对扩散炉的工艺参数
5、进行相应调整；并在工艺更改记录单上详细记录 更改内容和更改效果。 5.4.7 保证超净间各个工艺在规定的工艺参数(工艺卡)下进行，对设备的各工艺参数进 行定期复查，完成SPC相关工作; 5.4.8对超净车间常见工艺异常(方阻异常、烧焦、滴源等)进行记录并查找原因进行处 理; 5.4.9对本车间内制绒面绒面异常或有污染等与制绒相关异常情况反馈给制绒工艺工程 师；接受刻蚀工艺工程师反馈的工艺异常并帮助查找原因; 5.4.10详细填写工艺更改记录单，重大异常及时上报部门主管，收集相关数据，并做分析, 给出报告; 5.4.11 配合其他段工艺工程师完成各项实验和质量控制。 6 环境 无 7 职业安全
6、无 8 管理内容 8.2 扩散标准作业规范 8.2.1 扩散炉工艺 8.2.1.1 作业步骤 A.操作界面的打开: 扩散炉通电后触摸屏显示器同时将被打开，在触摸屏显示器上双击 “扩散炉监控程序”的图标，屏幕上将出现一对话框，在对话框内输 入用户名和密码后将进入“扩散炉监控程序”的主界面。 B.温度设置: 温度设定值可在触摸屏上直接修改或设定：点击温度控制器图形上的 SV设定栏，出现输入数据对话框，输入想要设定的温度，最后点击 “确定”按钮，该SV温度值将得到修改或设定。 C.流量设置: 在手动操作主界面的右上侧，有一个“流量控制”区域。在该区域可 小N2、大N2、干O2及清洗小N2流量可在触摸
7、屏上直接修改或设定: 点击流量控制器图形上的设定栏，出现输入数据对话框，输入想要设 定的流量，最后点击“确定”按钮，该流量值将得到修改或设定，同 时在检测值栏可以观察到气路流量的大小。 D.舟动作设置: 在主屏幕的中间，有一个“手动”。在推舟速度处设置适合的舟速值, 点“向前”、“向后”、“向上”、“向下”或“Stop”按钮，舟就会向炉 内前进、后退、向上、向下或停止移动。在手动操作屏的舟移动只需 设置舟速并选择相应按钮即可实现舟的自动作。 E.工艺编辑: 工艺编辑只需要依照界面上的显示依次序编辑，设置各步骤时间、温 度、气体流量等工艺参数。设置推舟的状态时，先设置推舟速度，按 工艺步骤要求点
8、击“放舟”、“取舟”、“停止”，编辑设置舟速，进出 炉时需设置为净化风机开，其他时候为关。 F.工艺运行: 点击手动操作屏“工艺运行”按钮，进入工艺运行选择所要运行的工 艺。第一步结束后，检查炉门是否关严；第四步通源时，检查源瓶是 否鼓泡；并定时检查温度及各项气体流量是否正常。 G.断点启动: 在手动操作屏中点击“工艺重置”按钮即进入断点信息屏，在该屏中 可察看发生断点时的各种工艺参数，点击启动断点运行将直接进入自 动运行屏，工艺运行屏继续运行原来停止时的工艺。 H.报警窗口: 报警窗口是显示报警信息的，当出现报警时，在报警状态一览表中会 显示所有报警信息，当报警信息不断闪动时，表示处于该报警
9、状态中; 当报警状态一览表中没有信息时，表示系统未出现该报警状态。 I.工艺曲线及数据历史纪录: 点击手动操作屏的“历史记录”按钮，进入打开历史纪录屏后，可自 行选择所需要的资料，包括手工运行和自动运行工艺两种。 J.事件记录: 在事件记录窗口下显示登陆、注销、操作、报警和错误的相关信息, 时常要查看相关记录。 K.用户设置: 点击手动操作屏中的“用户设置”按钮将显示用户管理窗体，在此窗 体中，我们可以修改自己的资料。 L.系统设置: 点击手动操作屏中“系统设置”按钮将显示更换用户窗体，在此窗体 中，可以分别对气路、温控仪通讯、推舟、压力传感器、设备保养及 源瓶和系统的进行设置。 M.退出程序
10、: 点击手动操作屏中“退出系统”按钮将显示程序退出确认屏，点击确 定按钮及结束控制程序的本次运行。 8.2.2 方阻测量 8.2.2.1 测试片的抽取方法 如图所示，每组需取6片测试片，前舟的舟前、舟中、和舟后各取一 片测试片，后舟的舟中和舟尾各取一片；且1F、4F取前舟的第三槽 F面一片,2F、5F分别取各舟的中间位置F面一片;3F、6F分别取 各舟的倒数第三个槽F面。测试片取好后，冷却2分钟后直接去量测。 8.2.2.2 方阻的量测 用镊子夹取测试片，按顺序测量，并记录于方阻记录表中。 8.2.2.3 注意事项 A.操作员准确记录每一炉产品的方阻和与之相对应的机台号。 B.如果产品出现异常
11、，并及时通知生产班长和工艺工程师。 8.2.3 扩散炉注意事项 8.2.3.1 扩散炉使用注意事项 A.由于本程序需要多种支撑软件才可正确执行，因此严禁删除计算机 内已经安装的各种软件。 B.程序退出后将关闭所有的阀门及流量，推舟停止运行，温控仪的各 个参数将保持。 C.若设备超过7天不需运行工艺时，需要降温并关闭主机电源以延长 计算机和板卡的使用寿命。 D.每班交接班前需先擦拭、清理干净机台外面的操作台面、舟叉等器 械。 E.PM周期：炉管的洗管周期为六个月，按具体洗管计划进行清洗。 F.七星扩散炉工控机每周重启一次。 8.2.3.2 扩散工艺过程注意事项 A.严格控制出炉时间，上下两个不能
12、同进同出，尽量避免交叉污染。 温馨推荐您可前往XX文库小程序享受更优阅读体验 不去了立即体验B.在废气室与无尘室的通风口处禁止停放小车和硅片。 C.任何金属物品不应接触石英器皿、器件。 D.禁止用舟叉对工控机界面进行操作。 E.各炉管有自己固定的石英舟，不得混用。 F.工作人员在搬运石英凳时，任何物品（除石英器件）不得接触石英 凳上表面。 G.超净间所用的石英用品应按时清洗（石英舟、凳每周清洗一次，每 周一完成清洗），且应保证清洗质量，工艺工程师应对清洗后的石英 用品进行检查，确认清洗效果。 H.禁止潮湿的硅片装舟进炉扩散。 I.高纯清洗处一定要保证硅片清洗干净（硅片表面无大片水滴黏附）， 不
13、干净的硅片不得进炉扩散，需重新清洗或先做氧化处理后（氧化时 间尽量在10分钟以内）再进炉扩散。 J.出炉时清理石英门及炉外接源小盒上的残余磷源，2次每班。 K. 出现任何异常，请详细填写异常记录单，以方便工艺工程师查找 原因。 L.新石英管需饱和24小时方可运行工艺，清洗过的石英管饱和16 个小时方可运行工艺；新石英舟需饱和1小时方可使用。 M. 恒温槽温度应保持在200.7，若超出该范围通知设备工程师 和工艺工程师及时处理。若由于是恒温槽内水脏引起报警，需及时换 水。 8.2.4 石英管清洗 8.2.4.1 炉管清洗操作规范 A.石英管清洗酸液配比：HF酸2瓶（每瓶4L），HCL酸2瓶（每瓶
14、 4L），加水至石英管放入酸槽后的半径高度。 B.清洗步骤：水洗10min + 酸洗15min + 水洗10min；清洗完毕后用 氮气枪将石英器件吹干，对于石英管可以先用无尘布将外壁表面的水 擦干，然后再用氮气枪将内壁吹干。 C.清洗注意事项：石英管清洗时要保证滚轴的转动，当管内有碎屑时 需要用水枪将碎屑冲出；保温桶清洗前要用塞子将上面的小孔塞住， 以避免水将保温棉浸湿，清洗时要保证清洗充分。 D.清洗不净的处理：当炉管的石英器件受到污染时，按照正常的清洗 流程可能清洗不净；因此对于受污染的石英器件，可以通过加大酸的 浓度和加长清洗时间来加强清洗效果。对于无法清洗干净的石英器 件，需要报废并更
15、换新的石英件。 8.2.4.2 洗管后注意事项 A.确认炉管安装是否正确，包括氮化硅桨的水平、高度和角度是否正 确，进气口的位置是否在正中央。 B.确认保温桶、匀流板的摆放位置，以及恒温区的位置是否正确。 C.重新拉恒温区后，记录拉恒温区前后repair值。 D.做16小时饱和后，第一组硅片须测完电阻正常后，方可将机台交 付生产。 8.2.5 石英舟（包括石英凳）清洗流程 8.2.5.1 石英舟（包括石英凳）清洗操作规范 A.石英舟（包括石英凳）清洗酸液配比：HCL 3瓶（每瓶4L ）HF 1 瓶（每瓶4L ），加水至淹没石英舟即可。 B.清洗步骤：水洗5min + 酸洗5min + 水洗5m
16、in ；清洗完毕后用氮 气枪将石英舟（包括石英凳）吹干，再放入烘干箱内烘干即可。 C.清洗注意事项：清洗过程中不可以用手直接接触石英舟。 D.清洗不净的处理：当石英舟（包括石英凳）受到污染时，按照正常 的清洗流程可能清洗不净；因此对于受污染的石英舟（包括石英凳）， 可以通过加大酸的浓度和加长清洗时间来加强清洗效果。对于无法清 洗干净的石英舟（包括石英凳），需要报废并更换新石英舟。 8.2.5.2 石英舟（包括石英凳）清洗周期 每周一清洗。 8.2.5.3 石英器件报废标准 (九) (一)(五)(十)(九)(八) (七)(六)(四)(三)(二)(十一)(十三) (十二) （一）腐蚀较大 （二）腐
17、蚀较大 （三）发红报废 （四）发红报废 （五）损坏报废 （六）损坏报废 （八）严重发红报废 （九）严重发红报废 （七）损坏报废 （十二）发红报废 （十三）轻微发红 （十一）直接报废 （十）直接报废 8.2.6 扩散炉复机流程 8.2.6.1 石英管清洗复机流程 注：新石英管饱和时间为24小时。 8.2.6.2 停机停电复机流程 停机停电复机时，饱和时间根据停机时间长短来定，具体时间如下表： 8.2.6.3 停机不停电复机时，复机饱和时间如下表： 8.3 超净车间质量监控及异常处理程序 8.3.2 扩散工艺完成后硅片的方块电阻异常 8.3.2.1 规格定义 HR片的目标方阻为60，SPEC要求：
18、60单组Rs66，58单片Rs68，53单点Rs73。 8.3.2.2 异常定义： OOS：一点或多于一点阻值超出SPEC范围。 OOC：单组、单片或单点超出CL范围，但单点在SPEC范围内。 8.3.2.3 评审报告流程 A.出现方块电阻OOS时，质检人员应及时通知班组长或当班工艺工程 师进行处理和调节，将电阻异常超出下限3/或超出上限1/ 的超标时附实验单下传，追踪效率，将超出该范围的超标片转为处理 片，集中处理。 B.出现方块电阻OOC时，质检人员应及时通知当班组长和工艺工程 师，及时进行调整，无需转处理片。 C.方阻异常片处理流程（非偏轻片）： D.方阻异常片处理流程（偏轻片）： 高出
19、上限11/ E.补扩散规则 当清洗干净后，每50片抽测3片测试电阻，单晶V02工艺：当方阻 在58-70之间时，第四步为10分钟，第五步为10分钟，在71-80 欧姆之间第四步为20分钟，第五步同上，在81-100欧姆之间时，第 四步为30分钟，第五步同上。当电阻大于100欧姆时，重新扩散， 扩散完后，进行电阻测试，电阻异常时通知工艺工程师。 8.3.3 扩散后的硅片上出现残余磷源或烧焦 8.3.3.1 异常表现，见下图（图2） 8.3.3.2 异常定义 A.首先判断烧焦片的严重程度，如果烧焦程度严重，无论是正面还是 背面一律不得下传。 B.面积较小的烧焦片，观察烧焦部位的颜色，如果颜色为浅黑
20、色，则 可以下传，颜色为深黑色则不得下传。 C.当烧焦片颜色较深的部分距硅片边缘不到1mm时，则可以直接下 传，若大于1mm时则不得直接下传。 D.轻微烧焦片：当烧焦片颜色较深的部分距边缘大于1mm小于3mm， 或烧焦片麻点数量不超过10个的烧焦片可暂存车间，集中整组附实 验单下传。 8.3.3.3 评审报告流程 A.如果出现烧焦10片以下/组时，操作人员应详细记录异常记录单， 如果出现烧焦10片以上/组或滴源片时，操作人员应详细记录异常记 录单，并及时通知当班工艺工程师。 B.出现烧焦片，由卸舟员工分为严重烧焦和轻微烧焦片，暂存车间； 严重烧焦片需转处理片，集中处理；轻微烧焦片可暂存车间，集
21、中附 实验单下传。 8.3.3.4 滴源和烧焦片处理流程 8.3.3.5 滴源或烧焦片制绒后返回超净车间，若扩散后再次出现严重烧焦， 需做报废处理。 8.3.4 扩散反片处理流程 8.3.4.1 卸舟时发现扩散反片时，操作人员应将其挑出，转处理片后集中处 理。 8.3.4.2 扩散反片处理流程 8.3.5 变形及裂痕片处理流程 8.3.5.1出现变形及裂痕片时，操作员应立即通知班组长和质量工程师。 8.3.5.2 评审及处理程序：报废 8.3.6 返工片处理注意事项 A.明确标注硅片的正反面，不能混淆。 B.烘干及装舟岗位要保证硅片烘干后再进炉。 C.确保进入炉管的硅片全部是清洁，干净的。 8
22、.3.7 返工处理片命名规则 A. 处理片统一用流程单号区分； B. 流程单号编码如下： NA XXXXXX XX XXX-X 4、硅片类型代码 、序列代码 、工序代码 、日期代码 NA：所有处理片统一命名片源为NA 1:XXXXXX日期代码：例：2010年5月10日处理的返工片为100510。 2:XX工序代码：制绒车间返工片为ZR，超净车间为CJ，K+P车间为KP，印刷车间为YS。 3:XXX序列代码：当天当段返工的第几组，如当天当段返工的第2组为002。 4：硅片类型代码：单晶为S，多晶为M。 例如： 2010年5月10日超净段返工的第一组125SL的单晶片编码为：NA100510CJ0
23、01-L。 8.3.8 超净车间停机机制 8.3.8.1 停机条件 8.3.8.2 停机流程 8.3.8.3 设备叫停 正常生产过程中设备出现异常，无法正常生产，需由生产人员报修给 设备并填写报修单，设备叫停，维修。设备叫停期间未经允许生产不 得使用。 8.4 超净车间工作要求 8.4.1 工作着装要求 A.进入超净车间的工作人员必须配戴：连体工作服、防静电工作鞋。 B.穿衣时，不要使衣服触及地板，不要玷污袖子和裤腿，头发禁止外露，留长 发的员工最好用发夹将前额头发夹住。 C.戴好口罩（不含活性炭无尘口罩），口罩应该戴在鼻梁以上，并轻捏铝条，使其 贴合鼻梁，工作期间禁止把口罩拉下。 D.戴好P
24、VC手套，勿将腕部裸露出来，戴上手套后，尽可能避免触及不洁净的东 西，包括自己的身体，一旦破损，要立即更换。 E. 进入超净间的人员严禁化浓妆。 F.员工自己的工作服、防静电鞋等须由专人管理，并定期做清洗；洁净衣置放 所必须在洁净室，备用品或新品存放在柜内。 G.进入废气室的人员，须佩带好3M防酸口罩外加防毒面具再进行作业。 8.4.2 卫生要求 A.进洁净室之前要进行风淋，一般风淋时间为20秒，不得随意更改风淋时间。 B.超净间内各工序的工作台要在接班时用IPA擦干净，不得在工作台上放本子、 日报表及与工作无关的物品。 C.进入洁净室的物料应在运入洁净室之前进行清洗和（或）必要的净化处理，
25、如是酸瓶等，需以无尘布加以擦拭掉表面灰尘等，以减少物料在洁净室内的发尘量。 D.为防止在洁净室内微粒子的沉积，在洁净室工作前或工作后必须进行清扫。 同时为了防止交叉污染，清扫洁净室的工具均应按产品特点、工序要求、空气洁净度等级的不同分别专用。 E.进入洁净室的办公用具如纸张文具、电脑、桌椅、笔记本、吸尘器等也应在 进入洁净室前进行净化处理。 F.定期对洁净室进行清扫，对洁净室内部的清扫，一般不允许使用扫帚和拖布 进行，而且严禁使用洗衣粉等，可采用分散或集中式真空扫除的方法进行。若不具备上述清扫条件时，也可采用不掉纤维的材料如丝光毛巾、尼龙布等进行擦拭，一般每天两到三次，一般每周进行1次大扫除。
26、在清扫时要特别注意设备死角。 G.操作人员应及时清理炉子上残余的磷源，每班两次。 8.4.3 作业要求 A.洁净室内人员密度不宜过大，作业人员在洁净室内工作时，动作要轻，严格 执行操作规程，不允许跑跳、打闹，不做不必要的动作。 B.任何物体（包括人的手臂、头等）不得从清洗过或装好舟的硅片上方穿越。 C.操作人员在搬运清洗过的硅片时，每次只能搬运一篮（无论大小篮），手套或 衣袖不得接触硅片。 D.载片篮装在小车上时，不得接触小车的金属杆。 E. 流程单不得直接放在小车或工作台上，应该挂在小车或工作台旁边的挂钩上 面。 F.禁止各工序之间混用镊子等工具，各工序所用的镊子应每班清洗一次。 G.制绒车
27、间与超净车间传递窗，超净车间与刻蚀车间传递窗，不得两边同时打 开。 H.禁止使用缺角挡片，挡片应为刻蚀工序前硅片，挡片每4小时清洗一次。 I. 用于吸水的吸尘器头部的管子要每周在7%的HCL中浸泡10分钟，管子与载 片篮接触的地方不得缠胶带等物品。吸尘器在不用时管子头部要保持洁净，不得与其他物品接触。在对花篮吸水时管子不得接触硅片。 J.进出超净间的门不能长时间开着，更不能开着门里外的人交谈。 K.PVC手套禁止重复使用（PVC手套的管控）。 8.4.4 洁净度标准 A.间洁净度标准 B.每天测试两次；测试点离墙或者阻隔物为1.5 M，高度1.2M；测试时间1min。 C. 标准参照GB/T 16292。 D.上表为复机时洁净度标准，不达标区域不能开始生产。 E.正常生产时（标准？），不达标区域应停止生产，打扫卫生直至洁净度达标。 9 客户特殊要求 无 10 记录 10.1 记录清单 超净工艺点检表 质检岗位异常记录单 卸舟岗位烧焦片异常记录单 司炉岗位点检表 10.2 保留时间 超净工艺点检表由工艺部保留一年。 质检岗位异常记录单由质量部保留一年。 卸舟岗位烧焦片异常记录单与司炉岗位点检表由生产部保留一年。 11 附件 无
