1、中国微电机行业技术工艺发展分析中国微电机行业技术工艺发展分析产品技术发展现状一、工艺发展水平虽然国际微电机市场呈不断上升趋势，但市场竞争仍然是很激烈的。因此各微电机制造厂都在致力于提高生产效率，设法降低生产成本，提高产品竞争力。没有好的设计便不会有好的最终产品，而没有好的生产工艺和设备则不可能实现好的设计。电机制造厂要依靠机械领域中新的技术制造出体积小、重量轻、性能优良和高效率的产品，还要缩小其占地面积，减少操作人员，加速生产过程，降低生产成本，更好地满足客户的需求。加速生产工艺过程的一种方法就是在生产过程中尽量采用自动化，消除因故障停车，保证产品的高标准和稳定的质量。微电机采用自动化作业有两
2、种情况，一种是生产流水线作业，采用传送链在一条生产线与几条生产线上完成一种产品的生产，另一种是采用单机自动化。生产流水线作业适合于单一品种，批量大的产品，而单机自动化适合多品种、小批量生产。采用自动化生产的又一好处是工艺过程的每一步都会被严格控制，元件质量按规定检测和确认，从而按照统一的特性标准生产出一模一样的产品。目前，工业发达国家采用生产流水线作业的比较少，而采用单机自动化的相对较多，发展中国家的情况正好相反。这是因为绝大多数单品种、大批量的产品工业发达国家已很少生产，而转移到东南亚等发展中国家生产。美国俄亥俄州的Odawara Automarion公司是一家专门为微电机生产提供自动化设备
3、的公司。例如，它的OLL系列活动梁型车床，对筒式平面换向器表面进行精加工，自动装卸。此设备的CNC系统有很多优点，可实现高效生产，而停机时间最少，同时灵活可靠，是一种高效耐用的设备。该公司生产的转子槽绝缘自动嵌入设备，可以平滑高效地嵌入槽绝缘，能自动对2极或4极转子铁心在1.52s内用不卷边的槽子垫造型制成槽绝缘。此机器接受成卷的材料，材料卷成并切成一定长度，开凹口嵌入槽内。多工位高速冲床是最常用的冲片工序加工高效设备，目前以德国、日本等发达国家的产品最好，可达到500冲次/min，百万次刃磨一次刀口。我国台湾省也生产此类设备，价格便宜，但性能不如日本和德国的设备。意大利的Axis公司生产的直
4、流永磁电动机生产线是世界上比较先进的、美国Golbe公司也是世界知名的生产微电机专用设备厂家。生产动平衡机比较知名的公司有德国申克公司和日本国际计测器公司。为提高生产效率，国外越来越多地在微电机生产中采用机器人作业。例如，以生产机床进给用伺服电动机和主轴电机而闻名的日本FANUC公司，1997年建成一家新的伺服电机装配厂，新厂的特点是使用了新式的机器人和直线电机，用于装配电动机。新厂人数为46人，但机器人使用量达到236台，使伺服电动机月产量从1.5万台提高5万台。定子绕线、浸漆和上漆生产线使用了50台机器人，装配与检测生产线使用26台机器人，全部交流主轴电机系列生产线使用的机器人超过110台
5、，最新水平的集成装配检验生产线使用了42台机器人。它可以把从定子绕组到探测器的所有零部件都装配到伺服电动机上，并对成品检验，生产周期缩短30%，自动化程度达到90%，可以生产近2000种不同规格的电机。对于微电机的生产工艺及生产手段，一般认识是国外先进于国内，但也有一些国外企业，生产设备也不一定十分先进，而国内有许多企业，由于生产量极大，从国外引进了许多先进的生产技术和生产线及自动化设备，反而在生产手段上超过国外有些企业。国外对于控制微电机而言，由于是小批量，多品种，且电机精度要求极高，采用人工操作工艺的也不少。国外一般的概念是，对于超过百万台级的产品，必须采用全自动生产线生产，对小批量生产多
6、采用单机自动化，而对于多品种、小批量，则采用人工联机操作。二、测试技术现状检验是微电机生产过程中一项最重要的步骤。为了保证质量，国外微电机生产企业总是要求零配件供应者对零配件做全面的检验，这样可以免去电机生产企业对零配件的评价，省钱又省力，而反过来零配件供应企业也要求电机生产企业对其产品做出合适的评价，以便提供最合适的产品给电机装配企业。而最重要的是对产品的最终测试。对此，国外微电机行业现在基本上都采用计算机控制的自动测试系统。最着名的生产企业有美国的Magtrol公司，日本管源、横河和国际计测器公司。Magtrol公司的HD系列磁滞测功机从18.N.m到最大为56N.m，共18个规格，其中5
7、6N.m测功机由4个14N.m制动器串联而成，价格要23万美元一台。最近Magtrol公司开发出最新的采用DSP的测功机系统，自动加载速度不到10s，高速采样，采样过程自动计算惯量。因为DSP是高速采样，并及时进行惯性量补偿，达到电机的高精度，高速自动测试。在操作界面上由DOS界面，发展到Windows界面，有集中n=f（U、T、W、M、P、cos、）的特性曲线，也有同时显示n=f（U）、n=f（I）.n=f（）等六个特性曲线的Windows界面。另外，国外也有全虚拟仪器的电机测试系统，设有显示仪，控制器和功率仪，用软件代替大部分硬件，实现计算机全虚拟化测试。现在，对于大多数产品，国外已采用1
8、00%试验，在制造结束采用随机抽样试验已不允许。试验的范围也不断扩大，除了性能试验外，还要进行其他试验，如安全试验、噪音试验、振动试验等。因为诸如机械损伤、齿轮缺陷、轴承振动和磨损等，在电气性能试验中不能被检测出来，但它要产生噪声。德国申克公司研制的利用参数认定法进行电机测试的新设备。该参数认定法的基本思想是通过建立数学模型，仅测量近似空载下（或电机轴上一惯性飞轮）的电流和电压，从而获得电机性能指标；又通过磁头和试验装置联接，测量振动声，用图形识别法判断电机噪声。其基本原理是被测样机，包括法兰盘、电扇和齿轮，原则上由一个相应的数字模型来描绘，模型系数直接反应了样机的物理参数，如绕线电阻和摩擦力
9、矩，其他物理参数由数字模型间接确定。该装置是通过一个磁头和被测试电机联接，利用一个标准的工业用加速度传感器来测试电机噪声。方法是噪声数据由一个信号控制，可以用曲线表示。试验期间，将实测曲线与不同误差等级的标准曲线（标准曲线是噪声质量好的电机噪声曲线）相比较，得出噪声类别，如无误差、轴承噪声、转子摩擦噪声、不平衡产生的噪声等。该设备结构简单，可靠性高，检测时间短，是一种全新的微电机检测设备。三、工业发达国家向国外转移微电机生产的方式一般认为实现经济全球化有三个阶段：第一个阶段，以产品直接出口为主要贸易手段；第二阶段，是在目标市场投资建厂，实现本土化生产；第三个阶段，是更广泛地利用全球生产制造资源
10、，实行业务外包。这三个阶段或三种方式不一定是循环渐进的，而是由利益所决定，也可以是同时并存的。对于微电机生产而言，尤其是对那些量大面广、劳动密集型，而且价格低廉的产品，国外厂家一般采取以下方式来争夺市场或争得利益：1、产品直接出口的方式这种方式通常受到关税、许可证以及技术壁垒的制约，同时也要求市场需求能力，价格和产品质量等方面的优势。这是较长一段时间工业发达国家微电机进入发展中国家的主要方式。对于中国而言，随着微电机产业的快速发展，引进国外先进技术和消化吸收，在已建立了比较完善的生产技术体系的今天，这种直接出口的方式会越来越少；但对一些工业不发达国家和地区，仍不失为一种手段。而对一些技术含量较
11、高的品种，如伺服电动机驱动控制器产品，高性能的汽车用微电机新产品，由技术先进的国家向不先进国家直接出口微电机依然会长期存在。2、在国外投资建厂实现产品本土化生产这种方式的目的是绕过贸易壁垒，降低生产成本，提高产品竞争力，尤其是90年代以后，许多国外公司多采取这种方式，尤其是日本，在东南亚各国，这种方式很多，并取得了很好的效果。我国广东、福建等沿海地区，这种独资的微电机企业十分多，即为一例。还有一种情况就是直接在国外投资建厂生产微电机零配件和材料，这种情况也会越来越多。3、以合资合作生产的方式取得利润这种方式前几年已经很多，并取得一定效果，今后若干年，这种方式仍会继续下去，但估计增长速度会很慢，
12、原因是合资双方经常会发生摩擦，所以，近年独资企业较合资企业增加为多。产品特点一、控制类微电机此类电机包括自整角机、旋转变压器、测速度发电机、感应移相器、伺服电动机等产品，主用于军事装备和自动控制中。这类微电机除了强调小型化、高精度、快速反应、高可靠性及对恶劣环境适应性以外，还具有以下特点：1、品种多，数量小。军事装备门类多，要求各异，又不断更新换代，决定了这类电机的这一特点。如美国kearfortt公司可供国防部选用的品种规格达5000种以上，但年产量仅100万台。INLAND公司工业生产直流力矩电机，产品机座最小仅2in，最大2m，品种500多种。2、标准化、系列化水平高。西方国家为了达到武
13、器设备的互换性和三军使用的统一性，长期以来在军用微电机标准化和系列化方面，不惜重金开展了多方研究工作，形成了以美军标准为基础的统一标准。如英国DEF-148、法国170-510、日本NDS5340等标准，均注明与美军标准同类产品可互换。前苏联和东欧国家则按前苏联国家标准（TOCT）中有关军用等级生产。美军标准代表世界先进水平。3、生产高度垄断，技术严格封锁。军事装备中用的微电机大多属于精密控制电机，且在装备中起着关键作用。另外，要求较多的精密加工设备和检测设备，特别是现代微电机技术集电机、微电子、精密加工和计算机技术于一身，一般企业难以承担生产和开发新品任务。根据统计，目前世界上生产军用微电机
14、的厂家仅数十个，其中着名的厂家美国占1/3（12个），英国有4个，法国、日本、意大利各有2个，形成高度垄断局面，并受政府的重视和保护。美军在19861990年间投资10亿美元专款，用于开发各类数字系统用微电机及控制装置。北约组织长期以来，将军用微电机列入贸易控制物资名单中。以下为国外几个主要工业发达国家军用控制微电机的发展近况。美国军用微电机制造业具有较长的历史，其科研和产品水平处于世界领先地位。长期以来，西方国家军事装备和电子装置中应用的各类微电机绝大部分一直由美国几个主要公司供给。微电机美军标准已成为具有国际标准的地位。英国具有较好的电机工业基础，军用微电机工业水平亦较高，其产品除供本国军
15、方选用外，也向北约组织国供应。法、日、德等国的军用微电机工业起步较晚，其产品技术水平低于美国，品种规格也少。法国和德国均依赖本国技术特点，开发部分新产品，形成具有特色的专门技术产品。如法国的位置传感产品，西德的无刷电动机和步进电机等，均达到或接近美国水平。前苏联的微电机工业有较长的发展历史并形成了独立的科研和生产体系，采取封闭集中式生产，由少数大型军工骨干企业承担，特别重视产品质量和可靠性，但其产品性能水平和新品开发与美国相比有一定的差距。这类微电机今后的技术发展应继续提高和完善传统产品的性能，开发能满足特殊要求的新品种。如开发粗、中、精三通道位置传感器，精度可达角秒级，分辨率超过21bit。
16、开发各类直接驱动电动伺服机构用的低速交流和直流力矩电动机，多极印制绕组盘式电动机，片状微电机，以逐步取代传统结构产品。继续完善与微电机配套的电子元器件的功能，开发专用微处理器芯片及集成电路，研究电机控制的新原理和新方法。二、微型永磁直流电动机世界上最早的电机原型就是永磁电机，只是当时永磁材料性能不良，而被电磁式电机占了主流。铝镍钴永磁体的问世使永磁电机开始发展，但由于其价格比较高，所以铝镍钴永磁电动机应用面并不广。自从廉价铁氧体的出现才使永磁电动机的应用量大幅度增加，应用面从玩具电机、音像电机、汽车微电机到工业用的小功率驱动和伺服驱动等。其中，500W以下的直流电机中永磁电动机占92%以上，其
17、中绝大多数是铁氧体永磁电动机。铁氧体使用至今，但由于其磁性较差，不适合高性能电机的需要，因而20世纪60年代出现了稀土钐钴永磁体，其最大磁能积是铝镍钴的四倍多，是铁氧体的五倍多。钐钴永磁体的出现使高性能伺服电动机得到实现，但由于钐钴永磁体价格过高，限制了其应用。20世纪80年代出现钕铁硼永磁材料，除了工作温度和磁温度系数不及钐钴永磁体外，其他性能都超过了钐钴，而且钕铁硼永磁体远比钐钴价格低得多。高性能永磁体的出现和性能不断提高，将会引起电机行业的巨大改变。预计各种伺服电动机，不论是直流和交流，还是步进电机最终都将过渡到永磁电机，甚至于应用领域很广的交流异步电机也最终要被各类型的永磁电机所代替。
18、1、经济型永磁直流电动机微型永磁直流电动机向经济型和高性能型两个方向发展。所谓经济型，主要是指音响声像设备中使用的微型直流电动机，如各种录音机，录像机、组合音响、电唱机、随身听、收音机、激光唱机、数字激光视盘机及汽车音响等。其特点是数量极大，价格低廉，一般每只几元。日本万宝至公司是世界生产经济永磁直流电动机最多的企业，每年产量数十亿台。但由于日元升值，日本本土现在基本不生产这种电动机，大部分转移中国大陆和东南亚各国。如万宝至马达公司在大连设立的万宝至马达大连有限公司和万宝至马达瓦房店有限公司以及万宝至香港公司在东莞设立的来料加工工场，其产量已占总公司的绝大部分。日本三洋电机株式会社在蛇口设立的
19、公司，投资1亿港元，其中微型直流电动机年产量6000万台。日本三协精机公司在厦门和广东设立的独资企业，年产各种微型直流电动机达到2亿台。香港德昌电机有限公司年产各种微电机10亿台以上，其中大部分是用于汽车电器中的微型直流电机。该公司还正在筹建年产量达4亿台的音响设备用小电机生产加工基地。日本美之美电机有限公司在珠海设立的珠海三美电机有限公司，年产微型直流电动机1亿台左右。这些电机基本上都是廉价的电机。我国大陆先后从日本引进了9条音响声像电机生产线，不仅抵御了进口电机的冲击，而且成为此类电机生产大国。如阜阳市青峰机械厂，先后从日本三协公司和万宝至公司引进电子稳速永磁直流电动机生产线及生产技术，又
20、在深圳合资创办了深圳发发微电机公司，在合肥创办了三维电子有限公司，加上本厂一起月产量达300万台，另外浙江海山集团公司，常州微特电机总厂等厂家也先后从国外引进生产线。目前国内企业经济型微型直流电动机产量在2亿台，而独资企业产量估计在10亿台左右，所以在中国大陆生产的经济型微型直流电动机占了全世界总量的绝大部分。这种经济型电机在技术上难度不大，但是生产必须有规模，年产百万台级别是不行的，必须达到千万台产量的数量级，所以设备投资巨大。经济型直流电动机的发展趋势是随着其使用的要求而发展的，比如对于音响电机，是随着整机对电动机追求更加小型、超薄、高速、高精度和低噪声而不断满足其需要。因此这类电机的发展
21、趋势是：（1）扁平轻小化。如录音机、电唱机、随身听、录音机等设备、片状电机受到青睐。（2）无刷化。如录像机，对磁鼓和主轴电机提出较高要求，而它是确保质量的关键元件，所以现在大多采用无刷直流电机，以提高工作可靠性、高效率和降低低噪声。（3）高转速化。三协、佳能、松下等公司的DVD主轴电机，CD-ROM电机，转速都在2000r/min以上，为了克服高速状态下的轴承和噪声问题，采用了动压轴承结构。利用空气和油的动压轴承与滚珠轴承相比，在体积、速度、噪声和清洁度方面均有改进，且生产成本低，其应用领域在逐步扩大。（4）高精度化。如录音机电机的稳速误差要求不大于0.755，噪声不大于32dB，抖晃率不大于
22、0.03%。又如鼓电机是录像机磁鼓伺服系统的主要部件，要求鼓电机的力矩波动小，噪声低，机械安装精度高，动态特性好。对DVD主轴电机要求与盘片配合的电机端面转盘加工精度和配装精度很高，转盘端面跳动不大于20m。要求微型永磁电动机高精度化是今后必然趋势。2、高性能稀土永磁直流电机稀土永磁材料的研制开发对微电机的发展起了极大的推动作用。在美国、日本和西欧等发达国家，稀土永磁材料在电机中的应用已占稀土永磁总销售额60%以上。稀土永磁材料具有高的剩磁和矫顽力及磁能积，且具有良好的动态回复特性，尤其适合于高性能的微电机。各向同性NdFeB粘结永磁体具有一些深受生产者和用户喜爱的优点，例如从电机生产者的角度
23、看，这种粘结永磁体的优点是：（1）尺寸、重量、性能上比粘结铁氧体好几倍；（2）制作过程中工件不磁化，在计算机外围设备应用中有较少的污染；（3）各向同性磁化可去掉转子铁心，降低转子的转动惯量和制作成本；（4）在多极电机设计中的高抗退磁能力；（5）在动态负载下稳定的电机性能；（6）在Hcj的温度系数比各向异性NdFeB粘结永磁体低。在国外，钕铁硼电机的应用越来越多。德国西门子公司年产数控机床，工业机器人用永磁电动机10万台以上。美国通用汽车公司对汽车用稀土永磁电机的发展极为乐观，该公司年需钕铁硼电机达2亿台之多。欧共体决定拨专款委托美国菲尔德大学专题研制钕铁硼电机。日本是生产钕铁硼永磁体的大国，一
24、直垄断永磁电动机市场。近年国外开发了一种可实现小型低速、大转矩化的电动机，即便HD电机（High Density Motor），它采用高性能稀土永磁材料和特殊磁回路的DD电动机（Direct Drive Motor）与小型高性能伺服驱动器组合而成。电机为外转子结构，由电动机部分、轴承、转子位置输出部分构成，直接和转子连接。在HD电机的磁回路中，外转子铁心槽中嵌有片状的高性能稀土永磁，在电机内藏有电磁减速齿轮，达到低速大转矩的目的。与传统的直接驱动电机比较，其铁心利用率提高了2倍多，输出转矩高2倍。这种电机在立式磨床的主轴驱动、工业机器人等领域有广泛应用。稀土永磁电机的发展方向是微型化和超薄型化
25、。由于钕铁硼的最大磁能积高，特别是能制成超薄型，从而使过去难以做到的超微薄型结构电机得以实现。如国外用在小型立体声单放机，薄型录像机中的片状无刷直流电机，整个电机外型厚度仅4.3mm，转子采用钕铁硼，磁场方向为轴向，控制部分印制在一块板上，实现了高度集成化模块，大大提高了电机可靠性。在高温、高真空等特殊环境下，钐钴永磁电机的应用仍占主导地位。钐钴永磁体由于具有工作温度高，温度系数小以及耐腐蚀性强的特点，因而在宇航设备、原子能设备、水下机器人、NC机床等特殊环境下应用广泛。英国MuiheadVaetric公司开发的潜水艇雷达无线驱动用永磁电机，其绝缘等级为H级（180），电机由带有霍尔传感器的无
26、刷直流电机，编码器和温度传感器三部分组成，功率达800W，在转速80r/min的情况下，峰值力矩达40N.m。美国西蒙兹精密产品公司用小型钐钴永磁发电机作为航空点火系统及发动机控制系统的电源，以满足航空发动机严格的振动及高温环境要求，在F-15战斗机和F-100喷气发动机上均有应用。德国西门子公司研制开发的用于数控机床进给系统的驱动电机就是钐钴永磁电机。瑞士Interelectric公司研制的高性能空心杯转子永磁直流电动机有S、A、RE、F四大系列，功率从2.5W至250W，直径从1075mm，品种达数千种，并配有精密齿轮和编码器、测速机等各类组合电机。三、无刷直流电动机无刷直流电动机是电动机
27、技术和电子技术结合的机电一体化新型微电机。它是一种最有前途的电动机。无刷直流电动机的主要特征是具有与普通有刷直流电流电动机相似的机械特性以及必须有电子换向电路。由于无刷直流电动机彻底取消了机械换向器和电刷，而又具备传统直流电动机相同的线性机械特性，调速范围宽，起动力矩大，效率高等优点，又具有如下特点：（1）高可靠性、长寿命，工作时限主要决定于轴承及润滑，高性能电动机的使用寿命可达数万小时；（2）不必经常维护；（3）无电气接触火花，安全、防爆性好，无线电干扰小；（4）机械噪声低；（5）可工作于高真空，有腐蚀性气体介质和液体介质环境中，例如宇航设备；（6）可工作于高速或超高速。已有100000r/
28、min产品；（7）采用摾锓 铍（inside-out）结构，绕组在定子上，易于散热，转子采用永磁体励磁，无通电绕组，几乎无损耗和发热；（8）与电子电路结合，有更大的使用灵活性。例如：利用小功率逻辑控制信号可控制电动机的起停，正反转或调节转速，适于数字控制，易于与微机接口。正由于此，无刷直流电动机在工业和家用及国防等领域获得了广泛的应用。在航空航天领域，由于高真空，无刷直流电动机的优势是最明显的。如宇宙飞船中用的各种泵，使用了许多无刷电动机。四、永磁交流伺服电动机20世纪80年代以来，随着集成电路、电力电子技术和交流可变速驱动技术的发展，永磁交流伺服驱动技术有了突出的发展，各国着名电气厂商相继推
29、出各自的交流伺服电动机和伺服驱动器系列产品并不断完善和更新。交流伺服系统已成为当代高性能伺服系统的主要发展方向，使原来的直流伺服面临被淘汰的危机。90年代以后，世界各国已经商品化了的交流伺服系统是采用全数字控制的正弦波电动机伺服驱动。交流伺服驱动装置在传动领域的发展日新月异。永磁交流伺服电动机同直流伺服电动机比较，主要优点有：（1）无电刷和换向器，因此工作可靠，对维护和保养要求低；（2）定子绕组散热比较方便；（3）惯量小，易于提高系统的快速性；（4）适应于高速大力矩工作状态；（5）同功率下有较小的体积和重量。自从德国MANNESMANN的Rexroth公司的Indramat分部在1978年汉诺
30、威贸易博览会上正式推出MAC永磁交流伺服电动机和驱动系统，这标志着此种新一代交流伺服技术已进入实用化阶段。到20世纪80年代中后期，各公司都已有完整的系列产品。整个伺服装置市场都转向了交流系统。早期的模拟系统在诸如零漂、抗干扰、可靠性、精度和柔性等方面存在不足，尚不能完全满足运动控制的要求，近年来随着微处理器、新型数字信号处理器（DSP）的应用，出现了数字控制系统，控制部分可完全由软件进行。到目前为止，高性能的电伺服系统大多采用永磁同步型交流伺服电动机，控制驱动器多采用快速、准确定位的全数字位置伺服系统。典型生产厂家如德国西门子、美国科尔摩根和日本松下及安川等公司。日本安川电机制作所推出的小型
31、交流伺服电动机和驱动器，其中D系列适用于数控机床（最高转速为1000r/min，力矩为0.252.8N.m），R系列适用于机器人（最高转速为3000r/min，力矩为0.0160.16N.m）。之后又推出M、F、S、H、C、G六个系列。20世纪90年代先后推出了新的D系列和R系列。由旧系列矩形波驱动、8051单片机控制改为正弦波驱动、80C、154CPU和门阵列芯片控制，力矩波动由24%降低到7%，并提高了可靠性。这样，只用了几年时间形成了八个系列（功率范围为0.056kW）较完整的体系，满足了工作机械、搬运机构、焊接机械人、装配机器人、电子部件、加工机械、印刷机、高速卷绕机、绕线机等的不同需
32、要。以生产机床数控装置而着名的日本法奴克（Fanuc）公司，在20世纪80年代中期也推出了S系列（13个规格）和L系列（5个规格）的永磁交流伺服电动机。L系列有较小的转动惯量和机械时间常数，适用于要求特别快速响应的位置伺服系统。日本其他厂商，例如：三菱电动机（HC-KFS、HC-MFS、HC-SFS、HC-RFS和HC-UFS系列）、东芝精机（SM系列）、大阪铁工所（BL系列）、三洋电气（BL系列）、立石电机（S系列）等众多厂商也进入了永磁交流伺服系统的竞争行列。德国力士乐公司（Rexroth）的Indramat分部的MAC系列交流伺服电动机共有7个机座号92个规格。德国西门子（Siemens）公司的IFT5系列三相永磁交流伺服电动机分为标准型和短型两大类，共8个机座号98种规格。据称该系列交流伺服电动机与相同输出力矩的直流伺服电动机IHU系列相比，重量只有后者的1/2，配套的晶体管脉宽调制驱动器6SC61系列，最多的可供6个轴的电动机控制。德国宝石（BOSCH）公司生产铁氧体永磁的SD系列（17个规格）和稀土永磁的SE系列（8个规格）交流伺服电动机和ServodynSM系列的驱动控制器。美国着名的伺服装置生
