1、博士学位论文格式索取号： 密级： 博 士 学 位 论 文相位调制型激光自混合干涉测量微纳米技术的研究研 究 生：郭*指导教师：王* 教授培养单位：物理科学与技术学院一级学科：电子科学与技术二级学科：物理电子学完成时间：2007年3月10日答辩时间：2007年5月25日学位论文独创性声明本人郑重声明：所提交的学位是本人在导师指导下进行的研究工作和取得的研究成果。本论文中除引文外，所有实验、数据和有关材料均是真实的。本论文中除引文和致谢的内容外，不包含其他人或其它机构已经发表或撰写过的研究成果。其他同志对本研究所做的贡献均已在论文中作了声明并表示了谢意。学位论文作者签名： 日 期： 学位论文使用授
2、权声明研究生在校攻读学位期间论文工作的知识产权单位属南京师范大学。学校有权保存本学位论文的电子和纸质文档，可以借阅或上网公布本学位论文的部分或全部内容，可以采用影印、复印等手段保存、汇编本学位论文。学校可以向国家有关机关或机构送交论文的电子和纸质文档，允许论文被查阅和借阅。（保密论文在解密后遵守此规定）保密论文注释：本学位论文属于保密论文，保密期限为 年。学位论文作者签名： 指导教师签名： 日 期： 日 期： 摘 要激光自混合干涉是指激光器输出的光被外部物体反射或散射后，其中一部分光又反馈回激光器的谐振腔。反馈光携带了外部物体的信息，与腔内光相混合后，调制激光器的输出，形成自混合干涉。激光的自
3、混合干涉来源于激光器的外部光反馈效应，以前人们总是设法消除光反馈的影响，后来逐渐的由消除光反馈的不利影响到主动利用光反馈效应检测物理量，从而形成了一门新的技术。为了提高自混合干涉的微位移测量精度，高精度的相位测量法被引入自混合干涉技术中，已见报道主要有两种方法：注入电流调制和外腔长度调制方法。关键词：自混合干涉，相位调制，电光晶体IIAbstractWhen a portion of light emitted from a laser source is reflected or scattered back into the laser cavity by an external targ
4、et, the reflected light will mix with the light inside the cavity, causing a modulation of the laser output power. This phenomenon is called as self-mixing interference (SMI) , in which the reflected light carries some information of the external target. The self-mixing interference comes from the o
5、ptical feedback effect. People always tried to eliminate the optical feedback effect previously. Gradually people began to make use of it actively to measure some physical quantities, thus self-mixing interference technology was brought forth. In order to improve the displacement measurement accurac
6、y of the self-mixing interference, high accuracy phase measurement method is introduced into the SMI system. Key words: Self-mixing interference, Phase modulation, Electro-optic modulator目录摘 要 IAbstract II第一章 绪论 1（一） 激光自混合干涉技术的兴起及发展 1（二） 激光自混合干涉技术各国研究现状 11、 以S.Donati为代表的意大利研究小组 12、 以Gratten为代表的英国研究小
7、组 2第二章 激光自混合干涉效应基本理论及实验研究 3（一） 激光自混合干涉系统理论模型 3（二） 激光自混合干涉现象定量观察 41、 实验装置 42、 实验结果 4第六章 结论 5参考文献 7在读期间发表的学术论文及研究成果 8致 谢 9第一章 绪论干涉测试技术是以光波干涉原理为基础进行测试的一门技术，与一般的光学成象测试技术相比，具有更高的测试灵敏度和精度；绝大部分的干涉测试都是非接触式的测量，不会给被测件带来表面损伤和附加误差。干涉测试技术应用十分广泛，几乎已经被应用到所有的工业部门和科学研究上。激光的出现，解决了光干涉技术的光源性能问题，半导体激光器的引入，使光源调制灵活，方便且大大减
8、小了光源尺寸和造价问题，结合计算机，则极大的提高了干涉信号的处理速度。（一） 激光自混合干涉技术的兴起及发展 激光自混合干涉是指在激光应用系统中，激光器输出的光被外部物体反射或散射后，其中一部分光又反馈回激光器的谐振腔，反馈光携带外部物体的信息，与激光腔内的光相混合后，调制激光器的输出功率，因输出的光信号与传统的双光束干涉有相似之处，故被称之为自混合干涉（self-mixing interference）。追溯激光自混合效应的起源，可以归属为激光器外部光反馈效应。由于光反馈作用的结果可严重的影响激光器的输出特性，所以在激光应用系统中，光反馈对系统的影响一直是备受关注的问题。人们总是试图消除光反
9、馈的不利影响，因此研究者特别关注光反馈引起的光噪声1-2谱线展宽3-4和相干猝灭现象5-6等方面的研究，这些效应带给激光系统致命性的破坏。随着研究的深入，人们逐渐由消除光反馈的不利影响到主动利用光反馈现象进行物理量的测量，从而形成激光自混合干涉技术。（二） 激光自混合干涉技术各国研究现状1、 以S.Donati为代表的意大利研究小组SDonati 是意大利Pavia 大学电子系的教授，早在1975年就开始研究激光反馈干涉仪。1978年他利用背向散射效应，用He-Ne激光构成自准直仪23，之后，研究兴趣一直集中在外腔激光器，研究外部光场对激光器的影响24。近年来，其研究小组连续报道了他们的研究成
10、果，1995年，首次研制出用于矢量位移测量的激光管反馈干涉仪25，该系统在一定反馈强度下，激光器处于双稳态，干涉信号包含位移信息，用硬件电路实现位移的自动测量和方向判别。1996年，结合个人计算机，考虑温度控制，用软件实现了位移的自动测量和方向辨识26。在以上研究基础上，1997年，该小组又报道了不同光反馈水平下位移重构的软件实现27。该研究小组一直未采用“自混合”术语，而是习惯称之为“单通道”或者“光反馈”干涉仪。该研究小组对自混合干涉位移测量技术的发展，作出了巨大的贡献。2、 以Gratten为代表的英国研究小组 Gratten 先生是英国City 大学，电子与信息工程系教授，1993年，
11、其科研小组报道了光反馈型光纤耦合LDV，光纤的引入使自混合型LDV的信噪比大大提高28。自93年以来开始明确采用：“自混合”术语15。很快被国际同行接受并使用。其小组注重观察各种自混合干涉现象并加以利用，许多新的实验现象有该小组首先报道，如多模激光的自混合干涉效应、倾斜外腔的倍频现象29等。提出了独具特色的应用系统，如自混合干涉结构的波长合成系统，自混合干涉结构与微谐振器组合的光学微机械测量系统30。为自混合干涉的机理探讨和应用研究做出了重要的贡献。参考文献1 M. Fujiwara, K. Kubota and R. Long. Low-frequency intensity fluctua
12、tion in laser diode with external optical feedback. Appl. Phys. Lett. , 1981,38(4): 217-2202 H. Yasaka, Y. Yoshikuni, H. Kawaguchi. FM noise and spectral line width reduction by incoherent optical negative feedback. IEEE. J. Q. E., 1991, 27(2):193-2043 L. Goldberg. Spectral characteristics of semico
13、nductor laser with optical feedback. IEEE J. Q. E., 1982,18(6): 555-5634 T. Chartier, B. Mezine, F. Sanchez, et al. Optical feedback effects in Nd-doped fiber lasers with broadband spectra. Appl. Opt., 1996,35(12): 2016-2022在读期间发表的学术论文及研究成果1. D. Guo, M. Wang and S. Tan, Self-mixing interferometer ba
14、sed on sinusoidal phase modulating technique. Optics Express，2005, 13(5): 1537-1543 (SCI&EI)2. D. Guo and M. Wang, Self-mixing interferometer based on temporal-carrier phase-shifting technique for micro-displacement reconstruction. Optics Communications，2006，263(1): 91-97 (SCI&EI)3. D.Guo and M.Wang
15、, Self-mixing interferometry based on a double modulation technique for absolute distance measurement. Applied. Optics，2007, 46(9): 1486-1491 (SCI& EI)4. 郭冬梅，谈苏庆，王鸣，正弦相位调制自混合干涉微位移测量精度分析.光学学报, 2006，26(6):845-850 (EI)D. Guo and M. Wang, A new self-mixing interferometer for micro-displacement reconstruction. Proc. of SPIE , 2006, 6341: 634123 (EI)
