1、第四章第四章 定性分析和谱图诠释定性分析和谱图诠释lXPS和和AES的表面灵敏特性，再加上非结的表面灵敏特性，再加上非结构破坏性测试能力和可获得化学态信息的构破坏性测试能力和可获得化学态信息的能力，使其成为表面分析的极有力工具。能力，使其成为表面分析的极有力工具。l定性分析主要是鉴定物质的元素组成及其定性分析主要是鉴定物质的元素组成及其化学状态。化学状态。lXPSXPS还可以进行官能团分析和混合物分析。还可以进行官能团分析和混合物分析。lXPSXPS定性分析的相对灵敏度约为定性分析的相对灵敏度约为0.1%0.1%。一、电子能谱图的一般特性一、电子能谱图的一般特性l在在XPSXPS谱图中可观察到
2、几种类型的谱峰。谱图中可观察到几种类型的谱峰。l一部分是基本的并总可观察到一部分是基本的并总可观察到初级结构初级结构 l另一些依赖于样品的物理和化学性质另一些依赖于样品的物理和化学性质次级结构次级结构l光电发射过程常被设想为三步（三步模型）：光电发射过程常被设想为三步（三步模型）：l光吸收和电离（初态效应）；光吸收和电离（初态效应）；l原子响应和光电子发射（终态效应）；原子响应和光电子发射（终态效应）；l电子向表面输运并逸出（外禀损失）。电子向表面输运并逸出（外禀损失）。l所有这些过程都对所有这些过程都对XPS谱的结构有贡献。谱的结构有贡献。1、XPS谱图的初级结构谱图的初级结构(1).光电子
3、谱线光电子谱线(photoelectron lines)l由于由于X X射线激发源的光子能量较高，可以同时激发出多个射线激发源的光子能量较高，可以同时激发出多个原子轨道的光电子，因此在原子轨道的光电子，因此在XPSXPS谱图上会出现多组谱峰。谱图上会出现多组谱峰。由于大部分元素都可以激发出多组光电子峰，因此可以利由于大部分元素都可以激发出多组光电子峰，因此可以利用这些峰排除能量相近峰的干扰，非常有利于元素的定性用这些峰排除能量相近峰的干扰，非常有利于元素的定性标定。标定。l最强的光电子线最强的光电子线是谱图中强度最大、峰宽最小、对称性最是谱图中强度最大、峰宽最小、对称性最好的谱峰，称为好的谱峰
4、，称为XPSXPS的的主谱线主谱线。每一种元素都有自己的具每一种元素都有自己的具有表征作用的光电子线。它是元素定性分析的主要依据有表征作用的光电子线。它是元素定性分析的主要依据。l光电子峰的标记光电子峰的标记:以光电子发射的元素和轨道来标记，如以光电子发射的元素和轨道来标记，如lC1s，Ag3d5/2等l此外，由于相近原子序数的元素激发出的光电子的结合能此外，由于相近原子序数的元素激发出的光电子的结合能有较大的差异，因此相邻元素间的干扰作用很小。有较大的差异，因此相邻元素间的干扰作用很小。峰位置峰位置(结合能结合能)。与元素及其能级轨道和化学态有关。与元素及其能级轨道和化学态有关。峰强度峰强度
5、。与元素在表面的浓度和原子灵敏度因子成正比。与元素在表面的浓度和原子灵敏度因子成正比。对称性对称性。金属中的峰不对称性是由金属。金属中的峰不对称性是由金属E EF F附近小能量电附近小能量电子子-空穴激发引起，即价带电子向导带未占据态跃迁。空穴激发引起，即价带电子向导带未占据态跃迁。不对称度正比于费米能级附近的电子态密度。不对称度正比于费米能级附近的电子态密度。峰宽峰宽(FWHM)光电子线的谱线宽度来自于样品元素本质信光电子线的谱线宽度来自于样品元素本质信号的自然宽度、号的自然宽度、X X射线源的自然线宽、仪器以及样品自射线源的自然线宽、仪器以及样品自身状况的宽化因素等四个方面的贡献。身状况的
6、宽化因素等四个方面的贡献。一般峰宽值在一般峰宽值在0.82.2 eV0.82.2 eV之间。之间。光电子谱线光电子谱线lXPS谱显示出一特征的阶梯状本底，光电发射峰的高谱显示出一特征的阶梯状本底，光电发射峰的高结合能端本底总是比低结合能端的高。这是由于体相结合能端本底总是比低结合能端的高。这是由于体相深处发生的非弹性散射过程（外禀损失）造成的。深处发生的非弹性散射过程（外禀损失）造成的。(2).非弹性本底非弹性本底平均来说，只有靠近表面的平均来说，只有靠近表面的电子才能无能量损失地逸出，电子才能无能量损失地逸出，分布在表面中较深处的电子分布在表面中较深处的电子将损失能量并以减小的动能将损失能量
7、并以减小的动能或增大的结合能的面貌出现，或增大的结合能的面貌出现，在表面下非常深的电子将损在表面下非常深的电子将损失所有能量而不能逸出。失所有能量而不能逸出。(3).俄歇电子谱线俄歇电子谱线(Auger lines)l由弛豫过程中由弛豫过程中(芯能级存芯能级存在空穴后在空穴后)原子的剩余能原子的剩余能量产生。它总是伴随着量产生。它总是伴随着XPS，具有比光电发射，具有比光电发射峰更宽和更为复杂的结峰更宽和更为复杂的结构，其动能与入射光子构，其动能与入射光子的能量的能量h 无关。无关。l在在XPS中，可以观察到中，可以观察到KLL,LMM,MNN和和NOO四个系列的四个系列的俄歇俄歇线。线。l俄
8、歇电子峰多以俄歇电子峰多以谱线群谱线群的形式出现。的形式出现。(4).自旋自旋-轨道分裂轨道分裂(SOS)l自旋自旋-轨道分裂是一初态效应。对轨道分裂是一初态效应。对于具有轨道角动量的轨道电子，于具有轨道角动量的轨道电子，将会发生自旋将会发生自旋(s)磁场与轨道角动磁场与轨道角动量量(l)的耦合。总角动量的耦合。总角动量 j=l s。对每个对每个j值自旋值自旋-轨道分裂能级的简轨道分裂能级的简并度并度=2j+1。ls 轨道无自旋轨道无自旋-轨道分裂轨道分裂 XPS中单中单峰峰lp,d,f 轨道是自旋轨道是自旋-轨道分裂的轨道分裂的 XPS中双峰中双峰l双峰中低双峰中低j值的结合能值的结合能EB
9、较高较高(EB 2p1/2 EB 2p3/2)l自旋自旋-轨道分裂的大小随轨道分裂的大小随Z增加增加l自旋自旋-轨道分裂的大小随与核的距轨道分裂的大小随与核的距离增加离增加(核屏蔽增加核屏蔽增加)而减小而减小(5).价带谱结构价带谱结构l两个以上的原子以电子云重叠的方式两个以上的原子以电子云重叠的方式形成化合物，根据量子化学计算结果形成化合物，根据量子化学计算结果表明，各原子内层电子几乎仍保持在表明，各原子内层电子几乎仍保持在它们原来的原子轨道上运行，只有价它们原来的原子轨道上运行，只有价电子才形成有效的分子轨道而属于整电子才形成有效的分子轨道而属于整个分子。正因如此，不少元素的原子个分子。正
10、因如此，不少元素的原子在它们处在不同化合物分子中时的在它们处在不同化合物分子中时的X-X-射线内层光电子的结合能值并没有什射线内层光电子的结合能值并没有什么区别，在这种场合下研究内层光电么区别，在这种场合下研究内层光电子线的化学位移便显得毫无用处，如子线的化学位移便显得毫无用处，如果观测它们的价电子谱，有可能根据果观测它们的价电子谱，有可能根据价电子线的结合能的变化和价电子线价电子线的结合能的变化和价电子线的峰形变化的规律来判断该元素在不的峰形变化的规律来判断该元素在不同化合物分子中的化学状态及有关的同化合物分子中的化学状态及有关的分子结构。分子结构。l价电子谱线对有机物的价键结构很敏感，其价
11、电子谱往价电子谱线对有机物的价键结构很敏感，其价电子谱往往成为有机聚合物唯一特征的指纹谱，具有表征聚合物往成为有机聚合物唯一特征的指纹谱，具有表征聚合物材料分子结构的作用。材料分子结构的作用。l目前用目前用XPSXPS研究聚合物材料的价电子线，以期得到这类研究聚合物材料的价电子线，以期得到这类材料的分子结构的信息的工作已得到了相当的发展。材料的分子结构的信息的工作已得到了相当的发展。l价带谱的结构和特征直接与分子轨道能级次序、成键性价带谱的结构和特征直接与分子轨道能级次序、成键性质有关。因此对分析分子的电子结构是非常有用的一种质有关。因此对分析分子的电子结构是非常有用的一种技术。技术。l从价带
12、谱结构分析材料的能带结构，需要对材料的能带从价带谱结构分析材料的能带结构，需要对材料的能带结构进行一定的模型理论计算，以和实验得到的价带谱结构进行一定的模型理论计算，以和实验得到的价带谱结果进行比较来进行。一般情况下理论计算工作是十分结果进行比较来进行。一般情况下理论计算工作是十分复杂和困难的，因此，在通常的研究中我们主要比较价复杂和困难的，因此，在通常的研究中我们主要比较价带谱的结构来进行唯象的分析。带谱的结构来进行唯象的分析。2、XPS谱图的次级结构谱图的次级结构(1).X射线卫星峰射线卫星峰(X-ray satellites)l常规常规X射线源是非单色的。射线源是非单色的。l为观察为观察
13、XPS中的锐光电发射线，中的锐光电发射线，X射射线源必须是单色的。基于线源必须是单色的。基于X射线荧光射线荧光源的源的X射线发射：射线发射：2p3/21s和和2p1/21s跃迁产生软跃迁产生软X射线射线K 1,2辐辐射射(不可分辨的双线不可分辨的双线)l在双电离的在双电离的Mg或或Al中的同一跃迁产中的同一跃迁产生生K 3,4线，其光子能量线，其光子能量h 比比K 1,2约高约高9 10 eV。l3p1s跃迁产生跃迁产生K X射线。射线。(2).震激谱线震激谱线(shake-up lines)l震激特征在与顺磁物质关联的过渡震激特征在与顺磁物质关联的过渡金属氧化物中是十分普遍的。常出金属氧化物
14、中是十分普遍的。常出现在具有未充满的现在具有未充满的d或或f价轨道的过渡价轨道的过渡金属化合物和稀土化合物中。金属化合物和稀土化合物中。l某些具有共轭某些具有共轭 电子体系的化合物。电子体系的化合物。l有机物中碳的有机物中碳的C 1s震激峰震激峰(*)与与芳香或不饱和结构相关。出现在比芳香或不饱和结构相关。出现在比主峰结合能约高主峰结合能约高6.7 eV的位置处的位置处。(3).多重分裂多重分裂(multiplet splitting)l偶尔会看到偶尔会看到s轨道的分裂。与价壳层中存在未配对电子相关。轨道的分裂。与价壳层中存在未配对电子相关。l这种现象普遍发生在过渡元素及其化合物里，其裂分的距
15、离往往是对元素的这种现象普遍发生在过渡元素及其化合物里，其裂分的距离往往是对元素的化学状态的表征。根据谱线是否劈裂，裂分的距离有多大，再结合谱线能化学状态的表征。根据谱线是否劈裂，裂分的距离有多大，再结合谱线能量的位移和峰形的变化，常常能准确地确定一元素的化学状态。由于裂分量的位移和峰形的变化，常常能准确地确定一元素的化学状态。由于裂分距离与荷电无关，这对绝缘样品的分析尤其有利。距离与荷电无关，这对绝缘样品的分析尤其有利。l在很多例子中耦合效应被震激效应掩盖和干扰，所以在化学状态分析中，从在很多例子中耦合效应被震激效应掩盖和干扰，所以在化学状态分析中，从谱线裂分所获得的信息必须与其他信息相结合
16、，才能作出可靠的判断。谱线裂分所获得的信息必须与其他信息相结合，才能作出可靠的判断。MnF2的的Mn3s电子的电子的XPS谱谱(4).能量损失谱线能量损失谱线(energy loss lines)对对于于某某些些材材料料，光光电电子子在在离离开开样样品品表表面面的的过过程程中中，可可能能与与表表面面的的其其它它电电子子相相互互作作用用而而损损失失一一定定的的能能量量，而而在在XPSXPS低低动动能能侧侧出出现现一一些些伴伴峰峰，即即能量损失峰。能量损失峰。任任何何具具有有足足够够能能量量的的电电子子通通过过固固体体时时，可可以以引引起起固固体体中中自自由由电电子子的的集集体体振振荡荡。因因材材
17、料料的的不不同同，这这种种集集体体振振荡荡的的特特征征频频率率也也不不同同，故故而而所所需需要要的的激激发发能能亦亦因因之之而而异异。体体相相等等离离子子体体激激元元震震荡荡基基频频为为 b b，其其能能量量损损失失是是量量子子化化的的(b b)。如如受受到到多多次次损损失失，在在谱谱图图上上将将呈呈现现一一系系列列等等间间距距的峰，强度逐渐减弱。的峰，强度逐渐减弱。3、AES谱图的性质谱图的性质 lAES谱的表示：（谱的表示：（Fe LMM）AES的直接谱图：的直接谱图：AES的微分谱图：的微分谱图：二、定性分析二、定性分析 lXPS和和AES的表面灵敏特性，再加上非结构破坏性测试的表面灵敏
18、特性，再加上非结构破坏性测试能力和可获得化学态信息的能力，使其成为表面分析的能力和可获得化学态信息的能力，使其成为表面分析的极有力工具。极有力工具。l由于由于XPS谱能提供材料表面丰富的物理、化学信息，所谱能提供材料表面丰富的物理、化学信息，所以它在凝聚态物理学、电子结构的基本研究、薄膜分析、以它在凝聚态物理学、电子结构的基本研究、薄膜分析、半导体研究和技术、分凝和表面迁移研究、分子吸附和半导体研究和技术、分凝和表面迁移研究、分子吸附和脱附研究、化学研究（化学态分析）、电子结构和化学脱附研究、化学研究（化学态分析）、电子结构和化学键（分子结构）研究、异相催化、腐蚀和钝化研究、分键（分子结构）研
19、究、异相催化、腐蚀和钝化研究、分子生物学、材料科学、环境生态学等学科领域都有广泛子生物学、材料科学、环境生态学等学科领域都有广泛应用。它可提供的信息有样品的组分、化学态、表面吸应用。它可提供的信息有样品的组分、化学态、表面吸附、表面态、表面价电子结构、原子和分子的化学结构、附、表面态、表面价电子结构、原子和分子的化学结构、化学键合情况等。化学键合情况等。1、元素组成鉴别、元素组成鉴别 l目的目的：给出表面元素组成、鉴别某特定元素的存：给出表面元素组成、鉴别某特定元素的存在性。在性。l方法方法：通过测定谱中不同元素芯光电子峰的结合：通过测定谱中不同元素芯光电子峰的结合能直接进行。将实验谱图与标准
20、谱图相对照，根能直接进行。将实验谱图与标准谱图相对照，根据元素特征峰位置（及其化学位移）确定样品中据元素特征峰位置（及其化学位移）确定样品中存在哪些元素（及这些元素的化学态）。存在哪些元素（及这些元素的化学态）。l依据依据：元素定性的主要依据是组成元素的光电子：元素定性的主要依据是组成元素的光电子线和俄歇线的特征能量值，因为每种元素都有唯线和俄歇线的特征能量值，因为每种元素都有唯一的一套芯能级，其结合能可用作元素的指纹。一的一套芯能级，其结合能可用作元素的指纹。l工具工具：XPS标准谱图手册和数据库标准谱图手册和数据库Au、Cr、Mg的轨道列表的轨道列表：l如果谱图中有这些相同能量的峰出现，如
21、果谱图中有这些相同能量的峰出现，则可能含有该元素则可能含有该元素!1.1、全扫描谱、全扫描谱(Survey scan)l 对于一个化学成分未知的样品，首先应作全谱扫描，以初步判定表面的化学对于一个化学成分未知的样品，首先应作全谱扫描，以初步判定表面的化学成分。在作成分。在作XPSXPS分析时，全谱能量扫描范围一般取分析时，全谱能量扫描范围一般取0 0 1200eV1200eV，因为几乎所有元，因为几乎所有元素的最强峰都在这一范围之内。素的最强峰都在这一范围之内。l通过对样品的全谱扫描，在一次测量中我们就可检出全部或大部分元素。由通过对样品的全谱扫描，在一次测量中我们就可检出全部或大部分元素。由
22、于各种元素都有其特征的电子结合能，因此在能谱中有它们各自对应的特征于各种元素都有其特征的电子结合能，因此在能谱中有它们各自对应的特征谱线。所以可根据这些谱线在能谱图中的位置即可鉴定元素种类。谱线。所以可根据这些谱线在能谱图中的位置即可鉴定元素种类。l一般解析步骤：一般解析步骤：因因C,O是经常出现的，所以首先识别是经常出现的，所以首先识别C,O的光电子谱线，的光电子谱线，Auger线及属于线及属于C,O的的其他类型的谱线其他类型的谱线；其次鉴别样品中主要元素的强谱线和有关的次强谱线，其次鉴别样品中主要元素的强谱线和有关的次强谱线，利用利用X射线光电子谱手册射线光电子谱手册中的各元素的峰位表确定
23、其他强峰中的各元素的峰位表确定其他强峰对应的元素对应的元素，并标出其相关峰，注意有些元素，并标出其相关峰，注意有些元素的的个别个别峰可能相互干扰或重叠峰可能相互干扰或重叠；最后鉴别剩余的弱谱线，假设它们是最后鉴别剩余的弱谱线，假设它们是含量低的含量低的未知未知元素的主峰元素的主峰（最强谱线）；（最强谱线）；对于对于 p，d，f 谱线的鉴别应注意它们一般应为自旋双线结构，谱线的鉴别应注意它们一般应为自旋双线结构，其双峰间距及峰高其双峰间距及峰高比一般为一定值比一般为一定值（有助于识别元素）（有助于识别元素）。p峰的强度比为峰的强度比为1:2；d线为线为2:3；f线为线为3:4。光电子谱图光电子谱
24、图Cu 2pO KLL AugerO 1sN 1sC 1sCu LMM AugerCu 3pCu 3sCl 2p1.2、高分辨谱、高分辨谱(Narrow scan or Detail scan)l对感兴趣的几个元素的峰，可进行窄区域高分辨细扫描。目的是为对感兴趣的几个元素的峰，可进行窄区域高分辨细扫描。目的是为了获取更加精确的信息，如结合能的准确位置，鉴定元素的化学状了获取更加精确的信息，如结合能的准确位置，鉴定元素的化学状态，或为了获取精确的线形，或者为了定量分析获得更为精确的计态，或为了获取精确的线形，或者为了定量分析获得更为精确的计数，或为了扣除本底或峰的分解或退卷积等数学处理。数，或为
25、了扣除本底或峰的分解或退卷积等数学处理。氟处理的聚合物氟处理的聚合物IdentificationlSurvey of In foil with B crystallPeak Table01000020000300004000050000600007000080000010020030040050060070080090010001100Counts/sBinding Energy(eV)In MNNO KLLIn 3sIn 3p3O 1sIn 3dC 1sAr 2pB 1sSi 2s Si 2p2、化学态分析、化学态分析 l化合态的分析是化合态的分析是XPSXPS的最主要的应用之一。识别化的最
26、主要的应用之一。识别化合态的主要方法就是测量合态的主要方法就是测量X X射线光电子谱的峰位的射线光电子谱的峰位的化学位移。化学位移。l依据依据：化学位移和各种终态效应以及价电子能带化学位移和各种终态效应以及价电子能带结构等。化学位移的信息是元素状态分析与相关结构等。化学位移的信息是元素状态分析与相关的结构分析的主要依据的结构分析的主要依据。元元素素化化学学状状态态的的变变化化有有时时还还将将引引起起谱谱峰峰半半峰峰高高宽宽的变化。的变化。化化学学态态的的分分析析主主要要依依赖赖谱谱线线能能量量的的精精确确测测定定。对对绝缘样品应进行精确的静电荷电校正。绝缘样品应进行精确的静电荷电校正。2.1、
27、化学位移分析、化学位移分析u化学位移与原子上的总电荷有关（价电荷减少化学位移与原子上的总电荷有关（价电荷减少结合能结合能E EB B增加）增加）l取代物的数目取代物的数目l取代物的电负性取代物的电负性l形式氧化态形式氧化态除少数元素化学位移较小外，大部分元素的单质态、氧化除少数元素化学位移较小外，大部分元素的单质态、氧化态与还原态之间都有明显的化学位移。如态与还原态之间都有明显的化学位移。如C1sC1s：TiC(281.7eV)TiC(281.7eV)，石墨，石墨(284.5eV)(284.5eV)，碳酸盐，碳酸盐(290eV)290eV)。因而因而XPSXPS常被用来作氧化态的测定和价态分析
28、以及研究成常被用来作氧化态的测定和价态分析以及研究成键形式和分子结构。化学位移信息对官能团、分子化学环键形式和分子结构。化学位移信息对官能团、分子化学环境和氧化态分析是非常有力的工具。境和氧化态分析是非常有力的工具。XPSXPS光电子谱线的位移还可用来区别分子中非等效位置的光电子谱线的位移还可用来区别分子中非等效位置的原子。在有机化合物的结构分析上较之原子。在有机化合物的结构分析上较之NMRNMR更优越的是可更优越的是可分析除分析除H H、HeHe以外的全周期表元素。以外的全周期表元素。2.1、化学位移分析、化学位移分析Ti及及TiO2中中2p3/2峰的峰位及峰的峰位及2p1/2和和2p3/2
29、之间的距离之间的距离p 化学环境的变化将使一些元素的光电子谱双峰间的距离发生变化，化学环境的变化将使一些元素的光电子谱双峰间的距离发生变化，这也是判定化学状态的重要依据之一这也是判定化学状态的重要依据之一。Ag 3d5/2 Detail ScanPET化学态信息化学态信息l电子结合能受紧邻原子的影响电子结合能受紧邻原子的影响l成键原子会从其紧邻原子得到或失去电子成键原子会从其紧邻原子得到或失去电子l如果原子失去电子如果原子失去电子,则剩余电子的结合能将增加则剩余电子的结合能将增加l这将引起测量到的峰位发生移动这将引起测量到的峰位发生移动l某些元素有比其它元素更强的效应某些元素有比其它元素更强的
30、效应l对于具有几个不同成键情形的元素，谱图中就会存在多重峰对于具有几个不同成键情形的元素，谱图中就会存在多重峰化学态信息化学态信息l简单例子：铝箔，简单例子：铝箔，Al2p 峰峰lAl 在表面形成一层氧化物在表面形成一层氧化物l氧从铝中获取电子氧从铝中获取电子l所以与金属相比，氧化物中所以与金属相比，氧化物中 Al2p 峰结合能增加峰结合能增加l金属和氧化物的化学态在金属和氧化物的化学态在XPS中可以区别开中可以区别开0100020003000400050006000656667686970717273747576777879808182838485Counts/sBinding Energy
31、(eV)Al MetalAl Oxide化学态信息化学态信息l复杂例子：聚合物，复杂例子：聚合物，C1s 峰峰l聚合物主要是碳链，再加上氧、氟、氯等聚合物主要是碳链，再加上氧、氟、氯等lF 和和 Cl 从碳原子获取电子从碳原子获取电子lF 比比 Cl 有更强的效应有更强的效应l所以所以 C1s 峰结合能有不同程度的增加峰结合能有不同程度的增加l许多不同的化学态可以在许多不同的化学态可以在XPS中区别开中区别开l为解决重叠谱峰需要进行谱峰拟合为解决重叠谱峰需要进行谱峰拟合010002000300040005000276278280282284286288290292294296298300Cou
32、nts/sBinding Energy/eVHGFEDCBA砷黄铁矿砷黄铁矿(Arsenopyrite)高分辨谱高分辨谱2.2、俄歇、俄歇(Auger)参数参数由于元素的化学状态不同，其俄歇电子谱线的峰位也会发生变由于元素的化学状态不同，其俄歇电子谱线的峰位也会发生变化。俄歇谱线所表现的化学位移常比化。俄歇谱线所表现的化学位移常比XPSXPS光电子谱线表现的化学光电子谱线表现的化学位移大。位移大。当光电子峰的位移变化并不显著时，俄歇电子峰位移将变得非当光电子峰的位移变化并不显著时，俄歇电子峰位移将变得非常重要。常重要。用最尖锐的俄歇线动能减去最强的用最尖锐的俄歇线动能减去最强的XPSXPS光电
33、子线动能所得到的光电子线动能所得到的俄俄歇参数歇参数与静电无关，只与化合物本身有关。所以俄歇参数不仅与静电无关，只与化合物本身有关。所以俄歇参数不仅避免了荷电干扰，还有化合物的表征作用。避免了荷电干扰，还有化合物的表征作用。状态变化状态变化CuCu2OZn ZnOMg MgOAg Ag2SO4In In2O3光电子位移光电子位移/eV俄歇线位移俄歇线位移/eV0.12.30.84.60.46.40.24.00.53.6l 俄歇俄歇参数参数定义为最锐的定义为最锐的俄歇俄歇谱线与谱线与光电子谱主峰的动能差光电子谱主峰的动能差,即即 l 为避免为避免 0，将，将俄歇俄歇参数改进为参数改进为 2.2、俄歇、俄歇(Auger)参数参数l 俄歇参数俄歇参数联合了两种谱线的化学位联合了两种谱线的化学位移，移，能给出较大的化学位移量以及与能给出较大的化学位移量以及与样品的荷电状况及谱仪的状态无关性，样品的
